ピエゾ駆動光学マウント

種々のコンポーネントやアプリケーションに柔軟に対応できる製品を多数ラインナップ

概要

種々のコンポーネントやアプリケーションに柔軟に対応できる製品を多数ラインナップ

顕微鏡用対物レンズマウント
アプリケーションごとに選べるチップ＆チルト・ミラーマウント
最大開口1500μmの光シャッター／スリット
使い易いファイバポジショニングシステム
マイクロメータスクリュードライブ
グリッパー

piezosystem jena社では、レンズ、ミラー、ファイバなどの光学部品の精密ポジショニング(nanopositioning)に適した、ピエゾ駆動の光学マウント類を製造しています。またマイクロメータスクリュードライブやグリッパーのように種々のコンポーネントに柔軟に対応できる製品も多数ラインナップし、幅広い分野・用途に最適なソリューションを提供します。

フォーカスレンズポジショナ　MIPOSシリーズ

マイクロ及びマクロ対物レンズの精密調整や、顕微鏡のレボルバ全体のピエゾによる調整のためのフォーカスポジショナです。レンズをZ軸方向にサブナノメートルの高い解像度で駆動します。あらゆるメーカーの顕微鏡で使用でき、特に単一光子顕微鏡、レーザー走査顕微鏡、コンフォーカル顕微鏡など高解像度顕微鏡の用途に最適です。

移動量： 16～500μm
最大レンズ径： 40mm
最大レンズ重量： 500g
MIPOS N100 顕微鏡レボルバ用高精度ポジショナ
MIPOS 16-158 干渉計セットアップ用ステージ（最大 3000g, ホール径 104mm）

ミラーマウント　PSHシリーズ

ミラーなどのオプティクスのための高速傾き調整システムで、高速スキャニング、視標追跡、ビームステアリングなど多くのアプリケーションで使用できます。kHzレベルの高い共振周波数と1nm未満の高い分解能を特長としています。フィードバックセンサ付きもございます。

可動軸： (θ, x, y, z) / (θ, x, y) / (θ, x)
最大オプティクス径： 50mm
共振周波数：最高 6.5kHz
フィードバックセンサオプション／真空オプション

シャッター／スリットシステム　PZSシリーズ

2個のスリットエッジを1個のピエゾアクチュエータで駆動します。平行四辺形デザインの硬性湾曲ヒンジにより、スリットエッジの中心線への同期を最適化しています。またひずみゲージ測定システムで、ヒステリシス、クリープ、温度の影響を防ぎます。精度は測定システム内蔵で約 0.1% です。UHV対応モデルも可能です。