高品質 TEM₀₀ ビーム、スペクトル幅 <120MHz、フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー

IXION-193 は単一周波数全固体レーザーシステムで、光学計測、193 nm ステッパオプティクスの補正、高出力 ArF エキシマレーザーのバンド幅コントロールなどに使用できます。スペクトルバンド幅はフーリエ限界理論値の近似値です。中心波長は 185～194 nm 範囲からご注文時にご指定可能です。オプションとして、絶対波長精度 0.001 nm の高精度スペクトロメータをシステムに搭載可能です。これによりレーザーのスペクトルチューニングを最高精度でコントロールできます。