最大スループット、妥協なきプロセス制御
AXISは、一貫性、再現性、高稼働率が求められるマイクロマシニングおよび先端プロセス研究のために設計された高出力フェムト秒レーザーアンプ(増幅器)です。ビーム安定性と精密なプロセス制御を核心に据え、平均出力 120W の高いパフォーマンスにより、スキャン速度と繰返し周波数を高めるだけで新次元のスループットを実現します。
独自のアンプ冷却技術と優れた温度安定性により、長時間・高負荷の連続運転に対応。高いEMCイミュニティと放射線耐性を備えており、マルチビーム加工、先進ディスプレイプロセス、X線イメージング、加速器応用など、幅広い用途で安定した動作を発揮します。UV出力は最大 45W、繰返し周波数は最大 1.2MHz、DUV対応構成にも対応します。
Satsuma X 最大500μJ出力 フェムト秒ファイバレーザー をベースにプロセスを構築してきたユーザーにとって、AXISは自然な次のステップです。同じプロセスツールボックスを、より高い平均出力で活用することで、装置・実験系の生産性を大きく引き上げます。
AXIS 高出力・高スループット フェムト秒レーザーアンプのオプション
FemtoTrig:高精度タイミング、エネルギー指定、絶対制御
- 内部パルスピッカー使用による、高精度パルス間隔制御
- 2つのパルス間の周波数を調整可能
- 電子遅延やタイミングジッタを低減
GHz:GHz 繰返し周波数
- マルチステップ相互作用プロセス:熱インキュベーションおよび動的効率
- バースト持続時間を最適化:産業用アプリケーションにおける効率を向上
FemtoBurst:バースト出力の微調整および制御
- 最適なエネルギー配分のための精密パルスシェーピング
- 精密制御可能:アナログ RFドライバおよびファンクションジェネレータ
SHG/THG/FHG:波長変換出力オプション
- SHG:非線形オプティクスにより2倍波のグリーン光を出力します
- THG:3倍波 UV光を出力します
加工・製造プロセス
- セラミックのマイクロドリリング
- OLED切断(UV, DUV)
- 金属の大面積テクスチャリング
- マルチビーム加工
- 先進ディスプレイ製造
科学用途
- X線イメージング
- 加速器
| モデル | AXIS |
|---|---|
| 平均出力パワー | 120 W |
| パルスエネルギー | 500 µJ |
| パルス幅 | < 500 fs |
| 繰返し周波数 | 可変, 最高 40 MHz |
| 楕円率 | < 13% |
| 波長 | 1030 nm +/- 3 nm |
| M2 | < 1.2 |
| ポインティング安定性 | < 20 µrad /°C |
| レーザーヘッド外形寸法 | 680 x 555 x 182 mm |
