DUV Qスイッチ LD励起レーザー“IMPRESS 213 ”

213nm 150mW 最高繰返し周波数 30kHz
- 深紫外(DUV):213 nm,
- スロット式LDモジュール
- 高品質ビームプロファイル
- 高パルスエネルギー
- 低メンテナンス
- RS-232インタフェース
- 産業用途に最適な連続運転可能システム
IMPRESSシリーズは、高繰返し周波数のLD励起Qスイッチレーザーです。213nm の深紫外波長を出力します。TEM00, M2 < 1.6の高品質なビームプロファイルで、測量用途や半導体やディスプレイ・リペアなどの微細加工に最適です。またパルス幅は 213nm モデルで 7ns未満の非常に短パルス幅を達成しています。
- ファイバ・ブラッグ・グレーティング
- アルゴンイオンレーザーの置き換え
- 1μm未満の微細加工
- ラマン分光
- 波長センシティブな加工
- ステレオ・リソグラフィ
- ディスプレイ・リペア
- 半導体検査
- フォトルミネセンス測定
モデル | IMPRESS 213 |
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波長 | 213 nm |
平均出力 | 150 mW |
パルス幅 | < 7 ns |
パルスエネルギー | > 15 μJ |
繰返し周波数 | 0.1~30 kHz |
M2 | < 1.6 |
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