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高精度 電動位置決めステージ（多軸／回転／ジンバル等）
Newport社は、高精度なモーションコントロール製品の豊富な納入実績をもつ世界的リーディングカンパニーです。ユニークで多彩な標準の位置決めステージに加え、特定のニーズに合わせて、アセンブリから高度なカスタム/OEMにも対応いたします。ここでは、ヘキサポッド、ジンバルステージ、多軸回転ステージ、多軸ゴニオステージ／クレードルゴニオ、多軸傾斜ステージなどの、標準シリーズやカスタム製品例を紹介しています。
Newport社は、科学研究、マイクロエレクトロニクス製造、航空宇宙分野向けに高精度なモーションコントロールソリューションを提供する世界的なリーディングカンパニーです。55年以上にわたり、数千ものシステムの導入実績を持ち、さまざまな分野で優れた成果を上げています。Newport社のユニークで幅広い標準製品に加え、特定のニーズに合わせたカスタム製品やアセンブリ、さらには高度なカスタム/OEMソリューションにも多くの成功事例があります。
長年にわたり販売代理店を務めてきた日本レーザーも、標準製品とカスタム製品の両方について、日本国内で多くのお客様にサポートを提供しています。お客様の特定の要件や用途について、お気軽にご相談ください。
ヘキサポッド | 電動ジンバルステージ | 電動多軸ステージ（XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等）
ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム
ヘキサポッドは、X, Y, Z, ピッチΘx, ロールΘy, ヨーΘzの6つの自由度をもつ平行キネマティック位置決めステージです。最大6軸を、互いに独立して駆動できます。複雑なモーションコントロール制御を必要とするアプリケーションで、高い負荷容量と精度を提供します。電動ジンバルステージ
Newport社の電動ジンバルマウントは、世界中のさまざまな先進的アプリケーションで1,000台以上導入されています。主な用途は、ターゲット・シミュレーション／追跡、カメラ補正、センサ、望遠鏡のアライメント、各種機器装置の性能試験、一般的な光学アライメントおよび調整です。慣性ナビゲーションシステム用のジャイロスコープセンサのテストや特性評価にも使用されます。（左写真は150kg レンジファインダ補正のため特注された電動ジンバルステージです。）
さまざまな荷重や位置決め要件に対応するため、Newport社では多彩なサイズのハーフヨークまたはフルヨーク構成を提供しています。またハイデンハイン製エンコーダを統合し、秒角未満レベルの精度と感度を実現しています。（左写真は直径350mmのミラーをZ軸と方位角を駆動できる電動ジンバルマウントです。LIDAR分析、ターゲット追跡、光学センサテストに開発されました。）電動多軸ステージ（XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等）
Newport社では、さまざまな用途でご利用いただけるよう、直進ステージ、垂直ステージ（X, Z, XY, XYZ）、回転ステージ、ゴニオステージ、傾斜ステージ（チルトステージ） といった多彩なモーション・コントロール製品を標準製品として提供しています。
またこれら標準製品を組み合わせて、用途に必要な駆動軸をもつ特注電動多軸ステージを、特殊なインターフェイス・アダプタや大きな変更を加えることなく構築することもできます。性能計測には、軸の直交性（通常 50～250 μm 範囲）と軸精度 （SOC 0.25～1 mm 範囲）が含まれます。 これらカスタムステージは、ターンキー・ソリューションとして、コントローラを含めて構築・納品いたします。
標準製品から構築する電動多軸ステージ
- 短納期：標準コンポーネントを利用するため、フルカスタムに比べてはるかに短期間で納品できます
- 高い信頼性：性能実証済みの標準コンポーネントを利用するため、技術的なリスクを軽減できます
- 幅広い性能試験：モーション・システムのグローバル仕様は、納入前の広範な計測試験を通じて保証しています
- 安心サポート：Newport社の50年にわたる設計やアプリケーション・エンジニアリングの経験と、日本レーザーの専門チームによる国内サポート実績で、最適なソリューションを提案いたします
電動多軸ステージ構築例
位置決め/モーションコントロール カスタマイズ例
Newportのモーションコントロールチームは、50年以上にわたって、研究、産業、航空宇宙のアプリケーション向けに高精度なカスタム/OEMシステムの、開発、システム設計、製造、現場への導入といったトータルなソリューションを提供してきました。現在Newportでは、テクノロジー・プラットフォーム、アセンブリ、高度ソリューションという3つのカテゴリに分類して、カスタマイズ製品を提供しています。
カスタマイズのためのエンジニアリング機能＆サポート
Newportのアプリケーションエンジニアと設計エンジニアから成るチームが、システムのコンセプトから、詳細な技術的検証・分析、プロジェクト管理、設計、アプリケーション・エンジニアリングまでサポートします。必要やご希望により、システム計測、オンサイトでの設置、文書化、トレーニングも対応いたします。（左写真：MC-FEA bracket-S）
アセンブリ位置決め製品 – XY, XYZ, ジンバルステージ等
Newportのアプリケーション・エンジニアが、標準ステージの選択と仕様変更を支援し、アセンブリ・ジンバルステージやエンジニアリング多軸システムなどのカスタム製品を製造いたします。これらはアプリケーション要件に合わせてパフォーマンスを最適化し、システム計測ドキュメントととして提供されます。（左写真：CMS-XZ_RZ-RY アセンブリ多軸ステージ）
電動ジンバルマウント
Newportのジンバルマウントは、さまざまなサイズ、またハーフまたはフルのヨーク構成をご用意しており、さまざまな荷重や位置決め要件に対応できます。内蔵のHeidenhainエンコーダにより、秒角未満レベルの精度と感度を提供します。また直交性と軸調整性能を示す計測サービスがご利用可能です。（左写真：CMS-11SI70870 特注電動ジンバルマウント）
電動ガントリーシステム
ガントリーシステムは、標準品ベースから構築、または要件に合わせ特注製造で提供されます。ガントリーシステムの可動軸は、2軸 (XY) または3軸 (XYZ) です。マウントするサンプル、ツール、センサにさらなる調整が必要な場合は、精密回転ステージを追加することもできます。（左写真：ウエハ検査ガントリーシステム）
エアベアリング・モーション・ソリューション
Newportが設計・製造した高精度モーション・システムおよび複雑な位置決め装置は、世界中の1,000を超える施設で導入されてきました。Newportのエアベアリング・モーション・ソリューションには、5G加速度とナノメートル精度を備えた DynamYX、エアベアリングとメカニカルベアリングを組み合わせたハイブリッドシステム HybrYX、複数の高度機能を一つに組み合わせた新しい SinguLYS という3シリーズがございます。（左写真：DynamYX® Datum™ 3G X軸, 5G Y軸 特注エアベアリングステージ）
機能拡張 位置決め製品
Newportでは、標準のリニアステージ、回転ステージ、アクチュエータ、ヘキサポッドなどをベースに、より高速、より高い負荷、より長い可動距離、より高い解像度、さまざまな方向・感度といった要件に合わせて、仕様を拡張・変更した特注位置決め製品を開発いたします。また手動位置決めステージにアクチュエータを搭載することで、電動ステージ単独よりも低コストでカスタムモーションシステムを作成できます。（左写真：CMS-AWE_030_RVU240 方位角/仰角ミラー マウント付電動回転ステージ）
モーション・エレクトロニクス開発
モーション制御機能を拡張して、モーションと輪郭・軌道・誤差補正・イベント・トリガ機能との同期や、位置のキャプチャ、干渉フィードバック、高度なデータ収集などに対応できます。このカスタマイズは、単に光学部品の駆動だけでなく、他の機器と位置決め装置の複数の軸との間で調整するような複雑な産業用途など、さまざまなレベルのアプリケーションをカバーするものです。また衝突防止ソフトウェアや自動化ソフトウェアのソリューションも利用可能です。
特注モーション・インターフェイス
標準製品を用いた多軸アセンブリを容易にするため、アングルブラケット、ペイロードアダプタプレート、ベースプレート、または取付穴指定の標準インターフェイスプレートなど、インターフェイス・プレートのカスタマイズが可能です。
クリーンルーム、真空、超高真空、高温、極低温、EUVといった極端環境要件への対応が可能です。（左写真：CMS-ILE 10-6torr 真空対応ターゲットポジショナ）
