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266nm CW, 超小型UV DPSSレーザー“FQCW266シリーズ”
266nm CW(連続波)レーザー
- 出力 10mW, 50mW, 100mW, 200mW, 500mW, 1W
- コンパクトヘッド
- 縦モードシングル 線幅 <300kHz
- 良好なビーム品質 TEM00, M2 1.3未満
- 空冷式
- 低ノイズ
一般的に、UV（紫外）光を発振するCW（連続発振）レーザーは、大型で持運びが困難、しかも高価です。
超コンパクト半導体励起UVレーザー“FQCW 266シリーズ”は、紫外光CWレーザーのこのような欠点を解消するため、
マイクロチップ技術の粋を集めて開発されたコンパクト・軽量・空冷式で安価なCWレーザーです。
300kHz以下の単一縦モードでコヒーレント長は1000m以上、TEM00のシングル横モード、M2値も1.3未満の高品質レーザー光を発振する本製品は、空冷式、ローノイズ、低消費電力、コンパクトなヘッドサイズといった特徴を備えています。
- リソグラフィ
- フォトルミネッセンス
- ラマン分光
- レーザー誘起蛍光法
- スキャトロメトリ測定
- ウエハやレチクルの検査
- 干渉
| Model | 波長 | 最大パワー | パワー安定性 | ビーム品質, M2 | データシート |
|---|---|---|---|---|---|
| FQCW266-10 | 266 nm | > 10 mW | ≤ 2.0 %rms | ≤ 1.3 | |
| FQCW266-25 | 266 nm | > 25 mW | ≤ 2.0 %rms | ≤ 1.3 | |
| FQCW266-50 | 266 nm | > 50 mW | ≤ 1.0 %rms | ≤ 1.3 | |
| FQCW266-100 | 266 nm | > 100 mW | ≤ 1.0 %rms | ≤ 1.3 | |
| FQCW266-200 | 266 nm | > 200 mW | ≤ 1.0 %rms | ≤ 1.3 | |
| FQCW266-300 | 266 nm | > 300 mW | ≤ 0.5 %rms | ≤ 1.3 | |
| FQCW266-500 | 266 nm | > 500 mW | ≤ 0.5 %rms | ≤ 1.3 |
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