微細加工向けフェムト秒ファイバレーザー ”Indylit”とは
Indylitは、様々な超高速アプリケーションに適した高エネルギーの空冷式フェムト秒レーザーです。特に産業向け微細加工に最適です。レーザーヘッドは完全なパッシブ冷却設計を採用しており、パルス幅、ビームポインティング、出力などの光学パラメータの高い安定性を確保しています。Indylitは、その高い堅牢性と安定性により、様々な不安定要素から護られた産業用フェムト秒レーザーです。
微細加工向けフェムト秒ファイバレーザー ”Indylit”の特長とメリット
- 極めて優れた堅牢性と安定性
- 高パルスエネルギーと綺麗なパルス形状
- メンテナンスフリー&ターンキー
- 繰り返し周波数、パルス幅、出力調整可能
- パッシブ空冷
- 波長1030nm/515nm、 平均パワー10W以上/20W以上
- 材料のマイクロ加工
- 眼科治療
- コールドマーキング
- 半導体、ガラス、セラミックのダイシングとスクライビング
- ディスプレイ製造
- 理化学研究
| 繰り返し周波数 vs パルスエネルギー | パルス相関トレース | ビーム品質・ビームプロファイル | |
|---|---|---|---|
| Indylit 10 |  |  |  |
| Indylit 20 |  |  |  |
| Indylit 10 | Indylit 20 | Indylit 20 SH 1) | ||
|---|---|---|---|---|
| 中心波長 | 1030 ± 2 nm | 1030 ± 2 nm | 515 ± 1 nm | |
| 平均出力 2) | > 7 W @ 70 kHz, > 6 W @ 100 kHz, > 10 W @ 1 MHz | > 13 W @ 100 kHz,> 18 W @ 1 MHz (代表値 20 W @ 1 MHz) | > 9 W @ 100 kHz,> 4 W @ 1 MHz | |
| 最大パルスエネルギー 2) | > 100 μJ @ 70 kHz, > 10 μJ @ 1 MHz | > 130 μJ | > 90 μJ | |
| パルス幅 | 380 ± 20 fs | < 9400 μJ | ||
| パルス幅調整性 | 400 fs – 4 ps | N/A | ||
| 出力間のスイッチ時間 | < 1 秒 | |||
| 内部パルス繰り返し周波数 | 70 kHz – 1.0 MHz（バーストモードで最小 30 kHz ） | 100 kHz – 1.0 MHz（バーストモードで最小 30 kHz ） | ||
| パルスピッカー | 内蔵 | |||
| トリガーモード | TTLゲート経由パルスピッカー制御 | TTLゲート経由パルスピッカー制御（ゲートモードまたはトリガモードを選択可能） | ||
| バースト長 | 1…12 pulses | |||
| 最大エネルギー（バースト時） | > 300 μJ | > 500 μJ | > 200 μJ | |
| パワー減衰 3) | 100 – 1% | |||
| ビーム品質 | M² < 1.2 | |||
| ビーム円形性 4) | > 0.90 | > 0.85 | ||
| ビーム径 (1/e² levelにおいて) | 2.6 ± 0.3 mm, 5.0 ± 0.5 mm (オプション), 7.5 ± 0.7 mm (オプション) | 2.7 ± 0.2 mm | 2.2 ± 0.2 mm | |
| 偏光 | 水平リニア, > 200:1 消光 | |||
| パルス前コントラスト | > 1:1000 | |||
| パルス後コントラスト | > 1:100 | |||
| ビーム発散角（全角） | < 1 mrad（for 2.5 mm beam） | < 1 mrad | ||
| ビームポインティング (RMS) 5) | < 20 μrad | |||
| ビームポインティングvs 温度 | < 20 μrad/°C | |||
| 出力安定性 (RMS) 6) | < 1% | < 2% | ||
| パルスエネルギー安定性 (RMS) 7) | < 1% | < 2% | ||
| ウォームアップ時間 (コールドスタート) | < 30 分 | |||
| ウォームアップ時間 (ウォームスタート) | < 5 分 | < 3 分 | ||
| レーザー制御インターフェイス | CAN, USB | |||
| 駆動電圧 | 24V, 25A (100…240 V AC, 47…63 Hz to 24V AC/DC コンバータ内蔵 | |||
| 平均消費電力 (ウォームアップ後) | 200 W | 300 W | ||
| 最大電力定格 | 700 W | |||
| 動作環境温度 | 18 – 33 °C8) | |||
| 湿度 | 結露なきこと | |||
| 運搬/保存環境温度 | -20 – +70 °C | |||
| 寸法 | ||||
| レーザーヘッド (L x W x H) | 482 x 230 x 163 mm | 482 x 248 x 143 mm | ||
| 制御ユニット (L x W x H) | 449 x 385 x 140 mm | 449 x 370 x 140 mm | ||
| AC/DC コンバータ (L x W x H) | 250 x 125 x 60 mm | |||
| アンビリカル長 | 3 ± 0.1 m | 5.5 ± 0.1 m | ||
| 冷却:レーザーヘッド制御ユニット | 空冷(パッシブ), オプション – 水冷, 強制空冷ファン | 空冷(パッシブ), オプション – 水冷, 強制空冷ファン | ||
1）Indylit 20 SHモデルは、Indylit 20 IRモデルと同じ仕様で1030 nmの出力も備えています。出力はGUIインターフェースまたはCANコマンドで切り替え可能です。
2）代表的な値については、パルス繰り返し周波数に対する出力パワーおよびエネルギーのカーブをご参照ください。
3）減衰（出力制御）は以下のいくつかの方法で可能です：
a）PCユーザーインターフェースによる制御、
b）CANレジスタによる制御、
c）アナログ入力（0 ～ 1 V、立ち上がり時間 < 1 μs）による制御。ビーム品質の仕様は、出力の10%レベルまで維持されます。
4）zスキャン（±5×レイリー長）に沿った最悪の場合の楕円率として定義されます。
5）ウォームアップ開始から30分後に8時間連続動作中に測定。周囲温度の安定性は±1 °C以内。
6）(7)と同じ条件下で、1秒の積算時間にて測定。
7）少なくとも1000パルスに対して、10秒間の時間間隔内で測定。
8）この技術は以下の国際特許によって保護されています：
LT6261 (B); JP6276471 (B2); US10038297 (B2);
EP3178137; DK3178137 (T3); CN106575849 (B);
PL3178137 (T3); LT6639 (B); LT2020 563
