193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー“IXION-193-SLM”

Xiton Photonics

高品質 TEM00 ビーム, スペクトル幅 <120MHz フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー

高品質 TEM00 ビーム、スペクトル幅 <120MHz、フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー

IXION-193 は単一周波数全固体レーザーシステムで、光学計測、193 nm ステッパオプティクスの補正、高出力 ArF エキシマレーザーのバンド幅コントロールなどに使用できます。スペクトルバンド幅はフーリエ限界理論値の近似値です。中心波長は 185~194 nm 範囲からご注文時にご指定可能です。オプションとして、絶対波長精度 0.001 nm の高精度スペクトロメータをシステムに搭載可能です。これによりレーザーのスペクトルチューニングを最高精度でコントロールできます。

  • 193 nm 計量・計測
  • スペクトロメータの補正
  • 干渉
  • エキシマレーザーの種光源
モデルIXION-193 SLM
波長193.368 nm
平均出力パワー> 10 mW
パルス幅 (typ) 8 – 12 ns
パルスエネルギー1.6 μJ
繰返し周波数1 – 15 kHz
ビーム品質M2 < 1.6
スペクトル幅 < 80 MHz
波長チューナビリティ> 10 pm
コヒーレンス長> 2 m
パルス間安定性σ < 2.5%

 
仕様は予告なく変更になる場合がございます。

TOPに戻る