半導体製造装置向け FBG センサー

Photon Control

㈱日本レーザーは、Photon Control社の日本総代理店として、半導体業界におけるファイバーブラッググレーティング(FBG)センサソリューションの独占販売を行います。

電磁干渉に対する耐性を維持しながら、ひずみ、温度、圧力を正確に測定します。

ファイバ・ブラッググレーティング(FBG)は、光ファイバのコアに内接する微細構造で、ひずみや温度などの物理的特性の変化を正確に検出するために使用されます。この技術はセンサとして使用することができ、主な利点の1つは、1本の光ファイバに沿って多重化することができることで、分散型のセンシングソリューションを実現しています。FBGセンサソリューションでは、長距離にわたって1本のファイバ上に数百個のセンサを配置することができ、各FBGは独立して特定のパラメータをセンシングします。正確で信頼性の高い測定を提供することで、重要なシステムのよりスマートなモニタリングを可能にします。

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