大気・真空対応ナノ位置決めステージ

メーカー　attocube

　
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耐荷重：ナノメートルスケールで数kgまで可能
クローズドループ制御可能：高速、高分解能、高い位置再現性を同時に提供
真空対応：大気圧から超高真空（UHV）まで。全モデルでアルマイトかステンレスを選択可能
長寿命と高い費用対効果を両立

Attocube（アトキューブ）社のナノポジショナーはすべてピエゾモーター駆動で、ナノメートル精度のモーションを実現しています。用途に応じて、様々な材質の本体、オプションを選択できます。

軽量で強度の高いアルミニウム材は、大気中使用向けのナノポジショナーに使用されています。一方ステンレススチール製ハウジングは、UHVまでの真空環境に対応しています。

独自のピエゾ駆動技術、堅牢な機械設計、クロスローラベアリング採用により、ナノメートルスケールで数kgまでの荷重が可能です。また AMC100 3軸ドライブエレクトロニクスと組み合わせることで、最高速度 4.5 mm/s（10°/s）と、1 nm（1μ°）の高いクローズドループ分解能を同時に提供します。位置再現性は最高 50 nm（50μ°）です。大気圧から超高真空まで対応し、全モデルについてアルマイトかステンレススチールの材質を選択できます。長寿命と高い費用対効果の両方を兼ねるよう設計された室温最適化駆動機構と、最適な材質により、約50万サイクルの長い寿命と、コスト削減を同時に達成しています。

主な仕様

※表中の各「GO」から、Attocubeサイト内の詳細ページ（英語）へ移動します。

モデル	タイプ	軸	耐荷重	可動量	温度	真空度	磁場強度	エンコーダ分解能	詳細
ECSx3030/Al/RT	リニア	水平	9000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECSx3030/Al/NUM/RT	リニア	水平	9000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3030/StSt/HV	リニア	水平	9000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	×	GO
ECSx3030/StSt/NUM/HV	リニア	水平	9000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3030/StSt/NUM+/HV	リニア	水平	9000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3030/StSt/UHV	リニア	水平	9000 g	20 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	×	GO
ECSx3030/StSt/NUM/UHV	リニア	水平	9000 g	20 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3030/StSt/NUM+/UHV	リニア	水平	9000 g	20 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3050/Al/RT	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECSx3050/Al/HL/RT	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECSx3050/Al/NUM/RT	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3050/Al/HL/NUM/RT	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3050/StSt/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	×	GO
ECSx3050/StSt/HL/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	×	GO
ECSx3050/StSt/NUM/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3050/StSt/HL/NUM/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3050/StSt/NUM+/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3050/StSt/HL/NUM+/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3050/StSt/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	×	GO
ECSx3050/StSt/HL/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	×	GO
ECSx3050/StSt/NUM/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3050/StSt/HL/NUM/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3050/StSt/NUM+/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3050/StSt/HL/NUM+/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3080/Al/RT	リニア	水平	24000 g	50 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECSx3080/Al/HL/RT	リニア	水平	24000 g	50 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECSx3080/Al/NUM/RT	リニア	水平	24000 g	50 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3080/Al/HL/NUM/RT	リニア	水平	24000 g	50 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3080/StSt/HV	リニア	水平	24000 g	50 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	×	GO
ECSx3080/StSt/NUM/HV	リニア	水平	24000 g	50 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3080/StSt/NUM+/HV	リニア	水平	24000 g	50 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3080/StSt/UHV	リニア	水平	24000 g	50 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	×	GO
ECSx3080/StSt/NUM/UHV	リニア	水平	24000 g	50 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSx3080/StSt/NUM+/UHV	リニア	水平	24000 g	50 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSx5050/Al/RT	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECSx5050/Al/HL/RT	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECSx5050/Al/NUM/RT	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 nm	GO
ECSx5050/Al/HL/NUM/RT	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 nm	GO
ECSx5050/StSt/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	×	GO
ECSx5050/StSt/HL/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	×	GO
ECSx5050/StSt/NUM/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx5050/StSt/HL/NUM/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx5050/StSt/NUM+/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx5050/StSt/HL/NUM+/HV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 nm	GO
ECSx5050/StSt/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	×	GO
ECSx5050/StSt/HL/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	×	GO
ECSx5050/StSt/NUM/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSx5050/StSt/HL/NUM/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSx5050/StSt/NUM+/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSx5050/StSt/HL/NUM+/UHV	リニア	水平	15000 g	30 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 nm	GO
ECSxy5050/Al/RT	スキャナ	XY	15000 g	25 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECSxy5050/Al/NUM/RT	スキャナ	XY	15000 g	25 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 nm	GO
ECSz3030/Al/RT	リニア	垂直	800 g	5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECSz3030/Al/NUM/RT	リニア	垂直	800 g	5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 nm	GO
ECSz5050/Al/RT	リニア	垂直	800 g	8 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECSz5050/Al/NUM/RT	リニア	垂直	800 g	8 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 nm	GO
ANPz30/RT	リニア	垂直	10 g	2.5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz30/HV	リニア	垂直	10 g	2.5 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz30/UHV	リニア	垂直	10 g	2.5 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx51/RT	リニア	水平	25 g	3 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx51/RES/RT	リニア	水平	25 g	3 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx51/HV	リニア	水平	25 g	3 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx51/RES/HV	リニア	水平	25 g	3 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx51/UHV	リニア	水平	25 g	3 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx51/RES/UHV	リニア	水平	25 g	3 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz51/RT	リニア	垂直	50 g	2.5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz51eXT/RT	リニア	垂直	50 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz51eXT/RES/RT	リニア	垂直	50 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz51/RES/RT	リニア	垂直	50 g	2.5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz51/HV	リニア	垂直	50 g	2.5 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz51eXT/HV	リニア	垂直	50 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz51eXT/RES/HV	リニア	垂直	50 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz51/RES/HV	リニア	垂直	50 g	2.5 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz51eXT/UHV	リニア	垂直	50 g	6 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz51/UHV	リニア	垂直	50 g	2.5 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz51eXT/RES/UHV	リニア	垂直	50 g	6 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz51/RES/UHV	リニア	垂直	50 g	2.5 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx101/RT	リニア	水平	100 g	5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx101/RES/RT	リニア	水平	100 g	5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx101/HV	リニア	水平	1 m°	5 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx101/RES/HV	リニア	水平	1 m°	5 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx101/UHV	リニア	水平	1 m°	5 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx101/RES/UHV	リニア	水平	1 m°	5 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz101/RT	リニア	垂直	200 g	5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz101eXT12/RT	リニア	垂直	200 g	12 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz101/HL/RT	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz101/RES/RT	リニア	垂直	200 g	5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz101eXT12/RES/RT	リニア	垂直	200 g	12 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz101/HL/RES/RT	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz101/HV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz101eXT12/HV	リニア	垂直	2 mm/s	12 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz101/HL/HV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz101/RES/HV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz101eXT12/RES/HV	リニア	垂直	2 mm/s	12 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz101/RES/HL/HV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz101/UHV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz101eXT12/UHV	リニア	垂直	2 mm/s	12 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz101/HL/UHV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz101eXT12/RES/UHV	リニア	垂直	2 mm/s	12 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz101/RES/UHV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz101/RES/HL/UHV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz102/RT	リニア	垂直	200 g	5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz102/RES/RT	リニア	垂直	200 g	5 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz102/HV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz102/RES/HV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPz102/UHV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPz102/RES/UHV	リニア	垂直	2 mm/s	5 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx311/RT	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx311/HL/RT	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx311/RES/RT	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx311/HL/RES/RT	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx311/HV	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx311/HL/HV	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx311/RES/HV	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx311/HL/RES/HV	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx311/HL/UHV	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx311/RES/UHV	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx311/HL/RES/UHV	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx312/RT	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx312/HV	リニア	水平	2000 g	6 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx321/RT	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx321/HL/RT –	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx321/RES/RT	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx321/HL/RES/RT	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx321/HV	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx321/HL/HV	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx321/RES/HV	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx321/HL/RES/HV	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx321/UHV	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx321/HL/UHV	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx321/RES/UHV	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx321/HL/RES/UHV	リニア	水平	2000 g	15 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx341/RT	リニア	水平	2000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx341/HL/RT	リニア	水平	2000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx341/RES/RT	リニア	水平	2000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx341/HL/RES/RT	リニア	水平	2000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx341/HV	リニア	水平	2000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx341/HL/HV	リニア	水平	2000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx341/RES/HV	リニア	水平	2000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx341/HL/RES/HV	リニア	水平	2000 g	20 mm	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx341/HL/UHV	リニア	水平	2000 g	20 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANPx341/RES/UHV	リニア	水平	2000 g	20 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANPx341/HL/RES/UHV	リニア	水平	2000 g	20 mm	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 200 nm	GO
ANSxy50/RT	スキャナ	XY	50 g	30 x 30 µm²	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxy50/HV	スキャナ	XY	50 g	–	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxy50/UHV	スキャナ	XY	50 g	–	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz50/RT	スキャナ	Z	50 g	–	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz50/HV	スキャナ	Z	50 g	–	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz50/UHV	スキャナ	Z	50 g	–	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxyz50/RT	スキャナ	XYZ	100 g	30 x 30 x 4.3 µm³	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxyz50/HV	スキャナ	XYZ	0.5 nm	–	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxyz50/UHV	スキャナ	XYZ	0.5 nm	–	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxy100lr/RT	スキャナ	XY	100 g	50 x 50 µm²	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxy100std/RT	スキャナ	XY	100 g	40 x 40 µm²	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxy100lr/HV	スキャナ	XY	1 m°	–	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxy100std/HV	スキャナ	XY	1 m°	–	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxy100std/UHV	スキャナ	XY	1 m°	–	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxy100lr/UHV	スキャナ	XY	1 m°	–	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz100lr/RT	スキャナ	Z	100 g	–	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz100hs/RT	スキャナ	Z	100 g	–	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz100std/RT	スキャナ	Z	100 g	–	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz100lr/HV	スキャナ	Z	1 m°	–	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz100/HV	スキャナ	Z	1 m°	–	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz100hs/HV	スキャナ	Z	1 m°	–	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz100std/UHV	スキャナ	Z	1 m°	–	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz100sr/UHV	スキャナ	Z	1 m°	–	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSz100lr/UHV	スキャナ	Z	1 m°	–	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxyz100hs/RT	スキャナ	XYZ	100 g	40 x 40 x 4.3 µm³	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxyz100/RT	スキャナ	XYZ	100 g	50 x 50 x 24 µm³	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxyz100/HV	スキャナ	XYZ	1 m°	–	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxyz100hs/HV	スキャナ	XYZ	1 m°	–	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxyz100hs/UHV	スキャナ	XYZ	1 m°	–	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSxyz100/UHV	スキャナ	XYZ	1 m°	–	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSx150/RT	スキャナ	X	100 g	–	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSx150/HV	スキャナ	X	1 m°	–	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANSx150/UHV	スキャナ	X	1 m°	–	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ECGt5050/Al/RT	ゴニオ	θ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECGt5050/Al/HL/RT	ゴニオ	θ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECGt5050/Al/NUM/RT	ゴニオ	θ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 µ°	GO
ECGt5050/Al/HL/NUM/RT	ゴニオ	θ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 µ°	GO
ECGt5050/StSt/HV	ゴニオ	θ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	×	GO
ECGt5050/StSt/NUM/HV	ゴニオ	θ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 µ°	GO
ECGt5050/StSt/NUM+/HV	ゴニオ	θ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 µ°	GO
ECGt5050/StSt/UHV	ゴニオ	θ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	×	GO
ECGt5050/StSt/NUM/UHV	ゴニオ	θ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 µ°	GO
ECGt5050/StSt/NUM+/UHV	ゴニオ	θ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 µ°	GO
ECGp5050/Al/RT	ゴニオ	φ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECGp5050/Al/HL/RT	ゴニオ	φ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECGp5050/Al/NUM/RT	ゴニオ	φ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 µ°	GO
ECGp5050/Al/HL/NUM/RT	ゴニオ	φ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	1 µ°	GO
ECGp5050/StSt/HV	ゴニオ	φ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	×	GO
ECGp5050/StSt/NUM/HV	ゴニオ	φ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 µ°	GO
ECGp5050/StSt/NUM+/HV	ゴニオ	φ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	1 µ°	GO
ECGp5050/StSt/UHV	ゴニオ	φ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	×	GO
ECGp5050/StSt/NUM/UHV	ゴニオ	φ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 µ°	GO
ECGp5050/StSt/NUM+/UHV	ゴニオ	φ	1000 g	10 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	1 µ°	GO
ANGt50/RT	ゴニオ	θ	25 g	7.2 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGt50/HV	ゴニオ	θ	25 g	7.2 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGt50/UHV	ゴニオ	θ	25 g	7.2 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGp50/RTg	ゴニオ	φ	25 g	5.8 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGp50/HVg	ゴニオ	φ	25 g	5.8 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGp50/UHVg	ゴニオ	φ	25 g	5.8 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGt101/RT	ゴニオ	θ	100 g	6.6 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGt101/RES/RT	ゴニオ	θ	100 g	6.6 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	0.1 m°	GO
ANGt101/HV	ゴニオ	θ	1 m°	6.6 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGt101/RES/HV	ゴニオ	θ	1 m°	6.6 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	0.1 m°	GO
ANGt101/UHV	ゴニオ	θ	1 m°	6.6 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGt101/RES/UHV	ゴニオ	θ	1 m°	6.6 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	0.1 m°	GO
ANGp101/RTg	ゴニオ	φ	100 g	5.4 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGp101/RES/RTg	ゴニオ	φ	100 g	5.4 °	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	0.1 m°	GO
ANGp101/HVg	ゴニオ	φ	1 m°	5.4 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGp101/RES/HVg	ゴニオ	φ	1 m°	5.4 °	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	0.1 m°	GO
ANGp101/UHVg	ゴニオ	φ	1 m°	5.4 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANGp101/RES/UHVg	ゴニオ	φ	1 m°	5.4 °	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	0.1 m°	GO
ECR3030/Al/RT	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECR3030/Al/NUM/RT	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	0.01 m°	GO
ECR3030/StSt/HV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	×	GO
ECR3030/StSt/NUM/HV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	0.01 m°	GO
ECR3030/StSt/NUM+/HV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	0.01 m°	GO
ECR3030/StSt/UHV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	×	GO
ECR3030/StSt/NUM/UHV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	0.01 m°	GO
ECR3030/StSt/NUM+/UHV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	–	0.01 m°	GO
ECR4040/Al/RT	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECR4040/Al/NUM/RT	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	0.04 m°	GO
ECR5050hs/Al/RT	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	×	GO
ECR5050/AL/NUM/RT	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	0.01 m°	GO
ECR5050hs/AL/NUM/RT	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	–	0.01 m°	GO
ECR5050hs/StSt/HV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	×	GO
ECR5050hs/StSt/NUM/HV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	0.01 m°	GO
ECR5050hs/StSt/NUM+/HV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	–	0.01 m°	GO
ECR5050hs/StSt/UHV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-9 mbar	–	×	GO
ECR5050hs/StSt/NUM/UHV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-9 mbar	–	0.01 m°	GO
ECR5050hs/StSt/NUM+/UHV	回転	–	2000 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-9 mbar	–	0.01 m°	GO
ANR31/RT	回転	垂直回転	5 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR31/HV	回転	垂直回転	5 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR31/UHV	回転	垂直回転	5 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR51/RT	回転	垂直回転	30 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR51/RES/RT	回転	垂直回転	30 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANR51/HV	回転	垂直回転	30 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR51/RES/HV	回転	垂直回転	30 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANR51/UHV	回転	垂直回転	30 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR51/RES/UHV	回転	垂直回転	30 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANRv51/RT	回転	水平回転	20 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANRv51/RES/RT	回転	水平回転	20 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANRv51/HV	回転	水平回転	0.2 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANRv51/RES/HV	回転	水平回転	0.2 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANRv51/UHV	回転	水平回転	0.2 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANRv51/RES/UHV	回転	水平回転	0.2 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANR101/RT	回転	垂直回転	100 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR101/RES/RT	回転	垂直回転	100 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANR101/HV	回転	垂直回転	1 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR101/RES/HV	回転	垂直回転	1 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANR101/UHV	回転	垂直回転	1 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR101/RES/UHV	回転	垂直回転	1 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANRv220/RT	回転	水平回転	100 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANRv220/RES/RT	回転	水平回転	100 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANRv220/HV	回転	水平回転	1 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANRv220/RES/HV	回転	水平回転	1 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANRv220/UHV	回転	水平回転	1 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANRv220/RES/UHV	回転	水平回転	1 m°	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANR240/RT	回転	垂直回転	200 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR240/RES/RT	回転	垂直回転	200 g	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-4 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANR240/HV	回転	垂直回転	2 mm/s	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR240/RES/HV	回転	垂直回転	2 mm/s	360 ° ∞	0 .. 100°C	1E-8 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO
ANR240/UHV	回転	垂直回転	2 mm/s	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	×	GO
ANR240/RES/UHV	回転	垂直回転	2 mm/s	360 ° ∞	0 .. 100°C	5E-11 mbar	0 – 31 T	~ 6 m°	GO