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超高速白色干渉 高スループット 組込み 3D測定センサ S onix sensor

S onixは高スループットな産業向け3D測定センサです。ハイスピードカメラと最適化された光学的・機械設計により、S onixは光干渉法として最速のシステムとなっています。
S onix sensor ハイスループット
S onixはハイスループットな産業用測定システムです。ハイスピードカメラと最適化された光学的・機械的設計により、最速の光干渉式測定システムとなっています。
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S onix sensor 向上した耐振動性
システムノイズはそのままに、耐振動性を向上させました。
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S onix sensor 自動3D測定
測定に最適な取得設定を見つける機能を持っており、表面に焦点を合わせるのみで、その後は自動で測定を行います。
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寸法

測定技術
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光干渉法VSI |
S onix sensoer 光源
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575nm |
対物レンズ性能 干渉
倍率 | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
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開口径 NA | 0.075 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
作動距離 WD (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
FOV 視野1 (μm) | 5040 x 3780 | 2520 x 1890 | 1260 x 945 | 630 x 472 | 252 x 189 | 126 x 94 |
空間サンプリング2(µm) | 7.88 | 3.94 | 1.97 | 0.98 | 0.39 | 0.19 |
光学分解能3(µm) | 7.62 | 3.81 | 1.91 | 0.95 | 0.38 | 0.23 |
CSI | ||||||
システムノイズ4(nm) | 1 | |||||
最大傾斜5(°) | 3 | 8 | 14 | 21 | 25 | 42 |
注釈
1 カメラと0.5倍の光学系による最大視野
2 表面上のピクセルサイズ。
3 L&S: ラインとスペース、レイリー基準による回折限界の半分の値。
緑色のLEDの値。空間サンプリングは光干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。
4 システムノイズは、光軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラーの2回の連続測定の差として測定されます。VC-E 振動環境で取得される値。
5 滑らかな面上での値。
S onix sensor Z軸方向性能
Z軸 | リニアステージ |
---|---|
垂直範囲 | 40 mm (1.6″) |
直線性 | < 0.5 µm/mm |
分解能 | 2 nm |
再現性
段差再現性 | <3 nm |
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