産業向け 高エネルギー フェムト秒レーザー Onefive ORIGAMI XP
NKT Photonics
NKT Photonics社 OneFive ORIGAMI XP は、丈夫な産業グレードデザインで、マイクロジュールクラスの高エネルギー光出力をもつオールインワイン・フェムト秒レーザーです。レーザーヘッド、コントローラ、空冷システムはシングルボックスに統合されており、280x498x155 mm の手持ち可能なコンパクトサイズです。高いエネルギー安定性とビームポインティング安定性を兼ね備え、シングルショットか、パルスをご指定いただけます。また、SHGの出力も可能です。
安定性が高く低ノイズのシードレーザーを用いています。シンプルでコンパクトなチャープパルスアンプシステムで、最大パルスエネルギー 75 μJ、平均出力 5W、パルス幅 <400 fs の光出力を生成します。リアルタイムでパルスエネルギー計測および制御が可能です。縦横いずれでも設置可能で、遠隔制御にも対応しています。簡単かつ費用対効果の高いシステム組込みが可能です。
応用例
- フェムト秒微細加工
- ガラスの切断/穿孔
- ウエハスクライビング
- 医療用デバイスの成形
- 薄膜アブレーション
- 材料プロセス
- セラミックやポリマーの加工
- 眼科
主な仕様
モデル | ORIGAMI 10XP | ORIGAMI 10XP-S | ORIGAMI 05XP | ORIGAMI 05XP-S | ORIGAMI 03XP | ORIGAMI 03XP-S |
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単一出力-赤外光 | デュアル出力-赤外光と緑光 | デュアル出力-赤外光と紫外光 | ||||
●光学仕様 | ||||||
中心波長 | 1030 nm | 515 nm | 343 nm | |||
パルス持続時間 | <400 fs | <400 fs | <350 fs | |||
平均出力 | >4 W | >5W | >2 W | >2.5 W | >1 W | |
パルスエネルギー | 40 µJ | 70 µJ | 20 µJ | 40 µJ | 10 µJ | 20 µJ |
ピークパワー | >100 MW | >165 MW | >50 MW | >100 MW | >25 MW | >50 MW |
スペクトル帯域幅 | <5 nm | <2.5 nm | <2.5 nm | |||
パルス選択オプション | シングルショット 1MHz、パルスオンデマンド | |||||
ビーム品質 | M2 <1.2, TEMοο | M2 <1.3, TEMοο | M2 <1.3, TEMοο | |||
PER | >23 dB vertical | >23 dB horizontal | ||||
パワー安定性(12h-一定温度) | <1% rms | <2% rms | ||||
楕円率 | <0.1 | <0.2 | ||||
パルス間の安定性 | <1% rms | <2% rms | ||||
ポインティングの安定性 | <30 μrad rms (12 h) const. temp., <5 μrad / °C 18—28 °C | |||||
レーザー出力 | Collimated free space | |||||
●機械/電気仕様 | ||||||
ウォームアップ時間(ウォームスタート) | <10分 | |||||
ウォームアップ時間 (コールドスタート) | <30分 | |||||
使用温度 | 18 °C — 28 °C | |||||
保管温度 | -20 °C — 55 °C | |||||
電源 | 24 VDC / 20 A or 90—264 VAC, 47—63 Hz | |||||
消費電力 | <500 W | |||||
サイズレーザーヘッド、LxWxH | 507.4 x 292.1 x 176 mm3 | 507.4 x 435.7 x 176 mm3 | ||||
サイズ電源、LxWxH | 314 x 165 x 85 mm3 | |||||
重量レーザーヘッド(水冷) | 25 kg | 27 kg | 27 kg | |||
重量レーザーヘッド(空冷式) | 27 kg | 31 kg | 31 kg | |||
冷却 | 空気または水 |
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