DUV Qスイッチ LD励起レーザー“IMPRESS 213 ”

Xiton Photonics

213nm 150mW / 224nm 300mW。最高繰返し周波数 30kHz。最小パルス幅 7ns。最大エネルギー30 μJ@224nm

213nm 150mW 最高繰返し周波数 30kHz

  • 深紫外(DUV):213 nm,
  • スロット式LDモジュール
  • 高品質ビームプロファイル
  • 高パルスエネルギー
  • 低メンテナンス
  • RS-232インタフェース
  • 産業用途に最適な連続運転可能システム

 

IMPRESSシリーズは、高繰返し周波数のLD励起Qスイッチレーザーです。213nm の深紫外波長を出力します。TEM00, M2 < 1.6の高品質なビームプロファイルで、測量用途や半導体やディスプレイ・リペアなどの微細加工に最適です。またパルス幅は 213nm モデルで 7ns未満の非常に短パルス幅を達成しています。

主なアプリケーション

  • FBGの製造
  • ダイヤモンドマーキング
  • レーザー直描

FBG(Fiber Bragg Grating)の製造

FBG(Fiber Bragg Grating)とは、光ファイバのコアに作られた回折格子の役割をする微細構造を指します。FBGは特定波長のみを反射し、他の波長は透過します。FBGはファイバレーザー等に使用され、またFBGを応用することで熱変化・ひずみを検知するファイバセンサを作成することが可能です。
 
FBGの製造には光の干渉を利用します。基本的にはUVレーザー光の干渉縞を光ファイバに転写することでFBGを作ることが可能です。干渉縞を作る方法は主に2種類あり、1つ目は位相マスクを使用する方法、2つ目はビームスプリッタで分岐したあとに光ファイバ上で干渉させる方法があります。
 
光ファイバのコアはGeドープ石英ガラスで構成されており、これに250nm付近の光が照射されることで屈折率が変化します。また干渉縞の間隔∆Lを変えることで反射する波長(ブラッグ波長λ_B)を変えることができます。
 
UVレーザーを照射し媒質の屈折率が変化するのは、フォトリフラクティブ効果によるもので、FBGの形成速度は光強度(パワー)に依存し、また屈折率変化量は光強度ではなく、空間的変調度(干渉縞の明暗コントラスト)に依存します。
 
このようなFBGを作成するにあたり、Xiton社製のIMPRESS213を利用することが可能です。IMPRESS213のスペックは リンク先の仕様表の通りです。
 

その他応用例

  • ファイバ・ブラッグ・グレーティング
  • アルゴンイオンレーザーの置き換え
  • 1μm未満の微細加工
  • ラマン分光
  • 波長センシティブな加工
  • ステレオ・リソグラフィ
  • ディスプレイ・リペア
  • 半導体検査
  • フォトルミネセンス測定

モデルIMPRESS 213
波長213 nm
平均出力150 mW
パルス幅< 7 ns
パルスエネルギー> 15 μJ
繰返し周波数0.1~30 kHz
M2< 1.6
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