193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー“IXION-193-SLM”

Xiton Photonics

高品質 TEM00 ビーム, スペクトル幅 <125MHz フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー

高品質 TEM00 ビーム, スペクトル幅 <125MHz
フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー

  • スペクトル幅 <120 MHz
  • シールド・ハウジング
  • スロット式LDモジュール
  • 高品質 TEM00 ビームプロファイル
  • 高パルス間安定性: σ <3%
  • メンテナンスフリーのサーモエレクトリカル・ヒートマネジメント
  • 19インチラック 電源&チラー
  • LabVIEW ドライバ
  • オンラインでの波長制御のためのスペクトロメータ内蔵オプション

 

IXION-193 は単一周波数全固体レーザーシステムで、光学計測、193 nm ステッパオプティクスの補正、高出力 ArF エキシマレーザーのバンド幅コントロールなどに使用できます。スペクトルバンド幅はフーリエ限界理論値の近似値です。中心波長は 190~194 nm 範囲から精度 0.01 nm で、ご注文時にご指定可能です。
オプションとして、絶対波長精度 0.001 nm の高精度スペクトロメータをシステムに搭載できます。レーザーのスペクトルチューニングを最大限コントロールできます。

  • 193 nm 計量・計測
  • スペクトロメータの補正
  • 干渉
  • エキシマレーザーのインジェクションシーディング
モデル IXION-193 SLM
波長 193.368 nm
平均出力パワー > 10 mW
パルス幅 < 10 ns
パルスエネルギー 1.6 μJ
繰返し周波数 6 kHz
M2 < 1.6
スペクトル幅 < 120 MHz / 0.015 pm / 0.004 cm-1
波長チューニング域 > 80 GHz / 10 pm / 2.6 cm-1
コヒーレンス長 > 1 m
TOPに戻る