ZnSe fθレンズ（マルチエレメント／シングレット／テレセントリック）・スキャナーミラー

ULO Optics スキャナー光学部品 ― マルチエレメントfθレンズ／シングレットfθレンズ／スキャナーミラー

ULO Optics社は、約30年にわたりスキャンレンズ技術をリードしてきたメーカーです。シングレット、ダブレット、トリプレットのfθレンズ（F-thetaレンズ）を幅広くラインアップしています。fθレンズを初めて市販化したメーカーで、同社が開発した48TSLシリーズは現在、業界標準とされています。

どのスキャナー光学部品もご指定のコーティングで製作できるほか、高性能のSupermax／UltraLOコーティング品は在庫品としても供給しています。

主な特徴

高出力レーザー向けのZnSe製マルチエレメントfθレンズ（ダブレット・トリプレット）
トリプレットは像面全域で回折限界性能
業界標準とされるシングレットfθレンズ48TSLシリーズ（焦点距離75 mm～2122 mm）
穴あけ加工に適したテレセントリックfθレンズ（カスタム設計）
ガルバノスキャンヘッド用の単結晶シリコン製スキャナーミラー
各種コーティングに対応、Supermax／UltraLOコーティング品は在庫あり

マルチエレメントfθレンズ　ZSD-15シリーズ／ZST-15シリーズ

ULO Optics マルチエレメントfθスキャンレンズ ZSD-15／ZST-15シリーズ

ULO Opticsのマルチエレメントfθレンズは、作動距離75～300 mm、フィールドサイズ最大210 × 210 mmで高い性能を出せるよう設計されています。マーキング、溶接、ストラクチャリングなど高出力レーザーの用途に向いています。透過率の高いZnSeレンズをアルミニウム製ハウジングに収めているため、取り扱いも簡単です。保護ウィンドウを追加でき、作動距離が短い場合は装着をおすすめします。コーティングは用途に合わせて選べます。

ダブレット　ZSD-15シリーズ

同じレーザーグレードのZnSeでできたエレメントで構成され、全面に低吸収の反射防止コーティングを施しています。高出力に耐えながら、より小さなスポットまで集光できます。

トリプレット　ZST-15-75／ZST-15-100

焦点距離はそれぞれ75 mmと100 mm。ダブレットより高い性能が必要な用途向け
焦点距離75 mmのモデルはほぼテレセントリックで、集光ビームと法線の角度は5°未満
像面全域で回折限界性能
保護ウィンドウを装着可能

シングレットfθレンズ　48TSLシリーズ

ULO OpticsのZnSe製シングレットスキャンレンズ（TSLシリーズ）は、軸外収差を最小限に抑えるよう最適化されています。

球面の単レンズで、各収差・像面平坦性・fθ誤差のバランスをとった設計
ビーム径15 mm（フル径）まで対応
焦点距離75 mm～2122 mm以上
フィールドサイズ50 mm角～1500 mm角
彫刻（エングレービング）、マーキング、切断などに幅広く使用可能
スキャンミラーとの位置関係が同じになるよう設計されており、別の焦点距離のレンズとそのまま交換可能
マウント付きも用意
波長に合わせて各種コーティングを選択可能

テレセントリックfθレンズ

テレセントリックスキャンレンズは、ビームが常にフラットフィールドに対して垂直に入射するよう光学系を配置した特殊な構成のレンズです。プリント基板のビアホール加工など穴あけ用途では特に重要で、スキャンフィールドの中心から外れた位置でも、表面に対して垂直な穴を開けられます。フィールドの端でもスポットが丸いままなので、溶接やストラクチャリングにも効果があります。

テレセントリックスキャンレンズはすべてマルチエレメント設計で、ハウジングに収めた状態で供給します。少なくとも1枚のレンズエレメントがスキャンするフィールドより大きくなるため、製造とコストの面から対応できるのは小さいフィールドサイズ、つまり短い焦点距離に限られます。用途ごとにカスタム設計で対応しますので、仕様をお知らせいただければ概略設計とお見積りをご提示します。

ご要求仕様に合わせて製作
長年の開発実績に基づく自社設計
精度が求められる用途向けの垂直入射ビーム

スキャナーミラー　LSMシリーズ

LSMシリーズは、ガルバノスキャンヘッド用の単結晶シリコンミラーです。高出力レーザーでの使用を前提に設計され、最大30°の偏向に対応するサイズです。厚さは、軽量化と高速スキャン時の歪み抑制を両立するよう最適化されています。仕様をお知らせいただければお見積りします。

軽量で高速スキャンが可能
高い耐久性（MIL-C-48497Aの過酷摩耗試験に合格）
位相遅延（リターデーション）を最小化
ご指定仕様のカスタムミラーにも対応

応用例

マーキング（Marking）
彫刻（Engraving）
切断（Cutting）
溶接（Welding）
ストラクチャリング（Structuring）
プリント基板のビアホール穴あけ加工（Via hole drilling）

マルチエレメントfθレンズ（ZSD-15：ダブレット／ZST-15：トリプレット）

モデル	フィールドサイズ	焦点距離	スポット径（標準偏差）※1
ZSD-15-75	50 mm	75 mm	118（25）µm
ZSD-15-100	70 mm	100 mm	139（22）µm
ZSD-15-150	105 mm	150 mm	171（0）µm
ZSD-15-200	140 mm	200 mm	225（0）µm
ZSD-15-250	175 mm	250 mm	282（0）µm
ZSD-15-300	210 mm	300 mm	338（0）µm
ZST-15-75	50 mm	75 mm	89（4）µm
ZST-15-100	70 mm	100 mm	113（1）µm

シングレットfθレンズ 48TSLシリーズ（ビーム径15 mm用）

モデル	フィールドサイズ	焦点距離	スポット径（標準偏差）※1
48TSL75	50 mm	75 mm	171（49）µm
48TSL100	70 mm	100 mm	181（41）µm
48TSL150	105 mm	150 mm	219（32）µm
48TSL200	140 mm	200 mm	269（28）µm
48TSL250	175 mm	250 mm	320（23）µm
48TSL300	210 mm	300 mm	373（20）µm
48TSL360	250 mm	360 mm	445（16）µm
48TSL400	280 mm	400 mm	481（15）µm
48TSL435	300 mm	435 mm	525（15）µm
48TSL720	500 mm	720 mm	850（9）µm
48TSL1150	840 mm	1150 mm	1390（6）µm
48TSL1285	900 mm	1285 mm	1520（7）µm
48TSL2122	1500 mm	2122 mm	2480（3）µm

※1 スポット径は光学計算による値で、マーキングや彫刻で測った値ではありません。彫刻線の幅はレーザー出力・材料・スキャン速度などで変わり、通常は表の値より小さくなります。

※同じ焦点距離でより小さなスポット径が必要な場合は、マルチエレメントレンズ、または大口径のシングレットレンズをおすすめします（大口径シングレットについてはお問い合わせください）。

※掲載品は交換用として最もよく使われるfθレンズで、製品ラインアップの一部です。掲載のない製品についてもお気軽にお問い合わせください。

寸法公差（標準品のレンズ・ウィンドウ・ミラー）

項目	公差
直径	+0／-0.1 mm（ほとんどの直径）、+0／-0.05 mm（1.5インチレンズ）
中心厚	±0.1 mm
コバ厚ばらつき	大半のレンズで0.03 mm以内、一部は0.05 mm以内
焦点距離	±0.5%（メニスカス形状が強い長焦点シングレットスキャンレンズでは1～2%の場合あり）
面形状	38 mm径の測定領域で通常1本未満の可視干渉縞
表面粗さ	20 Å rms以内