材料変形検出アプリケーション

attocube systems

attocube レーザー干渉式変位センサによる材料表面の変形検出

高精度が求められる精密工学・品質工学において、機械や工具の精度はコンポーネンツと材料の形状に左右されます。機器室の温度変化、工作機械の可動部の発する熱は、例えば軸の材料変形につながります。attocubeのレーザー干渉変位センサは熱による誤差の補正に必要な機械の変形の実際のデータを取ることが可能です。また熱による影響に加えて、多軸方向からの力により、加工品自体でで材料変形が発生することがあります。この際は製造ステップの分析、製造品質の最適化が必要とされます。特に半導体産業の露光工程においは、このような材料変形の監視が重要です。半導体製造工程において、ウエハチャックでは高真空、超高真空下でウェハーの位置決め・形状の保持を行います。attocubeのレーザー干渉式変位センサはこのウェハチャックの材料変形をナノメーターレベルまで測定が可能なだけでなく、工程後のウェハー自体の測定も可能です。

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