ISO9001、CE、RoHS認証を取得した自社生産体制のもと、年間数万台規模の供給実績を持つTucsenは、ライフサイエンス研究から半導体製造、天文観測、軟X線分光まで、幅広い光子検出ニーズに応えるサイエンティフィックカメラ・トータルソリューションプロバイダーとして評価されています。
製品ラインアップ
- TDIカメラ：Gemini 16KTDI／8KTDI／8KTDI LT、Dhyana 9KTDI Pro／9KTDI（最大500kHz~600kHz、100G/40G CoFインターフェース）
- 高感度カメラ：Aries 16 LT／6504 Pro／6504／6506／6510、Dhyana 400BSI V3／95 V2／400／400DC／401A-G／401D・201D／1517／6060・6060BSI／4040 V2・4040BSI（読み出しノイズ最小0.43e-、量子効率最大95%）
- 軟X線カメラ：Dhyana XF95/XV95、XF400BSI/XV400BSI、XF4040BSI/XV4040BSI（量子効率ほぼ100%@80eV〜1000eV）
- 高解像度カメラ：Dhyana 2100、Libraシリーズ（5514 Pro／5514／3405・3412各種／UV／536／16・22・25）、FLシリーズ（9BW／26BW／20BW）、TrueChrome／MIchrome／GTシリーズ ・対応波長域：180nm〜1100nm
※詳細はお問合せください。
分野別のご提案（ライフサイエンス／半導体検査／軟X線・EUV）
日本レーザーでは、微弱光を扱うライフサイエンス、高速・UV/DUV検査が求められる半導体・FPD検査、真空内での計測が必要な軟X線・EUVの3分野を中心に、用途に合わせた機種選定のご相談を承っています。
バイオメディカル・ライフサイエンス分野：微弱光・長時間露光に強いsCMOS／冷却CMOSカメラ
超解像イメージングや微弱光観察において、感度不足や長時間露光時のノイズ蓄積が課題となります。Dhyana 95 V2／400BSI V3は最大95%の量子効率で微弱な信号を捉え、FL 26BWは最大30分の長時間露光でも低ノイズを維持します。従来のEMCCDや冷却CCDが抱えていた課題の解消に貢献します。
推奨機種
- Dhyana 95 V2／Dhyana 400BSI V3（超高感度・高速sCMOS）
- FL 26BW（超低ノイズ冷却CMOS）
主な用途
超解像顕微鏡、単一分子イメージング、ライトシート顕微鏡、化学発光・dPCR等の微弱光観察
従来機との比較
| 観点 | 従来機の課題 | Tucsenの特長 |
|---|---|---|
| 検出感度・ノイズ | 一般的なsCMOSでは量子効率・読み出しノイズに限界があり、微弱光で感度不足になりやすい | Dhyana 95 V2／400BSI V3は量子効率最大95%。Dhyana 95 V2は入射光子数3個以上の条件で、一般的なEMCCDカメラを上回るS/N比を実現 |
| 長期安定性 | EMCCDは信号ドリフトやゲインの経年劣化、増幅ノイズ（Excess Noise Factor 約1.4倍）が課題 | EMCCD特有の経年劣化・増幅ノイズがなく、長期間にわたり定量性を維持 |
| 長時間露光 | 冷却CCDは長時間露光時の暗電流蓄積・ノイズ増加が課題 | FL 26BWは暗電流0.0005 e-/pixel/s未満（-25℃冷却時）。最大30分の露光でも背景均一性を維持 |
半導体・FPD検査分野：100G CoF対応TDI-sCMOS／UV・DUVカメラ
ウェハ・フォトマスク検査における検査タクトタイムの短縮や、UV/DUV帯域での微細欠陥検出の課題に対し、TDI-sCMOSシリーズは、100G CoFインターフェースによる高速転送と広帯域対応により、検査ラインの生産性向上に貢献します。
推奨機種
- Gemini 8KTDI、Dhyana 9KTDI Pro／9KTDI（UV対応TDI-sCMOS）
- Libra 5514 Pro（100G CoF対応 超高速・大フォーマットエリアカメラ）
主な用途
ウェハ欠陥検査、フォトマスク検査、FPD検査、マスクブランクスの高速検査・アライメント
従来機との比較
| 観点 | 従来機の課題 | Tucsenの特長 |
|---|---|---|
| データ転送速度 | TDI-CCDや一般的なsCMOSでは、転送速度が検査タクトタイムの制約になりやすい | Gemini 8KTDIとLibra 5514 Proは100G CoFインターフェースに対応。Libra 5514 Proは最大9,380 Mpixel/s（14MP・670fps・8bit時）の高速転送を実現 |
| UV/DUV対応 | 一般的な検査用カメラはUV・DUV帯域の感度が限定的 | Gemini 8KTDI、Dhyana 9KTDI Proは180〜1100nmの広帯域に対応。Gemini 8KTDIは266nmで量子効率63.9%を達成し、微細な欠陥・構造を明瞭に撮像 |
| 撮像時の歪み | 移動体の高速検査では、ローリングシャッターによる像の歪みが課題 | Libra 5514 Proはグローバルシャッター搭載。移動するウェハを歪みなく高速・高解像度に撮像 |
軟X線・EUV分野：真空内設置に対応した軟X線sCMOSカメラ
EUVリソグラフィ診断や放射光施設での測定において、真空対応や測定時間の制約にお悩みではないでしょうか。Dhyana XF／XVシリーズは、軟X線・EUV帯域でほぼ100%の量子効率と超高真空への適合性を両立し、安定稼働と測定時間の短縮に貢献します。
推奨機種
- Dhyana XFシリーズ（オープンフロント・フランジ接続モデル）
- Dhyana XVシリーズ（インバキューム・真空内設置モデル）
主な用途
EUVリソグラフィ光源診断・マスク検査、ナノCT、放射光コヒーレント回折・タイコグラフィ
従来機との比較
| 観点 | 従来機の課題 | Tucsenの特長 |
|---|---|---|
| 量子効率 | 従来型の軟X線検出器は、帯域によって量子効率が大きく低下する場合がある | 80eV〜1000eVでほぼ100%の量子効率。直接イメージングが可能 |
| 真空適合性 | 一般的なカメラを真空チャンバー内で使うには、追加の防護・改造が必要 | 10⁻⁷ Paレベルの超高真空に対応するシール構造と、高エネルギー線照射に耐える耐ダメージ設計により、チャンバー内へ直接設置可能 |
| 測定時間 | 軟X線用CCDはフレームレートの制約でデータ取得に時間を要する | sCMOSの高速フレームレートにより、露光・データ取得時間を大幅に短縮 |
Tucsenが選ばれる理由
- 製造品質：クラス100のクリーン生産ライン、ISO9001認証取得の自社工場で、6シグマに基づく品質管理のもと製造しています
- システム統合性：Windows／Linux／Mac対応のSDKを提供。LabVIEW、MATLAB、Micro-Manager等の主要ソフトウェアに対応しています
- OEM/ODM実績：10年以上の実績があり、筐体サイズ、冷却構造、インターフェース変更など、装置組み込み向けのカスタマイズに迅速に対応します
- 導入実績：NanoTerasu等の放射光施設、大学、民間企業で稼働しています
- ライフサイエンス：高スループットイメージング、神経科学、超解像イメージング、ゲノムシーケンシング、病理スライドスキャン
- 物理科学：低温原子、量子物理、単一分子蛍光、超解像顕微鏡、宇宙デブリ観測、太陽天文学
- 半導体検査：ウェハ検査、パッケージング検査、マスク検査、FPD検査、リチウム電池検査、Web検査
- 軟X線／EUV：軟X線散乱・分光、極端紫外分光、層状回折イメージング、高調波発生放射
