超コンパクト半導体励起UVレーザー“FQCW266シリーズ”

CryLaS

266nm, CW(連続波)レーザー, 出力 10~550mW!! 空冷式。単一縦モード 300kHz

266nm CW(連続波)レーザー!

  • 出力 10mW, 50mW, 100mW, 200mW, 500mW
  • コンパクトヘッド
  • 単一縦モード <300kHz
  • TEM00, 横モード
  • 空冷式
  • 低ノイズ

 

一般的に、UV(紫外)光を発振するCW(連続発振)レーザーは、大型で持運びが困難、しかも高価です。

超コンパクト半導体励起UVレーザー“FQCW 266シリーズ”は、紫外光CWレーザーのこのような欠点を解消するため、マイクロチップ技術の粋を集めて開発されたコンパクト・軽量・空冷式で安価なCWレーザーです。

300KHz以下の単一縦モードでコヒーレント長は1000m以上、TEM00のシングル横モード、M2値も1.3未満の高品質レーザー光を発振する本製品は、空冷式、ローノイズ、低消費電力、コンパクトなヘッドサイズといった特徴を備えています。
2016年2月シリーズ最大出力500mWの”FQCW266-500″を発売しました。

  • 半導体の材料検査装置
  • 半導体製造工程の制御用測定装置
  • DVDマスタリング装置
  • 理科学分析装置など
モデル FQCW266-10 FQCW266-50 FQCW266-100 FQCW266-200 NEW FQCW266-500
発振波長 266 nm 266 nm 266 nm 266 nm 266 nm
平均パワー 2-12 mW 5-55 mW 10-100 mW 20-220 mW 50-550 mW
ライン幅 300 kHz 300 kHz 300 kHz 300 kHz 300 kHz
ビーム径 0.55 mm±20% 0.55 mm±20% 0.55 mm±20% 0.55 mm±20% 1 mm±20%
拡がり角(全角) 0.8 mrad 0.8 mrad 0.8 mrad 0.8 mrad 0.45 mrad
ヘッド寸法 [mm] 363x325x115 363x325x115 363x325x115 363x325x115 739 x 325 x 143
コントローラー寸法 [mm] 379 x 270 x 91 379 x 270 x 91 379 x 270 x 91 379(+50)※1x 270 x 91 mm 483 x 409 x 184
ウォームアップ時間 15分間 15分間 15分間 15分間 45分間
作動温度 20-35℃ 20-35℃ 20-35℃ 20-35℃ 20-30℃
供給電圧 90-250V AC 90-250V AC 90-250V AC 90-250V AC 90-250V AC
消費電力 (max) 100W (200W) 100W (200W) 100W (200W) 100W (200W) 200W (450W)
通信 USB/RS232 USB/RS232 USB/RS232 USB/RS232 USB/RS232/Ethernet
安全仕様 キースイッチ,
インターロック
キースイッチ,
インターロック
キースイッチ,
インターロック
キースイッチ,
インターロック
キースイッチ,
インターロック,
シャッター

※1 パージオプション使用時