高精度エンジニアリング・アプリケーション

attocube systems

attocube社製レーザー干渉式センサを用いた、クローズドループ・モーションコントロールによる変位の自動補正

クローズドループ位置決めシステムは、可動部品の位置を自動的に測定・調整して、熱ドリフトや他の外的要因による偏差を補正します。クローズドループシステムには、モーションを実行するポジショナの他、変位を追跡するためのセンサが必要です。この用途において、レーザー干渉式変位センサは、非接触かつ高精度に測定でき、統合が容易であるという利点を有します。製造工程や測定タスクでは、ツールとワークピース間の相対位置の調整が必要です。

attocube(アトキューブ)社の 干渉式変位センサ は、単軸、X-Yテーブル、マシンブリッジ、マシンテーブル、位置決めテーブル、ピエゾポジショナなど、さまざまな機械に含まれる可動部品の位置追跡に使用できます。既存の工作機械の多くは、長さ測定装置としてガラススケールを使用しています。しかし、3Dプリンティング、コンピュータトモグラフィ、顕微鏡検査、微細加工、半導体製造などのより高い精度が求められる分野では、ガラススケールはの正確さと柔軟性は不十分です。さらに光を含む実験装置では、ミラー、レンズ、ビームスプリッタといった光学部品を、熱ドリフトに対して堅牢になるよう配置しなければなりません。attocubeのレーザー干渉式変位センサは、材質に関係なくターゲット上を直接測定できますので、さまざまなコンポーネントのクローズドループ位置決めに最適です。

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