193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー“IXION-193-SLM”
高品質 TEM00 ビーム、スペクトル幅 <120MHz、フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー
IXION-193 は単一周波数全固体レーザーシステムで、光学計測、193 nm ステッパオプティクスの補正、高出力 ArF エキシマレーザーのバンド幅コントロールなどに使用できます。スペクトルバンド幅はフーリエ限界理論値の近似値です。中心波長は 185~194 nm 範囲からご注文時にご指定可能です。オプションとして、絶対波長精度 0.001 nm の高精度スペクトロメータをシステムに搭載可能です。これによりレーザーのスペクトルチューニングを最高精度でコントロールできます。
- 193 nm 計量・計測
- スペクトロメータの補正
- 干渉
- エキシマレーザーの種光源
モデル | IXION-193 SLM |
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波長 | 193.368 nm |
平均出力パワー | > 10 mW |
パルス幅 (typ) | 8 – 12 ns |
パルスエネルギー | 1.6 μJ |
繰返し周波数 | 1 – 15 kHz |
ビーム品質 | M2 < 1.6 |
スペクトル幅 | < 80 MHz |
波長チューナビリティ | > 10 pm |
コヒーレンス長 | > 2 m |
パルス間安定性 | σ < 2.5% |
仕様は予告なく変更になる場合がございます。
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