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Twin-airⓇ ディスペンサ搭載 高精細塗布描画システム ESシリーズ
新商品
ピコリットルの微量塗布を高粘度液剤で実現する高精細塗布描画システムです。Twin-airⓇ ディスペンサを搭載し、1000Pa・sの高粘度液剤でΦ50µmドット、50µm幅ラインの微量塗布が可能。研究開発・試作・量産、搬送ユニット搭載も対応できます。
高精度塗布描画システム ESシリーズ
高精度塗布描画システム ESシリーズは、高粘度液剤による微細塗布・描画を研究開発、試作から量産まで対応するディスペンス装置です。Twin-airⓇ ディスペンサを搭載し、1000Pa・sの高粘度液剤でΦ50µmドット、50µm幅ラインの微量塗布を実現します。トップ＆サイドビューによるリアルタイム観察、CADデータインポート、オートアライメントやレーザー変位計によるノズルギャップ制御により、各種ウエハ、基板、3Dワークへの高精細な塗布・パターニングを支援します。
各種ワークへ対応
- 2～8インチ各種ウエハ
- ガラス板/レンズ、金属板、プラスチック
- セラミック基板、樹脂フィルム
- プリント基板、MID、その他3Dワーク
- μLED、mini LED基板（ハンダリペア）
パフォーマンス
- オートアライメント（パターンマッチング他）
- レーザー変位計によるノズルギャップ制御
- トップ＆サイドビューでリアルタイム観察
- 塗布パターンのCADデータインポート
- 塗布動作パラメータをレシピ化（保存）
各種液剤への対応
- プリント基板関連：ハンダペースト、ソルダーレジスト、フラックス
- 半導体関連：高粘度ポリイミド、レジスト、Agペースト
- 樹脂材料：UV硬化剤、エポキシ、シリコーン、ポリイミド、レジスト等
- 導電性材料：Ag/Cu/Au等各種金属ナノペースト、導電性接着剤、導電インク
- カーボンブラックインク、酸化チタン液、ガラスフリット液剤、その他各種インク
塗布アプリケーション例
塗布・描画例 （ES30使用、トップビュー＆サイドビュー イメージ）
| 項目 | ES05 / ES10 / ES12 | ES30 |
|---|---|---|
| 搭載ディスペンサ | Twin-air FF型 | Twin-air FF型 |
| ノズル内径サイズ（μm） | セラミックス製 25,40,70,100,150,200（標準） セラミックス製13,20,300 ～ 500（特注） 金属ノズル（お問い合わせください） | |
| 対応ワークサイズ（mm） | ES05: 50×50、 ES10：100×100 ES12：120×120（4インチウエハ対応可） | 300×200（8インチウエハ対応可） |
| X-Yステージ駆動 | ACサーボモータ ボールネジ駆動 | ACサーボモータによるボールネジ駆動 オプション選択：リニアモータ |
| オートアライメント光学系 | パターンマッチング、エッジ検出（標準：トップビュー光学系、特注：オフセット光学系（塗布エリアの制約あり）） | |
| 共通機能 | ノズル直上トップビュー＆サイドビュー光学系、レーザー変位計、CADデータインポート | |
| オプション | ノズル洗浄ユニット、Z軸ノズル原点検出センサ 捨て打ちステーション(以上 ES12のみ) 真空ポンプ、FFU（HEPA） | ノズル洗浄ユニット、Z軸ノズル原点検出センサ、 捨て打ちステーション 8インチウエハローダ、真空ポンプ FFU（HEPAまたはULPA） |
| 特注対応 | – | ローダー、コンベヤ対応 |
| 装置サイズ、重量 | W600×D600×H1600 250kg以下（ES10,12共通） | W900×D1050×H1600 1000kg以下 |
※仕様やオプションは、予告なく変更する場合があります。詳細仕様につきましてはお問合せください。
