高精密ヘキサポッド

独立6軸(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)動作。複雑なモーションコントロールに高い耐荷重と精度を提供。

メーカー Newport

 

ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム

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最小移動量が小さく精密なモーションコントロールが可能

 

ヘキサポッドはモジュール式に組み合わせで構成されたステージと比較して、コンパクトで、複雑な多軸モーションを簡単かつスマートに実行できます。Newport(ニューポート)社ヘキサポッドの専用ファームウェアは、2つの座標系を使用して複雑なモーションのプログラミングを簡素化し、座標変換を自動的に計算してモーションを直接的にプログラミングします。Hexavizシミュレーションソフトウェア のシミュレーションモードでは、すべてのヘキサポッドをテストできます。

Models HXP50-MECA HXP100-MECA HXP100P-MECA
サイズ Ø200 x 151 mm Ø300 x 209 mm Ø300 x 209 mm
プラットフォーム直径 125 mm 200 mm 200 mm
可動量, X, Y, Z ※1 ±17, ±15, ±7 mm ±27.5, ±25, ±14 mm ±27.5, ±25, ±14 mm
可動量, ΘX, ΘY, ΘZ ±9, ±8.5, ±18 ° ±11.5, ±10.5, ±19 ° ±11.5, ±10.5, ±19 °
最小移動量, X, Y, Z ※2 0.10, 0.10, 0.05 µm 0.5, 0.5, 0.25 µm 0.10, 0.10, 0.05 µm
最小移動量, ΘX, ΘY, ΘZ 0.05, 0.05, 0.10 mdeg 0.25, 0.25, 0.5 mdeg 0.05, 0.05, 0.10 mdeg
一方向再現性, X, Y, Z (代表値) ±0.10, ±0.10, ±0.05 µm ±0.25, ±0.25, ±0.125 µm ±0.10, ±0.10, ±0.05 µm
一方向再現性, ΘX, ΘY, ΘZ (代表値) ±0.05, ±0.05, ±0.10 mdeg ±0.125, ±0.125, ±0.25 mdeg ±0.05, ±0.05, ±0.10 mdeg
最高速度, X, Y, Z 14, 12, 5 mm/s 2.5, 2, 1 mm/s 12, 10, 5 mm/s
最高速度, ΘX, ΘY, ΘZ 6, 6, 15 °/s 1.8, 1.7, 3 °/s 8, 8, 16 °/s
剛性, X, Y, Z ※3 2, 2, 25 N/µm 5, 5, 40 N/µm 3, 3, 24 N/µm
中心負荷容量 ※4 50 N 200 N 60 N
コネクタ DB25 Male (6) and DB15 Male (6) DB25 M (6), non vacuum compatible DB25 Male (6) and DB15 Male (6)
ケーブル長 3 m 1.5 m 3 m
モータ DC Servo DC Servo DC Servo
重量 2.2 kg 7.2 kg 7.2 kg
スレッドタイプ M6 M6

※1 可動量は相互に依存します。記載値は最大値です。他のすべての軸が中心位置にあるときの、軸ごとの可動量です。
※2 オープンループでの値
※3 Stiffness depends on Hexapod position. Values are given for all axis in their centered position.剛性は各6脚の位置により異なります。記載値はすべての軸が中心位置にあるときの値です。
※4 水平ベースプレートの値です。

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