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メーカー SENSOFAR Metrology

3D測定顕微鏡 高機能モデル “S neox”

新しい S neox は、性能、機能、効率、デザインの全ての面で既存の光学3Dプロファイリング顕微鏡を凌駕する、クラス最高の面形状計測システムです。
  • 3 in 1テクノロジー:共焦点・光干渉(CSI/PSI)・焦点移動方式
  • 高速測定:従来比5倍
  • 光学部品のような滑らかな面から凹凸のある粗い面まで幅広いアプリケーションに1台で対応
  • 優れた分解能:水平方向0.14µm, 垂直方向0.01nm
  • 急傾斜:最大86°


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概要

さらに速く

スマートでユニークな新しいアルゴリズムとカメラにより、全てをさらに速く実行できます。データ取得速度は 180fps で、標準測定時間は5倍も短縮されました。新しいS neoxは市場で最速の面形状測定システムです。


使い易く

Sensofarでは最高の性能・品質を提供するため、継続的に製品改良を行っています。第5世代である新しいS neoxは、直感的でより素早く、より簡単に使用できるようになっています。初めてお使いになる方も、ワンクリックでシステムを操作できます。ユーザーの要求に合わせるためのソフトウェアモジュールもございます


多機能 システム

品質管理

自動化モジュールであらゆるQC手順を容易にできます。例えばオペレータのアクセス権管理、レシピ、バーコード/QRリーダーとの互換性のほか、Sensofar社独自の SensoPRO ソフトウェアからプラグインをカスタマイズして合否レポートを作成できます。優れた柔軟性と使い易いインターフェースにより、24時間365日動作するようなプログラムで、QC用途下での使用に最適化できます。

研究開発

Sensofar社の「3–in–1」技術は、SensoSCANをシングルクリックするだけで、システムをタスクに最適な手法に切り替えられます。S neox センサヘッドに採用している3つの測定技術(共焦点法、光干渉法、Ai焦点移動法)はそれぞれ、システムの多様性に大きく貢献し、妥協のないデータ収集に役立ちます。S neox はあらゆる研究環境に理想的な製品です。

3-in-1 技術の特長

Ai 焦点移動法 NEW! 共焦点法 光干渉法
アクティブ照明焦点移動法は,広範囲の粗い面の形状を測定するために開発された光技術です。この技術は共焦点法と光干渉法を融合させた3D測定において蓄積されたSensofarの高い専門知識に基づいたもので、特に低倍率での共焦点測定を補完するように設計されています。アクティブ照明の採用により、光学的に滑らかな面上でもより信頼性の高い焦点位置が検出できるようになっています。 光学系に開口を利用した顕微鏡撮像方式です。開口を使うことにより、焦点の合っていない焦点外れの光を検出しないように設計されており、試料表面の焦点の合っている点のみが測定されます。ビームまたは開口を、機械的またはデジタル的に走査して得られた2D像を、高さ方向に積層することにより、3Dプロファイルを計測しています。 光干渉法は、光源から出た光はビームスプリッタにより2つの光路に分けられ、一方はリファレンスミラーで反射され、他方は、試料表面で反射される。これら2つのビームは再び同一光路に戻り、重なり合うことで、空間干渉パターン(干渉縞)を得られます。干渉縞は2つのビームの光路差の情報を含んでおり、干渉縞を解析することにより、3次元的な表面形状を高分解能に計測することができます。

高解像度

垂直方向の分解能は、装置ノイズによって制限されます。なお装置ノイズは干渉法では固定ですが、共焦点では開口数に依存します。Sensofar独自のアルゴリズムは、光学機器で可能な最高の横方向分解能で、どの測定方法でもシステムノイズはナノメートルレベルのシステムノイズを提供します。図のトポグラフィは、サブナノメートル(0.3nm)の原子層です(PTB提供)。

主な仕様

ハードウエア

モデル S neox
測定モード 共焦点, PSI, ePSI, CSI, Ai 焦点移動, 薄膜(ピエゾオプション)
観察モード 明視野, カラー, 共焦点, 干渉位相コントラスト, 微分干渉(オプション)
光源 青・緑・赤・白色LED(切り替え可能)
対物レンズ 明視野 x1, x2.5, x5, x10, x20, x50, x100, x150
(長作動距離, 超長作動距離, 液浸, ガラス厚補正機構 選択可)
干渉 x2.5, x5, x10, x20, x50, x100
(Linnik型特注対物レンズ対応可能)
ノーズピース 電動6連
XYステージ 駆動方式 手動 電動
移動量 40x40mm 114x75, 154x154, 255x215, 302x302mm
Z軸 標準搭載 モータ駆動 レンジ:40 mm
オプション ピエゾ駆動 レンジ:200 µm
サンプル高さ 固定スタンド 0-40mm または 170-240mm
可変スタンド 0-150mm または 170-350mm
アクセサリ 5軸モジュール
リング照明
除振台(パッシブ型、または、アクティブ型)
システム構成

ソフトウエア

標準 オプション
計測ソフトウェア SensoSCAN (v.7) エリア拡張モジュール
自動実行モジュール
解析ソフトウェア SensoVIEW SensoPRO
SensoMAP

精度&再現性1

標準 U,σ 測定法
ステップ高さ 48600nm U=300nm
σ=10nm
共焦点&CSI
7616nm U=79nm
σ=5nm
共焦点&CSI
941.6nm U=7nm
σ=1nm
共焦点&CSI
186nm U=4nm
σ=0.4nm
共焦点&CSI
44.3nm U=0.5nm
σ=0.1nm
PSI
10.8nm U=0.5nm
σ=0.05nm
PSI
面粗さ(Sa)2 0.79µm U=0.04µm
σ=0.0005µm
共焦点, AiFV&CSI
線粗さ(Ra)3 2.40µm U=0.03µm
σ=0.002µm
共焦点, AiFV&CSI
0.88µm U=0.015µm
σ=0.0005µm
共焦点, AiFV&CSI
0.23µm U=0.005µm
σ=0.0002µm
共焦点, AiFV&CSI

1 共焦点とAi焦点移動で使用する対物レンズは 50X 0.80 NA、CSIおよびPSIでは 50X 0.55NA。解像度 1220x1024ピクセル。全測定で PZT使用。不確定度(U)は以下に拠る:ISO/IECガイド 98-3:2008€ GUM:1995, K=1,96 (level of confidence 95%)。σは25回測定による。

2 面積 1x1 mm。

3 プロファイル 4 mm長。


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