高精度 電動位置決めステージ(多軸/回転/ジンバル等)

Newport

Newport社は、高精度なモーションコントロール製品の豊富な納入実績をもつ世界的リーディングカンパニーです。ユニークで多彩な標準の位置決めステージに加え、特定のニーズに合わせて、アセンブリから高度なカスタム/OEMにも対応いたします。ここでは、ヘキサポッド、ジンバルステージ、多軸回転ステージ、多軸ゴニオステージ/クレードルゴニオ、多軸傾斜ステージなどの、標準シリーズやカスタム製品例を紹介しています。

Newport社は、科学研究、マイクロエレクトロニクス製造、航空宇宙分野向けに高精度なモーションコントロールソリューションを提供する世界的なリーディングカンパニーです。55年以上にわたり、数千ものシステムの導入実績を持ち、さまざまな分野で優れた成果を上げています。Newport社のユニークで幅広い標準製品に加え、特定のニーズに合わせたカスタム製品やアセンブリ、さらには高度なカスタム/OEMソリューションにも多くの成功事例があります。
 
長年にわたり販売代理店を務めてきた日本レーザーも、標準製品とカスタム製品の両方について、日本国内で多くのお客様にサポートを提供しています。お客様の特定の要件や用途について、お気軽にご相談ください。
 
ヘキサポッド | 電動ジンバルステージ | 電動多軸ステージ(XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等)

 

ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム

ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステムヘキサポッドは、X, Y, Z, ピッチΘx, ロールΘy, ヨーΘzの6つの自由度をもつ平行キネマティック位置決めステージです。最大6軸を、互いに独立して駆動できます。複雑なモーションコントロール制御を必要とするアプリケーションで、高い負荷容量と精度を提供します。
Newport社のヘキサポッドは、実績の高い独自技術の高性能アクチュエータで駆動します。アクチュエータを、ベースプレートと可動部のトッププレートに接続する12個のジョイントは、一般的なジョイントよりも非常に高い剛性を有し、同等の他社製品に比べて高い耐荷重性を実現しています。

電動ジンバルステージ

150kg レンジファインダ補正用電動ジンバルステージNewport社の電動ジンバルマウントは、世界中のさまざまな先進的アプリケーションで1,000台以上導入されています。主な用途は、ターゲット・シミュレーション/追跡、カメラ補正、センサ、望遠鏡のアライメント、各種機器装置の性能試験、一般的な光学アライメントおよび調整です。慣性ナビゲーションシステム用のジャイロスコープセンサのテストや特性評価にも使用されます。(左写真は150kg レンジファインダ補正のため特注された電動ジンバルステージです。)
LIDAR分析、ターゲット追跡、光学センサテスト向け 直径350mmミラー用 Z軸可動ジンバルマウントさまざまな荷重や位置決め要件に対応するため、Newport社では多彩なサイズのハーフヨークまたはフルヨーク構成を提供しています。またハイデンハイン製エンコーダを統合し、秒角未満レベルの精度と感度を実現しています。(左写真は直径350mmのミラーをZ軸と方位角を駆動できる電動ジンバルマウントです。LIDAR分析、ターゲット追跡、光学センサテストに開発されました。)

電動多軸ステージ(XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等)

Newport社では、さまざまな用途でご利用いただけるよう、直進ステージ、垂直ステージ(X, Z, XY, XYZ)回転ステージ、ゴニオステージ、傾斜ステージ(チルトステージ) といった多彩なモーション・コントロール製品を標準製品として提供しています。
またこれら標準製品を組み合わせて、用途に必要な駆動軸をもつ特注電動多軸ステージを、特殊なインターフェイス・アダプタや大きな変更を加えることなく構築することもできます。性能計測には、軸の直交性(通常 50~250 μm 範囲)と軸精度 (SOC 0.25~1 mm 範囲)が含まれます。 これらカスタムステージは、ターンキー・ソリューションとして、コントローラを含めて構築・納品いたします。
 

標準製品から構築する電動多軸ステージ

  • 短納期:標準コンポーネントを利用するため、フルカスタムに比べてはるかに短期間で納品できます
  • 高い信頼性:性能実証済みの標準コンポーネントを利用するため、技術的なリスクを軽減できます
  • 幅広い性能試験:モーション・システムのグローバル仕様は、納入前の広範な計測試験を通じて保証しています
  • 安心サポート:Newport社の50年にわたる設計やアプリケーション・エンジニアリングの経験と、日本レーザーの専門チームによる国内サポート実績で、最適なソリューションを提案いたします

 

電動多軸ステージ構築例

高荷重・高剛性 XYZステージ
高荷重・高剛性 XYZステージ(IMS/ILS 300-600 mm/50-250 mm アルミニウム DCモータ・リニアステージ使用)
SOC 100 µm のクレードル搭載 2Θ 回転ステージ
SOC 100 µm のクレードル搭載 2Θ 回転ステージ(BGS/BGM 高精度 DCモータ・ゴニオクレードル使用)
直交性 50 µrad のXZステージ
直交性 50 µrad のXZステージ(UTS 薄型スチール製リニアステージ使用)
小型XYZステージ
小型XYZステージ(VP 高精度Z軸垂直ステージ使用)
生産テスト向け  XZ-ΘZ 直進&回転ステージ
生産テスト向け XZ-ΘZ 直進・垂直・回転ステージ (URS 回転ステージ、GTS30V 30mm 垂直ステージ、ILS 50-250mm リニアステージ使用)

ウェハ検査用 XY-ΘZ 水平・回転ステージ(XM 超高精度リニアステージ、RGV100BL 高速回転ステージ使用)
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