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光学顕微鏡付きAFMプラットフォーム FM Nanoview Op AFM
光学顕微鏡付きAFMプラットフォーム
- 光学顕微鏡を備えたAFMプラットフォームです。光学顕微鏡観察をしたエリアを狙い、原子間力顕微鏡によるイメージングを実施できます。
- 垂直光路設計を採用し、気液両用プローブホルダーは空気中でも液体中でも同時に使用できます。(要 液中測定オプション)
- 簡便なレーザーアライメント作業を実現
- 空気ばね式除振機構(オプション)と組み合わせることによりノイズ対策が取れます。
| 仕様 | |
|---|---|
| 標準動作モード | 接点、タッピング、フェーズ |
| オプションモード | MFM、EFM、LFM |
| その他オプション | 液中測定、温度制御ステージ、雰囲気制御用モジュール |
| XY軸走査範囲 | 50µm、70µm、100µmスキャナから選択可能 |
| Z軸走査範囲 | 5µm、7µm、10μm< |
| 分解能 | XY:0.2nm、Y:0.05nm |
| 最大サンプルサイズ | Φ≤90mm、H≤20mm |
| サンプルステージ移動範囲 | 20mm |
| 対物レンズ | 5x、10x、20x、50x Plan APOレンズ |
| 接眼レンズ | 10x |
| 光源 | LED |
| 顕微鏡フォーカス | 手動 |
| カメラ | 300メガピクセル、デジタルCCD |
| CCDモニタ | 11.6インチ |
| 走査速度 | 0.6 – 4.3Hz |
| 走査角度 | 0 – 360° |
| OS | Windows |
| 寸法 | 測定ユニット 450x500x780 mm |
| コントローラー 430x380x150 mm | |
| 重量 | 測定ユニット 47kg |
| コントローラー 4kg | |
