インラインの組み込み用に開発された非接触高性能3D測定センサー

• 組み込みに適したデザイン
• 堅牢、コンパクト、軽量、フレキシブルな固定用マウント付き
• 表面性状・粗さ測定
• S mart：多機能３D測定センサー
  – 1台で共焦点・白色干渉計・焦点移動法
  – モータ駆動6連レボルバー
• S onix：超高速白色干渉3D測定センサー
  – 7倍高速
  – 他の干渉センサーで困難なナノオーダーの計測が可能（CSIモード）
• ユーザーによるソフトウェア開発キット（SDK）を提供

Sensofarのインライン測定ヘッドシステムは14年以上に及ぶ表面形状測定システムの実績を代表する製品です。

これらの製品は、過酷な製造環境に組み込まれることを前提に設計されています。コンパクト、軽量で、フレキシブルな固定マウントオプションがついた “S mart”、”S onix” 測定ヘッドは、高性能な形状測定が必要とされる場所に組み付けることができます。

多機能型と超高速型

測定の自由度が必要とされる用途向けの多機能型 “S mart” と、高速・ハイスループットが必要とされる製造工程向けの超高速型 “S onix” の2種類を提供しています。

3-in-1テクノロジー：

マイクロディスプレイを使った特許光学系により、同一光学系で共焦点顕微鏡・光干渉顕微鏡・焦点移動顕微鏡の３つの測定手法が可能

S mart：多機能３D測定センサー

SENSOFAR社の3-in-1テクノロジーを搭載した多機能バージョンです。様々な形状やトポグラフィを測定可能で、アプリケーションの変更などにも柔軟に対応することができます。モータ駆動6連レボルバー付き

S onix：超高速白色干渉3D測定センサー

高速・ハイスループットが必要とされる産業用の組み込みセンサーです。ハイスピードカメラと最適化された設計により、測定スピードは従来比7倍高速です。
白色干渉計（光干渉CSIモード）を採用しており、垂直分解能は1nmです。これは他の干渉センサーを大きく上回る分解能で、ナノメートル台の計測を可能にし、インライン粗さ解析に最適です。

インライン、組み込みに適したデザイン

• コンパクト
• 軽量
• 自由な設置方向
• ケーブル長　最大14m
• 密閉されたヘッド
  – デブリやパーティクルの侵入を防止
• 機械的駆動部品のない光学系
  – 光学系をクリーンに、かつ、アライメントを保持

ソフトウェア開発キット SDK

Sensofarが提供するソフトウェア（基本制御ソフト：SensoSCAN、等）に加えて、ソフトウェア開発キット（SDK）を使うと、ユーザーは他の装置と組み合わせたシステム用のユーザーアプリケーションを独自に開発することができます。

SDKには、作成したアプリケーションがSensoSCANソフトと通信、処理できるために必要なツールやプロトコルが含まれています。開発のためのプラットフォームや言語は自由に選ぶことができる上、一度SDKで開発されたアプリケーションは、同一機種で使い回すことが可能です。

SDKに含まれるコマンドやイベントを用いれば、リモートでのサンプル検査などが可能となり、様々な場面で形状測定が行うことできます。