静電吐出方式高精細ディスペンサ Q-Jet

浜松ナノテクノロジー

エアー式ディスペンサでは実現不可能な細線描画、ピエゾ式インクジェットでは不可能な高粘度吐出を可能にする従来の常識を覆した高機能パターニング技術。

Q-jet方式(静電吐出方式)

Q-jet方式(静電吐出方式) 従来の空圧ディスペンサ方式
   
静電吐出は着弾まで液材に静電吸引力が働く

リアルタイム光学観察系

  • 液流のリアルタイム・モニタリング
  • 着液の厚さや凹凸の観察
  • 基板の凹凸状態の確認
  • ノズル先端とのギャップ確認
  • オン・アクシス・アライメント
  • リアルタイム・モニタリング
  • 塗布・描画後の簡易寸法測定
  • 形状検査(要、画像処理ユニット)
同軸顕微鏡光学系(Patent pending)、サイド・ビュー・ユニット(オプション)で吐出、描画状態をリアルタイムで観察
  • Agナノ・ペースト
  • Cuナノペースト
  • その他金属ペースト
  • フォト・レジスト
  • 各種の樹脂接着剤
  • UV硬化樹脂etc.
  • Agナノペーストの配線パターニング
  • フィラー入り液材:蛍光粒子、シリカ粒子、各種ナノ・マイクロ粒子
  • フォト・レジスト・パターニング(マスクレス描画)
  • 微細、微小部位への各種の液材塗布
  • 樹脂材料(含、接着剤):ピンポイント塗布、ライン描画、ベタ塗り
  • 電子部品:キャビティ塗潰し、凹部、凸部への液材塗布
  • MLA形成、レンズ・アパーチャ形成
  • その他、空圧式ディスペンサやIJで困難なアプリ
ライン塗つぶし ワークの特定部の塗り潰し(マスク処理) 厚膜塗布(10µm以上) キャビティ内の塗り込み
マイクロレンズアレイ形成 ガラス端面への接着剤塗布やレンズ形成 レンズ外周部塗り潰し(アパーチャ) 微小突起への塗布
ガラス貼り合せの為の接着剤 細線描画 各種微細パターン描画1 各種微細パターン描画2 各種微細パターン描画3

ドット描画

Agナノペースト:40µmφ グリセリン:8µmφ

Ag ナノペースト・パターニング パターン描画

Agナノペースト(15µm幅 フォト・レジスト(4µm幅) フォト・レジスト

製品ラインナップ

同軸顕微鏡型ノズルヘッド・ユニット   QDX-500E

お客様のご要求に応じた各種カスタム装置設計・製造(量産ライン向けシステム、R&D用特注装置等)

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