半導体検査・計測向け（微細構造や薄膜の欠陥の非破壊検出） 超安定UVレーザー光源

Skylark Lasersの高出力・高安定な紫外DPSSレーザー（320 nm／349 nm）は、8インチウェハをわずか90秒でスキャンできるパワフルな光源です。極めて安定した出力と精密なパワー制御により、最も微細な構造を高解像度で検査可能。単一周波数DPSSレーザーは、その高い安定性とコヒーレンス特性から、半導体検査・メトロロジー分野における新たな光源として注目されています。非破壊・高精度の測定を実現し、先端デバイスの微細構造解析を支える理想的なツールです。

大学研究で実証された高安定・高純度UVレーザー性能

「Skylark Lasersの単一周波数DPSSレーザーは、アルゴンレーザーやHeCdレーザーの優れた代替光源です。スペクトル純度が高く、効率も大幅に向上しました。より長寿命でメンテナンスコストも低く、以前のレーザーよりもはるかにコンパクトです。」（Linköping大学 Ivan Ivanov教授）

ケーススタディ：ラマン分光およびフォトルミネッセンス測定におけるSkylark Lasers 349NX の性能検証

スウェーデン・リンシェーピング大学では、従来のアルゴンレーザーに代わる紫外レーザー光源として、Skylark Lasers社の349NX（349 nm, 単一周波数・100 mW）を採用しました。本レーザーは、ラマン分光およびフォトルミネッセンス測定において極めて高いスペクトル純度と安定性を示し、従来のガスレーザーで問題となっていたプラズマ線やノイズを一切含まず、サンプル固有のスペクトルを高S/N比で取得可能です。さらに、高効率DPSS設計により消費電力が少なく、冷却要件が緩和され、システム全体がコンパクトで可搬性にも優れます。長寿命かつメンテナンスコストも低く、研究室間での実験環境を柔軟に共有できる点も高く評価されています。Skylark 349NXは、半導体材料の評価・解析に最適な次世代UV励起光源です。

▶ Prof. Ivan Ivanov – Linköping University Customer Review – Raman Application（英語PDF）