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レーザ専門商社の草分けとして1968年から 研究・開発者のニーズにお応えしてきた日本レーザー

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メーカー SENSOFAR Metrology

インライン用組込型3D測定センサー “S mart & S onix”

インラインの組み込み用に開発された非接触高性能3D測定センサー
  • 組み込みに適したデザイン
  • 堅牢、コンパクト、軽量、フレキシブルな固定用マウント付き
  • 表面性状・粗さ測定
  • S mart:多機能3D測定センサー
    - 1台で共焦点・白色干渉計・焦点移動法
    - モータ駆動6連レボルバー
  • S onix:超高速白色干渉3D測定センサー
    - 7倍高速
    - 他の干渉センサーで困難なナノオーダーの計測が可能(CSIモード)
  • ユーザーによるソフトウェア開発キット(SDK)を提供


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概要

Sensofarのインライン測定ヘッドシステムは14年以上に及ぶ表面形状測定システムの実績を代表する製品です。

これらの製品は、過酷な製造環境に組み込まれることを前提に設計されています。コンパクト、軽量で、フレキシブルな固定マウントオプションがついた "S mart"、"S onix" 測定ヘッドは、高性能な形状測定が必要とされる場所に組み付けることができます。

多機能型と超高速型

測定の自由度が必要とされる用途向けの多機能型 "S mart" と、高速・ハイスループットが必要とされる製造工程向けの超高速型 "S onix" の2種類を提供しています。


3-in-1テクノロジー:

マイクロディスプレイを使った特許光学系により、同一光学系で共焦点顕微鏡・光干渉顕微鏡・焦点移動顕微鏡の3つの測定手法が可能



S mart:多機能3D測定センサー

S mart(多機能型測定ヘッド)

SENSOFAR社の3-in-1テクノロジーを搭載した多機能バージョンです。様々な形状やトポグラフィを測定可能で、アプリケーションの変更などにも柔軟に対応することができます。モータ駆動6連レボルバー付き


S onix:超高速白色干渉3D測定センサー

S onix(超高速型測定ヘッド)

高速・ハイスループットが必要とされる産業用の組み込みセンサーです。ハイスピードカメラと最適化された設計により、測定スピードは従来比7倍高速です。
白色干渉計(光干渉CSIモード)を採用しており、垂直分解能は1nmです。これは他の干渉センサーを大きく上回る分解能で、ナノメートル台の計測を可能にし、インライン粗さ解析に最適です。


インライン、組み込みに適したデザイン

インライン、組み込みに適したデザイン
  • コンパクト
  • 軽量
  • 自由な設置方向
  • ケーブル長 最大14m
  • 密閉されたヘッド
    - デブリやパーティクルの侵入を防止
  • 機械的駆動部品のない光学系
    - 光学系をクリーンに、かつ、アライメントを保持

ソフトウェア開発キット SDK

ソフトウェア開発キット SDK

Sensofarが提供するソフトウェア(基本制御ソフト:SensoSCAN、等)に加えて、ソフトウェア開発キット(SDK)を使うと、ユーザーは他の装置と組み合わせたシステム用のユーザーアプリケーションを独自に開発することができます。

SDKには、作成したアプリケーションがSensoSCANソフトと通信、処理できるために必要なツールやプロトコルが含まれています。開発のためのプラットフォームや言語は自由に選ぶことができる上、一度SDKで開発されたアプリケーションは、同一機種で使い回すことが可能です。

SDKに含まれるコマンドやイベントを用いれば、リモートでのサンプル検査などが可能となり、様々な場面で形状測定が行うことできます。


応用例

  • 微細加工(放電、フライス、レーザー)装置への組み込み
  • 化学機械研磨装置への組み込み
  • 外観検査装置(AOI)
  • 半導体2/3D形状測定
  • ロボットアームに搭載した表面検査装置(自動車、FPD、LED、メディカル向け)

主な仕様

ハードウエア

モデル S mart S onix
測定モード 共焦点, CSI, 焦点移動 CSI
観察モード 明視野, モノクロ, 共焦点, 干渉位相コントラスト 干渉位相コントラスト
光源 白色LED
対物レンズ 明視野 x1, x2.5, x5, x10, x20, x50, 100x, 150x
(長作動距離, 超長作動距離, 液浸, ガラス厚補正機構 選択可)
干渉 X2.5, x5, x10, x20, 50, x100
(x2.5 S onixのみ)
ノーズピース 電動6連 単眼、または、手動6連
Z軸 標準搭載 モータ駆動 レンジ40 mm

ソフトウエア

標準 オプション
計測ソフトウエア SensoSCAN (v.6) -
解析ソフトウエア SensoSCAN (v.6) SensoPRO
SensoMAP
組込ソフトウエア - SDK
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