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Twin-airⓇ 高精細ディスペンサ搭載 デスクトップ パターニングシステム ED20ex
新商品
デスクトップ・パターニングシステムは、高粘度液剤の微細塗布・描画を研究開発や試作段階で実現する装置です。Twin-airⓇ 高精細ディスペンサを搭載し、Φ50µm、50µm以下の微細塗布や最大1000Pa・sの高粘度液剤に対応します。リアルタイムのトップ＆サイドビュー観察、CADデータインポート、X-Yオートアライメント機能により、ダム形成、ダイレクトパターニング、液剤開発や塗布条件最適化を効率的に支援します。
卓上機を超えたパフォーマンス
ED20exは、従来の卓上ディスペンサの枠を超えた高精度・高機能を実現しています。
- 最小Φ50µm、50µm以下の微細塗布を実現
- 最大1000 Pa・sの高粘度液剤に対応
- 糸引き・液玉・濡れ上がりを抑制した安定塗布
- リアルタイム トップビュー＆サイドビュー観察
- パターンの CADデータインポート 対応
- X-Yオートアライメント、レーザー変位計による高さ測定
これにより、塗布状態をその場で確認しながら、パラメータ調整・最適化を行うことが可能です
※記載の塗布性能はすべての液剤で保証されるものではありません。
開発・試作に最適な用途
ED20exは、以下のような研究開発・試作用途に最適です。開発期間の短縮と課題解決を強力にサポートします。
ダム形成
高粘度液剤を用いた 100µm以下の微細ダム形成 や、高精度な重ね塗り技術の開発に対応。
ダイレクトパターニング
フォトリソグラフィ不要。液剤と時間を節約しながら、微細パターンの試作・評価が可能。
液剤開発・評価
液剤の 着液 → 濡れ拡がり → 乾燥 プロセスを動画で観察・解析し、液剤設計や条件検討を支援。
塗布プロセス最適化
トライ＆エラーを繰り返しながら、最適なパターン形状・塗布条件を短期間で確立。
微細塗布を支える観察・制御機能
ED20exは、塗布結果だけでなく「塗布中の挙動」を重視した設計です。微細ダム形成、ライン描画、ドット塗布など、さまざまな塗布状態をリアルタイムで確認できます。
- トップビュー（ノズル直上）とサイドビュー（鳥瞰）を同時観察
- 塗布開始～終了までの動画キャプチャが可能
- 液剤挙動を可視化し、原因解析や条件出しを効率化
トップ＆サイドビュー動画のキャプチャ画像例
微細塗布例
対応ワーク・アプリケーション例
ED20exは、多様なワーク形状・用途に対応し、微細・複雑形状ワークへの塗布・パターニングを実現します。
| 項目 | ED20-F01 |
|---|---|
| 搭載ディスペンサ | Twin-air ベーシックファンクション・ディスペンスユニット |
| ノズル内径サイズ（μm） | セラミックス製 25, 40, 70, 100, 150, 200 （標準） 特注サイズ：13μm～ 500μm の製作可能（ただし液剤粘度や基板表面の凹凸によっては使用不可の場合あり） |
| 有効塗布エリア（mm） | X方向：200㎜，Y方向：200㎜（オプション機能を搭載の場合は、170x200mm 以下) |
| X-Yステージ駆動と精度 | ステッピングモータ（マイクロステップ駆動），繰り返し位置決め精度：±3μm 以下（絶対位置決め精度は規定無し） |
| 搭載可能基板サイズ | 200×200㎜ 以下，t=6mm 以下（オプション搭載の場合は、170x200mm 以下) |
| オートアライメント光学系 | 標準搭載 ※ |
| 搭載機能 | トップビュー＆サイドビュー光学、レーザー変位計、インターロック機構、非常停止SW、CADデータインポート、UV光カット用イエローカバー（照明は白色LEDを使用） |
| オプション | コンソールボックス、真空ポンプ、ノズル洗浄ユニット、ノズル先端位置検出ユニット、ステンレス製作業台、ペルチェ式温調ユニット搭載可能 |
| ユーティリティ | 電源：AC100V 700W, クリーンドライエア：0.5～0.7 MPa, 真空 |
| 装置サイズ、重量 | W500×D800×H980 （突起部含まず） 100kg以下 |
※仕様やオプションは、予告なく変更する場合があります。詳細仕様につきましてはお問合せください。
