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320nm & 349nm 単一周波数 CW DPSSレーザー 320 NX / 349 NX

Skylark Lasers

狭線幅(≤ 500 kHz)で非常に低ノイズ(≤ 0.3% RMS)な紫外(320 nm または 349 nm)CW DPSSレーザーです。
独自の光学アーキテクチャとハーメチックシールドパッケージにより、長期間にわたって非常に安定した動作と性能を保持します。高い精度、安定性、スペクトル純度が求められる、ラマン分光、リソグラフィ、半導体検査、フォトルミネセンスなどに最適です。

Skylark Lasers NX 単一周波数 CW C-DPSSレーザー

Skylark Lasers(スカイラーク・レーザー)社のNXシリーズは、独自の光学アーキテクチャによる、コンパクトで安定性に優れた、単一周波数 ダイオード励起固体(DPSS)レーザーです。システム統合や要件の厳しいフィールド用途や、ラマン分光、干渉実験、フローサイトメトリー、リソグラフィ、量子研究など最先端の研究用途にも最適です。
 

信頼性の高いUV出力

320nm で最大 200mW、349nm で最大 400mW の高い光パワーを効率的に出力します。

狭線幅

精密なスペクトル分解能により、材料の微細相互作用と高解像度測定に貢献します。

超低ノイズ

測定における信号の歪みを最小限に抑え、高精度な測定と材料の特性評価を実現します。

高い安定性

長寿命で、また長期間のレーザー稼働でも一貫して、出力パワーと波長の両方においてドリフトの少ない安定した出力が得られます。

高品質な紫外光を形成するSkylark Lasers NXコア技術

Skylark Lasersの単一周波数 CW DPSSレーザー NXシリーズは、非常に低ノイズな次世代モノリシック・オプトメカニカル・プラットフォームを採用した、堅牢で非常に安定性の高いレーザーです。これにより、超小型パッケージでも、非常に波長純度の高い単一波長を出力できます。
 

高い安定性

モノリシック・アーキテクチャにより、光学コンポーネント間の移動がなく、落下や衝撃にも耐える堅牢で耐久性の高い設計を実現しています。要件の厳しいフィールド用途でも信頼性の高いパフォーマンスを維持します。
 

高出力

異なる光学コンポーネントをシームレスに接合することで、互いの面の間での反射損失を低減し、数センチメートルの空間内で、従来の10倍にも及ぶ、数百mWの紫外光を出力できます。
 

長期間安定性

UVレーザー固有の不安定性に対処するため、NXプラットフォームにおける表面相互作用を最小限に抑え、高エネルギーのUV光子の悪影響からコンポーネントを保護して劣化と汚染を軽減しています。その結果、長期にわたる高い信頼性とメンテナンスフリーの長寿命を実現しました。
 

省スペース

NXプラットフォームは、光学レイアウトを最適化するため、分子内力を応用した「かみ合う」ような素材で構成されています。これにより、光学部品の表面間に強力な結合が形成され、省スペースな筐体でも、低ノイズでより純度の高いスペクトル特性を備えた、ハイパワーな光を生成できます。

要件の厳しい製造・検査・分析に対応する 320nm / 349nm 単一周波数 CWレーザー

Skylark 320 NX および 349 NX は、ルビジウム共鳴遷移をはじめとする、以下のようなアプリケーションに好適です。

  • 製造:干渉法、リソグラフィ、ウェハ製造、高精度光学、光学格子マスタリング、回折格子マスタリング
  • 検査:半導体検査、フローサイトメトリー、光ルミネセンス(PL)
  • 分析:ラマン分光法、ブリルアン散乱、共焦点顕微鏡、光学操作、蛍光

半導体ウェハの欠陥検出への応用例

モデル名320 NX349 NX
波長320 nm349 nm
光出力(固定値)up to 200 mWup to 200 mW
スペクトル幅≤ 500 kHz≤ 500 kHz
横モードTEM00TEM00
ビーム品質M2 ≤ 1.2M2 ≤ 1.2
発振モードCW, SLMCW, SLM
スペクトル安定性(8時間超)± 0.2 pm± 0.2 pm
出力パワー安定性(8時間超、ピーク間)≤ 2.0 %≤ 2.0 %
出力パワーノイズ (10 Hz – 10 MHz)≤ 0.3 % RMS≤ 0.3 % RMS
ウォームアップ時間5~30分5~30分
消費電力< 50 W< 50 W
ビーム出射口の高さ59.0 mm59.0 mm
ビーム径@出力開口1.0 – 1.5 mm1.0 – 1.5 mm
ビーム拡がり角1.0 mrad, 回折限界1.0 mrad, 回折限界
ビーム位置安定性≤ 5 µrad/°C≤ 5 µrad/°C
コヒーレンス長> 100 m> 100 m
偏光比≥ 200:1, vertical≥ 200:1, vertical
レーザーヘッド外形, L x W x H325 x 200 x 90 mm325 x 200 x 90 mm
コントローラ外形, L x W x H150 x 176 x 61 mm150 x 176 x 61 mm
使用環境温度18 – 30 ℃18 – 30 ℃
レーザーインターフェイス安定性± 1.5 ℃± 1.5 ℃
保存環境温度0 – 50 ℃0 – 50 ℃
湿度5 – 95 %, 結露なきこと5 – 95 %, 結露なきこと
オプションクローズドループチラー、ファンアシスト・ヒートシンク

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アプリケーションノート

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