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産業用途向け 高パルスエネルギー ピコ秒レーザー

新商品

Photonics Industries International

RXシリーズは、半導体加工、医療機器製造、マイクロマシニングなどにおいて、高速かつ超高精度な性能を提供します。超短パルス、高エネルギー、卓越したビーム安定性を備え、薄膜除去、透明材料加工、太陽電池製造において優れた性能を発揮し、最先端のアプリケーションにおいても信頼性を確保します。

RXシリーズは、産業・科学用途において、極めて高い性能と精密さ、そして堅牢な筐体を兼ね備えた製品です。これまでに世界中で1,000台以上のピコ秒レーザーの納入実績があり、精密加工、科学研究、さらにはますます短いパルス幅が求められる新たな先端分野のニーズにも対応しています。

最大900μJ ピコ秒レーザー RXシリーズ

  • 最大パルスエネルギー:~900 μJ @ 100 kHz
  • 真のTEM₀₀ビーム、M²値 < 1.3
  • 優れたビーム位置安定性:< 25 µrad
  • 超短パルス幅:10 ps @ 1064 nm、7 ps @ 532/355 nm
  • バーストモードによるパルス制御機能
  • 堅牢かつコンパクトな筐体設計
  • パルスエネルギーの動的制御機能(PEC)
  • 位置同期出力機能(PSO)
  • 電力モニタリングおよび自己キャリブレーション機能

アプリケーション例:レーザーマーキング、スクライビング、医療機器向け微細加工、薄膜の除去および加工、プリント基板(PCB)・ポリマーの切断・穴あけ、ドーピング、太陽電池の製造、半導体プロセス、透明材料のマイクロマシニング

最大50μJ 空冷 ピコ秒レーザー RX ACシリーズ

  • 最大パルスエネルギー:~50 μJ @ 100 kHz
  • 真のTEM₀₀ビーム、M²値 < 1.3
  • 空冷(オプション:ラジエーター冷却)
  • 超短パルス幅:10 ps @ 1064 nm、7 ps @ 532/355 nm
  • バーストモードによるパルス制御機能
  • 堅牢かつコンパクトな筐体設計
  • パルスエネルギーの動的制御機能(PEC)
  • 位置同期出力機能(PSO)
  • 電力モニタリングおよび自己キャリブレーション機能

アプリケーション例:レーザーマーキング、スクライビング、微細穴あけ・マイクロマシニング、薄膜の除去および加工、プリント基板(PCB)・ポリマーの切断・穴あけ、微細彫刻、時間分解分光、半導体プロセス、サファイアおよびガラスの切断

最大4mJ 高パルスエネルギーピコ秒レーザー RGLXシリーズ

  • 高パルスエネルギー:IRで最大4mJ、グリーンで最大2.5mJ
  • 高繰返し周波数:シングルショットから最大5kHz
  • 幅広い波長オプション:1064 nm、532 nm、355 nm
  • シンプルで信頼性が高く、長寿命な設計
  • 完全なTEM₀₀ビームプロファイル:M²値 < 1.3
  • 低損失のビームスプリッティングおよびビーム整形が可能
  • マイクロ~メソスケール加工において最適なエネルギー伝達を実現

アプリケーション例:切断、穴あけ、溶接、スクライビング、マーキング、微細構造加工、マイクロ〜メソスケールの材料加工、難加工材の処理、レーザー測距システム、レーザーガイド星による補償光学システム、天文観測システム、分光応用、OPOシステム、チタンサファイアシステム、超高速増幅器システムのポンピング光源

  • マーキング・スクライビング・微細彫刻
  • 切断・穴あけ・溶接(マイクロ~メソスケール)
  • 医療・電子機器向け微細加工
  • 薄膜除去・選択的加工(アニール/ドーピング)
  • 透明材料・特殊素材の微細加工
  • レーザー測距・天文・光学システム
  • 分光・ポンピング光源用途
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