白色干渉計シリーズ一覧
非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデルまで、用途に応じた幅広いラインナップを提供。
5軸ステージ付き白色干渉計 S neox Five Axis
S neox Five Axis 5軸ステージ付き白色干渉計は、高精度回転ステージモジュールと白色干渉計 高速・多機能モデルS neox の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。
非接触型厚さ測定装置 “VarioMetric”
レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1~500μm)測定用。小型・高速・高精度
3D形状・表面粗測定 ソフトウェアパッケージ
3D形状や表面粗さを測定、解析するための直感的で使いやすいソフトウェアパッケージを装置とセットで提供しています。
AFM-IR装置 Vista One, IR-PiFM / PiF-IR
ナノスケールIR化学分析用のオリジナルPiFM用AFM。 Vista One は、FTIR やナノ FTIR よりも詳細なナノスケールのケミカルマッピングと点スペクトルを取得します。
白色干渉計 高速・多機能モデル ”S neox”
S neox は、性能、機能、効率、デザインの全ての面で既存の光学3Dプロファイリング顕微鏡を凌駕する、クラス最高の面形状計測システムです。
白色干渉計 R&D向けコンパクトモデル ”S lynx”
コンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置
分子間相互作用解析装置 “QCM-D”
リアルタイムで質量変化と粘弾性、膜厚を分析高性能で低価格
金属単結晶・酸化物単結晶・合金単結晶
金属単結晶・酸化物単結晶・合金単結晶試料の高品質品を高精度加工
装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 シリーズ一覧
非接触・非破壊で表面の微細形状、面粗度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる装置組込み用の顕微鏡ユニット 。白色干渉計および3Dレーザー顕微鏡に代表される共焦点顕微鏡技術を搭載。
非接触 200 mm ウエハ対応 AFM-IR装置 Vista 200 PiFM / PiF-IR
非接触大型AFM-IR装置 PiFM 半導体向け200㎜ x 200㎜のウエハをそのまま測定可能です。