シリコンフォトニクス向け 光電ウェーハテストシステム

フォトニックデバイスのウェーハレベル評価を実現する光電統合テストシステム

本装置は、シリコンフォトニクスおよびフォトニック集積回路（PIC）デバイスの評価を目的とした光電ウェーハプローバシステムです。
光学安定性、電気ノイズ制御、柔軟な試験構成を考慮して設計されており、高精度モーション制御システム、高性能振動絶縁システム、および独自の画像処理アルゴリズムにより、安定した光学測定環境を提供します。
また、pAレベルの高精度電気測定機能を搭載し、光ダイの電気特性評価にも対応します。
ウェーハレベルでのテストにより、仕様外チップを早期に選別することが可能となり、後工程への不良流出を防ぐことで、パッケージングおよびテストコストの削減に貢献します。
本システムは、フォトニックデバイス開発における研究開発のターンアラウンドタイムを短縮し、量産工程の効率向上を実現します。