Sensofar S neoxは、共焦点・干渉・AiFocusの3モードを搭載した高精度3D光学測定装置です。非接触で微細構造や表面粗さを高分解能で解析でき、産業用途から研究開発まで幅広くご利用いただけます。高速データ取得と安定した計測性能により、精密部品や素材評価の品質管理を効率化します。

S neox Five Axis 5軸ステージ付き3D光学プロファイラは、高精度回転ステージモジュールと3D光学プロファイラ 高速・多機能モデルS neox の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。

非接触・非破壊で表面の微細形状、面粗度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる装置組込み用の顕微鏡ユニット 。3D光学プロファイラおよび3Dレーザー顕微鏡に代表される共焦点顕微鏡技術を搭載。

S lynxは、産業および研究分野向けに開発された非接触3D表面形状測定装置です。コンパクトながら多用途で、光学部品のような滑らかな面から凹凸のある粗い面まで、幅広いアプリケーションに1台で対応します。独自の3-in-1測定技術とSensoSCANソフトウェアにより、R&D用途に最適な直感的操作と高精度測定を実現しています。

非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデル、クリーンルーム対応モデルまで用途に応じた幅広いラインナップを提供。

3D形状や表面粗さを測定、解析するための直感的で使いやすいソフトウェアパッケージを装置とセットで提供しています。

半導体、ディスプレイ、プリント基板における大型の基板の3D表面測定が可能な白色干渉計・共焦点顕微鏡システムです。測定ソフトウェア、また特定の測定ニーズに合わせたプラグインも幅広くご用意。アプリケーションに適した測定ソリューションをご提供致します。