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レーザ専門商社の草分けとして1968年から 研究・開発者のニーズにお応えしてきた日本レーザー

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メーカー SENSOFAR Metrology

S lynxはコンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置です。
  • 3 in 1テクノロジー:共焦点・白色干渉計(CSI)・焦点移動方式
  • 光学部品のような滑らかな面から凹凸のある粗い面まで幅広いアプリケーションに1台で対応
  • R&Dの用途に最適
  • コンパクトでシンプルな構成
  • 手動ステージ(スティッチング機能有)


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概要

3-in-1 テクノロジー

共焦点 光干渉 焦点移動
共焦点顕微鏡は、粗い表面から滑らかな表面の形状までを幅広いスケールの測定が可能な技術で、光学形状測定としては最高の水平分解能を誇ります。空間分解能を0.10µm程度にすることが可能で、クリティカルな寸法測定に最適です。高NA(0.95)、150倍対物レンズを使用することで、傾斜面70°以上(滑らかな表面)、最大86°(粗い表面)まで測定することが可能です。独自アルゴリズムによりナノレベルの垂直再現性を提供します。 垂直走査型低コヒーレンス干渉法(CSI, 白色干渉計)モード:低コヒーレンスな白色光を用いた表面形状測定モードです。滑らかな表面から適度に粗い表面まで測定可能な技術です。CSIは全ての倍率で同じナノレベルの垂直分解能(1nm)の測定が可能です。低倍率(2.5倍)を使えば、大面積を高分解能で一括測定することができます。 焦点移動顕微鏡は、粗い表面の測定に適した技術で、広いZ方向レンジを測定することができます。他の手法に比べ、分解能は劣りますが、測定スピードが非常に高速で、低倍率での共焦点測定を補完し、急傾斜(最大86°)面の測定が可能です。主に切削工具の刃先計測など急峻な角度をもった形状に使用されます。

3 in 1テクノロジーについて詳しく

高性能をコンパクトに

S lynxは、コンパクトで汎用性の高いシステムとして設計された非接触3D形状測定装置です。Sensofar独自の3-in-1テクノロジーを搭載しており、さまざまな表面パターン、段差、構造、粗さ、うねりなど、幅広い表面形状測定アプリケーションに適用することができます。研究開発現場での使用に最適で、かつ、シンプルなその構成はエントリーモデルとしても導入しやすい製品です。付属のSensoSCANソフトウェアにより非常に直感的にシステムを操作することができます。センサヘッドとコントローラが一体化されているため、設置面積が小さくすみ、インストールも非常に簡単です。

幅広い用途に対応する柔軟性

最大150mmまでの高さ調整(4ポジション)が可能なカラムを搭載しており、薄いサンプルから高さのあるサンプルまで1台で柔軟に対応することができます。40mmの移動範囲と高い位置精度を備えた電動Zステージと、移動範囲150mm x 100mmの手動XYステージで構成されています。広い面積の測定がアプリケーション向けに、手動ステージを使用したスティッチング機能も搭載しています。

測定事例

ナノワイヤー(共焦点方式) デンタルインプラント(焦点移動方式) 膜厚測定(白色干渉計方式)

主な仕様

システム

モデル S lynx
測定モード 共焦点, ePSI, CSI, 焦点移動
観察モード 明視野, モノクロ, 共焦点, 干渉位相コントラスト
光源 白色LED(寿命4万時間)
対物レンズ 明視野 x1, x2.5, x5, x10, x20, x50, 100x, 150x
(長作動距離, 超長作動距離, 液浸, ガラス厚補正機構 選択可)
干渉 x5, x10, x20, 50, x100
ノーズピース 手動6連(切り替え自動認識)
XYステージ 駆動方式 手動
移動量 150x100mm
Z軸 標準搭載 モータ駆動 レンジ40 mm
サンプル高さ 可変スタンド 0-150mm
アクセサリ リング照明
除振台(パッシブ型、または、アクティブ型)

ソフトウエア

標準 オプション
計測ソフトウエア SensoSCAN (v.6) -
解析ソフトウエア SensoSCAN (v.6) SensoMAP

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