単一周波数固体レーザー EXCITEシリーズの特長
- 1～30kHzの繰り返し周波数で、M2 < 1.6の回折限界ビームに短時間パルスを発振
- 理論的なフーリエ限界に近い値である50MHz以下のスペクトル帯域幅を実現
- 平均出力は266nmで150mW以上、355nmで500mW｡
- 超安定したパルストレースと3m以上の長いコヒーレンス長
- 堅牢な産業用途向けデザイン
- 米国CDRH規制に準拠
※お客様のご要望に合わせてカスタム対応も可能です。お問い合わせください。
- ウエハ検査
- フォトルミネッセンス
- 干渉計
- ラマン分光法
- ホログラフィ
- 分光器の校正
- 計測・測定
- 直接干渉型リソグラフィー
| モデル | EXCITE 266 | EXCITE 355 | EXCITE 532 | EXCITE 1064 |
|---|---|---|---|---|
| 波長 | 266 nm | 355 nm | 532 nm | 1064 nm |
| 平均出力 | 150 mW | 400 mW | 2.5 w | 6 W |
| パルス幅 | 10-15 ns | 14-18 ns | 15-20 ns | 20-30 ns |
| パルスエネルギー | 7.5 μJ | 20 μJ | 125 μJ | 300 μJ |
| 繰り返し周波数 | 1-30 kHz | 1-30 kHz | 1-30 kHz | 1-30 kHz |
| M2 | < 1.7 | < 1.3 | < 1.2 | < 1.2 |
| スペクトル帯域幅 | < 60 MHz | < 50 MHz | 50 MHz | < 30 MHz |
| コヒレント長※ | > 2.5 m | > 3.0 m | > 3.0 m | > 5 m |
| パルス間安定性 | σ < 1.5% | σ < 1.0% | σ < 0.8 % | σ < 0.3 % |
※ 50% コントラスト
データはパルス繰り返し周波数20kHzの時のものです。仕様は製品の改良のため予告なく変更することがあります。
