ナノオーダー精度 位置決めアプリケーション

attocube systems

attocube社製ナノ位置決めステージを用いた、顕微鏡やフォトニクス製造における、ナノオーダー精度、超高真空対応の多軸ポジショニング

顕微鏡やフォトニクス産業において、直線、回転、チップ/チルトモーションを実行する高精度な多軸位置決め装置は、日に日に一般的になっています。これらは最先端の光学顕微鏡や電子顕微鏡における重要な構成要素の位置決めに利用され、高い空間分解能に寄与します。またフォトニック集積回路製造では、組立工程を自動化に利用することで歩留まりを向上できます。

attocube(アトキューブ)社の ナノポジショナー は、ナノメートルまでの高精度と超高真空対応を特長とし、前述のような分野でのナノ精度ポジショニングに非常に有用です。さらにコンパクトで堅牢で、複雑なセットアップにも簡単に統合できます。

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