100nm以下分解能超解像マイクロスフィア増幅対物レンズ SMAL

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超解像マイクロスフィア増幅レンズ SMAL（Super-resolution Microsphere Amplifying Lens ) 。≦100nm分解能を実現。世界トップレベルの光学分解能を持つ最先端の材料検査用の対物レンズです。非接触・非破壊で半導体製造工程でのシリコンウエハの検査等にご使用いただけます。

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超解像マイクロスフィア増幅対物レンズ SMAL

SMAL（Super-resolution Microsphere Amplifying Lens ：超解像マイクロスフィア増幅レンズ）は非接触・非破壊で半導体チップやシリコンウエハを検査ができ、白色光を用いてナノスケールの微細構造をフルカラーでの観察を可能にします。従来のSEMやAFMでは困難だった検査を可能にし、製品の高品質化と製造コスト削減、生産性向上を実現を実現させます。