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メーカー Newport
≫ 高精密ヘキサポッド
最小移動量が小さく精密なモーションコントロールが可能
ヘキサポッドはモジュール式に組み合わせで構成されたステージと比較して、コンパクトで、複雑な多軸モーションを簡単かつスマートに実行できます。Newport（ニューポート）社ヘキサポッドの専用ファームウェアは、2つの座標系を使用して複雑なモーションのプログラミングを簡素化し、座標変換を自動的に計算してモーションを直接的にプログラミングします。Hexavizシミュレーションソフトウェア のシミュレーションモードでは、すべてのヘキサポッドをテストできます。
| Models | HXP50-MECA | HXP100-MECA | HXP100P-MECA |
|---|---|---|---|
| サイズ | Ø200 x 151 mm | Ø300 x 209 mm | Ø300 x 209 mm |
| プラットフォーム直径 | 125 mm | 200 mm | 200 mm |
| 可動量, X, Y, Z ※1 | ±17, ±15, ±7 mm | ±27.5, ±25, ±14 mm | ±27.5, ±25, ±14 mm |
| 可動量, ΘX, ΘY, ΘZ | ±9, ±8.5, ±18 ° | ±11.5, ±10.5, ±19 ° | ±11.5, ±10.5, ±19 ° |
| 最小移動量, X, Y, Z ※2 | 0.10, 0.10, 0.05 µm | 0.5, 0.5, 0.25 µm | 0.10, 0.10, 0.05 µm |
| 最小移動量, ΘX, ΘY, ΘZ | 0.05, 0.05, 0.10 mdeg | 0.25, 0.25, 0.5 mdeg | 0.05, 0.05, 0.10 mdeg |
| 一方向再現性, X, Y, Z (代表値) | ±0.10, ±0.10, ±0.05 µm | ±0.25, ±0.25, ±0.125 µm | ±0.10, ±0.10, ±0.05 µm |
| 一方向再現性, ΘX, ΘY, ΘZ (代表値) | ±0.05, ±0.05, ±0.10 mdeg | ±0.125, ±0.125, ±0.25 mdeg | ±0.05, ±0.05, ±0.10 mdeg |
| 最高速度, X, Y, Z | 14, 12, 5 mm/s | 2.5, 2, 1 mm/s | 12, 10, 5 mm/s |
| 最高速度, ΘX, ΘY, ΘZ | 6, 6, 15 °/s | 1.8, 1.7, 3 °/s | 8, 8, 16 °/s |
| 剛性, X, Y, Z ※3 | 2, 2, 25 N/µm | 5, 5, 40 N/µm | 3, 3, 24 N/µm |
| 中心負荷容量 ※4 | 50 N | 200 N | 60 N |
| コネクタ | DB25 Male (6) and DB15 Male (6) | DB25 M (6), non vacuum compatible | DB25 Male (6) and DB15 Male (6) |
| ケーブル長 | 3 m | 1.5 m | 3 m |
| モータ | DC Servo | DC Servo | DC Servo |
| 重量 | 2.2 kg | 7.2 kg | 7.2 kg |
| スレッドタイプ | M6 | – | M6 |
※1 可動量は相互に依存します。記載値は最大値です。他のすべての軸が中心位置にあるときの、軸ごとの可動量です。
※2 オープンループでの値
※3 Stiffness depends on Hexapod position. Values are given for all axis in their centered position.剛性は各6脚の位置により異なります。記載値はすべての軸が中心位置にあるときの値です。
※4 水平ベースプレートの値です。
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