213nm 150mW 最高繰返し周波数 30kHz

• 深紫外（DUV）：213 nm,
• スロット式LDモジュール
• 高品質ビームプロファイル
• 高パルスエネルギー
• 低メンテナンス
• RS-232インタフェース
• 産業用途に最適な連続運転可能システム

IMPRESSシリーズは、高繰返し周波数のLD励起Qスイッチレーザーです。213nm の深紫外波長を出力します。TEM₀₀, M² < 1.6の高品質なビームプロファイルで、測量用途や半導体やディスプレイ・リペアなどの微細加工に最適です。またパルス幅は 213nm モデルで 7ns未満の非常に短パルス幅を達成しています。