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メーカー SENSOFAR Metrology

360°全周測定 5軸ステージ付き3D測定顕微鏡 S neox Five Axis

Sensofarの3D測定顕微鏡に、高精度5軸ステージシステムを組み合わせ、360度全周測定を実現。
機械工具や医療器具など厳しい精度が要求される分野の表面形状解析に最適。
  • 360°全周3D形状測定
  • 機械工具の刃先や表面粗さの解析
  • 表面形状の解析 ISO 25178準拠 (形状・粗さ)
  • Sensofar 3 in1 テクノロジー:
    共焦点・光干渉・焦点移動法を1台で


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概要

Full 3D measurement

Sensofar社3 in 1 technologiesを搭載したS neoxのセンサヘッドに、高精度電動5軸ステージシステム(XYZ、回転、傾き)、高度な3D測定・解析機能を組み合わせた360度全周測定による 3D表面形状測定装置です。

3 in 1テクノロジー

Sensofarの3 in 1 technologiesは 、形状(焦点移動法)から、サブナノメートル粗さ(光干渉法)、高い横方向および垂直方向の解像度を必要とする寸法精度(共焦点法)測定まで広範囲のスケールをカバーします。

高精度電動5軸ステージシステム

センサヘッドに組み込まれたZ軸ステージ、サンプルを移動させるためのXYステージに次の回転・傾きを制御をする電動ステージを搭載しています。

回転ステージモジュール
回転軸 360° 連続、電動
傾き軸 -30° to +100° 電動

高度な3D測定・解析機能

  • フル3D測定(自動または手動の位置決め)
  • 形状データ出力:点群データ、stlファイル出力が可能
  • 3D CADモデルとの形状のずれを解析(幾何学誤差と公差測定)
  • 寿命試験および摩耗解析(試験前後の偏差を測定)
  • 高精度寸法計測(角度、半径、輪郭)
  • 表面形状の解析 ISO 25178(形状および粗さ)

応用例

  • 機械工具の刃先形状・表面粗さ・摩耗検査
  • 精密加工部品 (EDM, フライス, レーザー, 3Dプリンタ)
  • 医療機器 (インプラント等)
  • 科学捜査(ライフルマーク)
ドリル ドリル ギア 工具刃先

主な仕様

※仕様の詳細は㈱日本レーザーまでお問い合わせください。


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