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メーカー Lumina Instruments

AT1 大型基板欠陥検査装置

Lumina Instruments社のAT1は、以下に挙げる特徴を有する、高速測定レーザスキャニング欠陥検査装置です。

  • 基板全面のエリアを対象として、膜厚サブナノメートルオーダーのフィルム欠陥をイメージングできます。
  • わずか30秒で50mm x 50mmの基板の測定およびデータ表示まで行う高速測定。
  • 透明膜、シリコン、化合物、金属基板を検査可能です。
  • 非円形や壊れやすいサンプルに対応します。
  • 透明な基板については表面・裏面の同時観察、かつ表裏の分離が可能です。
  • 耐振動性です。
  • 最大走査範囲:300 x 300mm
  • 最大サンプル厚さ:10mm

概要

サンプル測定結果

25 x 25mmガラス上、右半分に厚さ1nmのAl2O3フイルムコーティングを施したサンプルの測定結果。データの取得時間20秒。ガラス(透明基板)上のAl2O3(透明膜)であっても問題なく検出可能。

AT1の偏光チャンネルにおいてのみ可能!




以下はAT1による偏光チャンネルイメージです。局所的な膜厚のばらつき(およそ数Åオーダー)が簡単に検出されます。膜厚のばらつきは基板の欠陥やフィルム残渣等によって起こり得ます。

AT1による偏光チャンネルイメージ

応用例

(左)BK7ガラス上の、5nm Al2O3膜ステップ (右)ガラスインターポーザ上の汚損



ハイエンドガラス表面の洗浄痕跡
暗いエリアはコンタミのモノレイヤーを示しています。AT1でのみ検出可能!!
ガラス基板上の膜欠陥ズームインイメージ

主な仕様

モデル AT1 大型基板欠陥検査装置
走査時間 50mm x 50mm @ 30秒
感度 膜欠陥 <50 Å
動作温度 18 - 30°C
用力(電圧) 120 / 230 VAC
用力(電流) 6 A / 4 A
重量 205 kg
装置寸法

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