DUV Qスイッチ LD励起レーザー“IMPRESS 213 & IMPRESS 224”

Xiton Photonics

213nm 150mW / 224nm 300mW。最高繰返し周波数 30kHz。最小パルス幅 7ns。最大エネルギー30 μJ@224nm

213nm 150mW / 224nm 300mW, 最高繰返し周波数 30kHz

  • 深紫外(DUV):213 nm, 224 nm
  • スロット式LDモジュール
  • 高品質ビームプロファイル
  • 高パルスエネルギー
  • 低メンテナンス
  • RS-232インタフェース
  • 産業用途に最適な連続運転可能システム

 

IMPRESSシリーズは、高繰返し周波数のLD励起Qスイッチレーザーです。213nm または 224nm の深紫外波長を出力します。TEM00, M2 < 1.6の高品質なビームプロファイルで、測量用途や半導体やディスプレイ・リペアなどの微細加工に最適です。またパルス幅は 213nm モデルで 7ns未満、224nmモデルで 9ns未満の、非常に短パルス幅を達成しています。

  • ファイバ・ブラッグ・グレーティング
  • アルゴンイオンレーザーの置き換え
  • 1μm未満の微細加工
  • ラマン分光
  • 波長センシティブな加工
  • ステレオ・リソグラフィ
  • ディスプレイ・リペア
  • 半導体検査
  • フォトルミネセンス測定
モデル IMPRESS 213 IMPRESS 224
波長 213 nm 224 nm
平均出力 150 mW 300 mW
パルス幅 < 7 ns < 9 ns
パルスエネルギー > 15 μJ > 30 μJ
繰返し周波数 0.1~30 kHz 0.1~30 kHz
M2 < 1.6 < 1.6
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