DUV Qスイッチ LD励起レーザー“IMPRESS 213 & IMPRESS 224”

213nm 150mW / 224nm 300mW, 最高繰返し周波数 30kHz
- 深紫外(DUV):213 nm, 224 nm
- スロット式LDモジュール
- 高品質ビームプロファイル
- 高パルスエネルギー
- 低メンテナンス
- RS-232インタフェース
- 産業用途に最適な連続運転可能システム
IMPRESSシリーズは、高繰返し周波数のLD励起Qスイッチレーザーです。213nm または 224nm の深紫外波長を出力します。TEM00, M2 < 1.6の高品質なビームプロファイルで、測量用途や半導体やディスプレイ・リペアなどの微細加工に最適です。またパルス幅は 213nm モデルで 7ns未満、224nmモデルで 9ns未満の、非常に短パルス幅を達成しています。
- ファイバ・ブラッグ・グレーティング
- アルゴンイオンレーザーの置き換え
- 1μm未満の微細加工
- ラマン分光
- 波長センシティブな加工
- ステレオ・リソグラフィ
- ディスプレイ・リペア
- 半導体検査
- フォトルミネセンス測定
モデル | IMPRESS 213 | IMPRESS 224 |
---|---|---|
波長 | 213 nm | 224 nm |
平均出力 | 150 mW | 300 mW |
パルス幅 | < 7 ns | < 9 ns |
パルスエネルギー | > 15 μJ | > 30 μJ |
繰返し周波数 | 0.1~30 kHz | 0.1~30 kHz |
M2 | < 1.6 | < 1.6 |
- レーザー・光源製品Laser & Light source
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