超高安定性&狭線幅 780nm / 785nm 単一周波数 CWレーザー
Skylark Lasers(スカイラーク・レーザー)社のNXシリーズは、独自の光学アーキテクチャによる、コンパクトで安定性に優れた、単一周波数 ダイオード励起固体(DPSS)レーザーです。システム統合を想定して設計された汎用性の高いソフトウェア制御機能が搭載されており、最先端の量子センシングや高度なラマン分光などの研究用途に最適です。
波長 780nm のモデル 780 NX は、非常に安定性に優れた最大 400 mW の単一周波数を出力し、ルビジウム遷移の精密な測定と制御を必要とするシステムに最適です。中央波長 780.24nm は、Rb 85 と Rb 87 に適合します。
波長 785nm のモデル 785 NX は、低ノイズ、TEM00ビーム、高い安定性、狭線幅の出力により、高解像度・高コントラストのラマン分光に貢献します。さらに長期にわたる高い信頼性により、高度なラマン技術において、一貫性と再現性の高い成果を実現します。
高出力
エネルギー効率に優れたシステムで、最大 400 mW もの光パワーを出力します。
低ノイズ
非常に低いASEノイズとクリーンなスペクトルプロファイルにより、シャープで安定した共鳴遷移を実現できます。
狭線幅
高いスペクトル純度により、高解像度かつ高コントラストなラマン測定や微細相互作用の高分解能測定が可能です。
高い強度安定性
長寿命で、また長期間のレーザー稼働でも一貫して、出力パワーと波長の両方においてドリフトの少ない安定した出力が得られます。
ルビジウム遷移のための 780nm 単一周波数 CWレーザー 780 NX
Skylark 780 NXは、ルビジウム共鳴遷移をはじめとする、以下のようなアプリケーションに好適です。
- 製造:干渉法、マスクレス露光、微細加工、薄膜コーティング
- 検査:半導体検査、フローサイトメトリー、光ルミネセンス(PL)、スぺックル干渉計法
- 分析:ラマン分光法、ブリルアン顕微鏡、ドップラー冷却、光学操作、ルビジウムD2遷移、85Rb、87Rb、冷原子トラッピング、原子分光法、磁気測定、原子干渉計法、ボーズ-アインシュタイン凝縮(BEC形成)、磁気光学トラップ
ラマン分光用 785nm 単一周波数 CWレーザー 785 NX
Skylark 785 NXは、近赤外ラマン分光をはじめとする、以下のようなアプリケーションに好適です。
- 製造:干渉法、マスクレス露光、微細加工、薄膜コーティング
- 検査:半導体検査、フローサイトメトリー、光ルミネセンス(PL)、スぺックル干渉計法
- 分析:ラマン分光法、共鳴ラマン、マイクロラマン、表面増強ラマン(SERS)、ラマンマッピング、クライオラマン(極低温ラマン)、ホットステージラマン、2次元材料分析、半導体材料分析、計測学、自由空間光通信
半導体ウェハの欠陥検出への応用例
モデル | 780 NX | 785 NX |
---|---|---|
波長 | 780 nm | 785 nm |
光出力(固定値) | up to 400 mW | up to 400 mW |
スペクトル幅 | ≤ 300 kHz | ≤ 300 kHz |
横モード | TEM00 | TEM00 |
発振モード | CW, intracavity-locked SLM | CW, intracavity-locked SLM |
スペクトル安定性(8時間超) | ± 0.2 pm | ± 0.2 pm |
出力パワー安定性(8時間超、ピーク間) | ≤ 2.0 % | ≤ 2.0 % |
出力パワーノイズ (10 Hz – 10 MHz) | ≤ 0.3 % RMS | ≤ 0.3 % RMS |
ASEノイズ | < – 80 dB | < – 80 dB |
ウォームアップ時間 | 5~30分 | 5~30分 |
消費電力(典型値) | < 50 W | < 50 W |
ビーム出射口の高さ | 54.2 mm | 54.2 mm |
ビーム径@出力開口 | 0.8 – 1.2 mm | 0.8 – 1.2 mm |
ビーム拡がり角 | ≤ 1.0 mrad, 回折限界 | ≤ 1.0 mrad, 回折限界 |
ビーム位置安定性 | ≤ 5 µrad/°C | ≤ 5 µrad/°C |
コヒーレンス長 | > 100 m | > 100 m |
偏光比 | ≥ 100:1, vertical | ≥ 100:1, vertical |
レーザーヘッド外形, L x W x H | 257 x 150 x 87 mm | 257 x 150 mm x 87 mm |
コントローラ外形, L x W x H | 150 x 176 x 61 mm | 150 x 176 x 61 mm |
使用環境温度 | 18 – 30 ℃ | 18 – 30 ℃ |
レーザーインターフェイス安定性 | ± 1.5 ℃ | ± 1.5 ℃ |
保管環境温度 | 0 – 50 ℃ | 0 – 50 ℃ |
湿度 | 5 – 95 %, 結露なきこと | 5 – 95 %, 結露なきこと |
オプション | クローズドループチラー、ファンアシスト・ヒートシンク、ファイバ出力 |
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