【加工例】コンパクト レーザー微細加工装置 “ALPHAシリーズ”

Oxford Lasers

ALPHAシリーズ ナノ秒レーザーを使用したレーザー微細加工例をご紹介します。

ALPHAシリーズ ナノ秒レーザーを使用したレーザー微細加工例

図説明:

左上:アルミナ
(可視光で加工)
右上:タングステン
(可視光で加工)
左下:ダイアモンド
(可視光で加工)
右下:ポリイミド
(NUVで加工)

 

 

ユーザー用途に合わせた各種のDPSSレーザーが搭載可能で、金属薄膜・セラミック系材料・高分子材料など、さまざまな材料のミリング・エッチング・スクライブ・穴あけなどを行う微細加工装置です。

  • マイクロカッティング
  • マイクロドリリング
  • マイクロエッチング&マイクロミリング

 

マイクロカッティング例

マイクロドリリング例

材料:Alumina 孔サイズ:50umφ 材料:ポリイミド 孔サイズ:100umφ
材料:SiN 孔サイズ:60umφ 材料:Steel さん孔角度:30度

 

マイクロエッチング&マイクロミリング例

30μmライン&10μmスペース 3直接描画(電子回路)
電極エッチング(セラミック上のメタル) ガラスのマイクロミリング

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