位置決め機器 一覧

超小型 高分解能 フォーカスモジュール “M3-FS, M3-F ”

New Scale Technologies

超小型で高分解能(0.5μm)のレンズ位置制御と双方向再現性を実現したフォーカスモジュールです。クローズドループ制御で外部コントローラボードが不要。機器への組込みが容易なモジュールです。

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高精度 電動位置決めステージ(多軸/回転/ジンバル等)

Newport

Newport社は、高精度なモーションコントロール製品の豊富な納入実績をもつ世界的リーディングカンパニーです。ユニークで多彩な標準の位置決めステージに加え、特定のニーズに合わせて、アセンブリから高度なカスタム/OEMにも対応いたします。ここでは、ヘキサポッド、ジンバルステージ、多軸回転ステージ、多軸ゴニオステージ/クレードルゴニオ、多軸傾斜ステージなどの、標準シリーズやカスタム製品例を紹介しています。

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Motion製品

Newport

ニューポート社は、位置決め装置(モーションコントロール)の精密機械設計と製造に50年にわたって携わり、その豊かな経験と専門性を背景に、非常に多彩なラインナップを展開しています。

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スタック・アクチュエータ

piezosystem jena

多層セラミック技術をもとにしたスタック型ピエゾアクチュエータ。数kNもの高い耐負荷重と、1nm未満の高い分解能を同時に実現。

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高精密ヘキサポッド

Newport

独立6軸(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)動作。複雑なモーションコントロールに高い耐荷重と精度を提供。

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ピエゾ駆動ステージ

piezosystem jena

LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ。X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転。可動距離 最高1500μm

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attocube ナノ位置決めステージ概要

高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性対応。ナノオーダーの高精度アライメント用途など産業分野での高精度マシニングから、要件の厳しい最先端の研究アプリケーションにも好適。

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電動回転ステージ(自動回転ステージ)

Newport

直接駆動の直読式高速回転型から、多用途・低価格タイプまで、100モデル以上を展開

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超小型 高分解能 ロータリーステージ “M3-RS”

New Scale Technologies

小型ロータリー位置決めステージ。高分解能 0.022 °を超える精度で位置決めが可能です。クローズドループ制御で帯域幅100Hzまで対応。駆動部や位置センサなど一体型のモジュールで外部コントローラが不要。UART, SPI, I2C ,アナログサーボのインターフェイスで制御が可能です。

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ナノポジショニング・リニアステージ(ピエゾ駆動直進ステージ)

Newport

ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ。単軸/多軸、一体型/モジュール式、オープンループ/クローズドループを用途に応じて選択可能

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電動直進ステージ(自動直進ステージ)

Newport

直接駆動超精密ステージからピエゾモータ直進ステージまで、200モデル以上を展開

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ピエゾコントローラ/アンプ

piezosystem jena

ピエゾ製品の分解能と精度を極限まで高める、高性能コントローラ及びアンプ。用途に応じて最適な製品を選択可能

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特注ナノ位置決めステージ

attocube systems

高いナノポジショニング・エンジニアリング力で、複雑な位置決めタスクを解決する最適なナノ位置決めソリューションを提案。

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超小型 高分解能 リニアアクチュエータ “M3-L”

New Scale Technologies

M3-Lは小型の高分解能位置決めシステムです。アクチュエータにドライバーとクローズドループコントローラを内蔵。3.3V 駆動、I2C、SPIなどシリアル制御可能。コンパクトで組み込み安くOEM機器への使用に最適です。

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ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム

Newport

6軸(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)動作。複雑なモーションコントロールに高い耐荷重と高精度を提供する6軸自由度ステージ。

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NanoX 高速ポジショナ

piezosystem jena

最大10kgもの大荷重でも、高精度な高速ダイナミック・ナノ/マイクロポジショニングを実現。複数のポジショナを組み合わせることも可能。

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電動垂直ステージ(自動垂直ステージ)

Newport

高耐荷重・ロングトラベルタイプから高精度タイプまで幅広い精密垂直ステージをラインナップ

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超小型 高精度 リニアステージ “M3-LSシリーズ”

New Scale Technologies

M3-LSリニアステージは、コントローラを内蔵した超小型高精度リニアステージです。小型のOEM機器にすぐに組込みが可能。外部ボードも不要です。駆動機器もコンパクトな筐体に内蔵され一体化されています。超小型ながら高精度・安定性・使い易さを兼ね備えています。

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