装置組込み用非接触面粗さ計 S onix sensor

S onixは高スループットな産業向け装置組込み用白色干渉計顕微鏡です。ハイスピードカメラと最適化された光学的・機械設計により、S onixは白色干渉計として最速のシステムとなっています。

概要
主な仕様
関連情報

S onix sensor ハイスループット

S onixはハイスループットな産業用測定システムです。ハイスピードカメラと最適化された光学的・機械的設計により、最速の光干渉式測定システムとなっています。

S onix sensor 向上した耐振動性

システムノイズはそのままに、耐振動性を向上させました。

S onix sensor 自動3D測定

測定に最適な取得設定を見つける機能を持っており、表面に焦点を合わせるのみで、その後は自動で測定を行います。

寸法

測定技術


白色干渉計 CSI

S onix sensoer 光源

575nm

対物レンズ性能　干渉

倍率	2.5X	5X	10X	20X	50X	100X
開口径 NA	0.075	0.13	0.30	0.40	0.55	0.70
作動距離 WD (mm)	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4	2.0
FOV 視野1 (μm)	5040 x 3780	2520 x 1890	1260 x 945	630 x 472	252 x 189	126 x 94
空間サンプリング2(µm)	7.88	3.94	1.97	0.98	0.39	0.19
光学分解能3(µm)	7.62	3.81	1.91	0.95	0.38	0.23
CSI
システムノイズ4(nm)	1
最大傾斜5(°)	3	8	14	21	25	42

注釈
1 カメラと0.5倍の光学系による最大視野
2 表面上のピクセルサイズ。
3 L&S: ラインとスペース、レイリー基準による回折限界の半分の値。
緑色のLEDの値。空間サンプリングは光干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。
4 システムノイズは、光軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラーの2回の連続測定の差として測定されます。VC-E 振動環境で取得される値。
5 滑らかな面上での値。