ウェハ&マスク検査アプリケーション

attocube systems

attocube社製ナノ位置決めステージおよびレーザー干渉式センサを用いた、ウェハやマスク処理における品質保証

プリント回路基板(PCB)やマイクロチップの小型化により、半導体製造および品質管理プロセスで使用されるセンサやアクチュエータには、より高い精度が求められています。

ビームシェーピング用のアパーチャやミラーの移動には、ピエゾ駆動ナノポジショナーが使用されます。ウェハ、ウェハマスク、ウェハチャックに必要な最高のモーション精度は、それらを個別に稼動する場合でも、attocube(アトキューブ)社の ナノポジショナー で容易に達成できます。

またフォトリソグラフィーにおいて、attocube社の 干渉式変位センサ は、光学材料を非接触で直接測定する品質管理計測系における中心的要素として使用されています。ガラスなどの光学材料上を非接触測定できるため、ウェハだけでなくマスク品質も検査できます。

ナノポジショナーと干渉式変位センサは、いずれもクリーンルーム環境で使用でき、高真空や高温などの極限環境にも対応しています。

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