蛍光式光ファイバ温度計 Photon Control

Photon Control

高い精度と信頼性、素早いカスタム・プロトタイプ対応で半導体/OLED製造装置の温度計測に貢献します。電磁波による影響を受けずに幅広い温度範囲で計測が可能です。

高い精度と信頼性、素早いカスタム・プロトタイプ対応で半導体/OLED製造装置の温度計測に貢献します。電磁波による影響を受けずに幅広い温度範囲で計測が可能です。

光ファイバ温度センシング

厳しい環境において高い性能を要求される

半導体アプリケーションにおいて、

蛍光式ファイバセンサには多くのアドバンテージがあります。

 

  • 優れた精度、分解能、および長期安定性
  • 電磁波による干渉、迷光、および厳しい化学環境に対する不感受性
  • 幅広い温度範囲
  • 固体、液体、気体の温度を測定可能
  • 遠距離における測定にも対応

 

蛍光式ファイバセンサは蛍光の減衰時間の温度依存性を利用して温度を測定します。

プラズマエッチング&成膜装置における温度測定

Photon Controlの高精度蛍光式光ファイバ温度センサは、過酷な環境でも高い精度と再現性、長期にわたる安定性を保つように設計されています。
強力な電磁場からの干渉に耐性があり、プラズマエッチングおよびプラズマCVDにおける高精度温度モニタリング用途に理想的です。
プロセスチャンバ内の静電チャックやエッジリングなど、プロセスの均一性に影響するコンポーネントの温度を測定できます。
エッチングチャンバ内の静電チャックに対して複数の加熱ゾーンを測定するなどの用途に使用され、最先端の半導体製造に必要な温度制御および均一性実現を可能にします。

ウェハポジション

プロセス中のチャンバ内における正確なウェハポジショニングは、多くの場合、特にエッジ近くのチップのプロセス均一性を実現するために重要です。
Photon Control は、ウェハ位置を正確にモニタするカスタム光ファイバセンサを提供し、プロセスチャンバ内におけるウェハの正確で再現性の高いポジショニングを可能にします。Photon Controlのポジションセンサは、お客様の装置にシームレスに統合され、ダウンタイムを最小限に抑え、エッジ歩留まりの損失やウェハの誤処理を防ぎます。

コンタクト & イマージョン温度プローブ

Photon Control の光ファイバ式温度プローブは、最も厳しい環境で極めて正確な温度を測定するために蛍光の原理を用いています。

コンタクトプローブ

仕様 性能
温度測定範囲(標準モデル) -95 °C to 400 °C (より広い温度範囲にも対応可能)
測定精度 ±0.5 °C
サーマルレスポンスレート 最大 100 °C/s
マウント方式 カスタム
イマージョンプローブ

仕様 性能
温度測定範囲(標準モデル) -95 °C to 200 °C (より広い温度範囲にも対応可能)
測定精度 ±0.5 °C
標準長さ 2 m もしくは 5 m (カスタム対応可能)
延長に対応する範囲 カスタム
曲げ半径 最小 5 mm

蛍光材料と温度プローブへの応用に関する深い専門知識によって、実際の半導体製造環境における優れた精度と長期安定性を実現しています。

コンバータ

Photon Control のコンバータは、プローブからの光信号を温度に変換して測定を行います。

シングルチャネルコンバータ

プローブ1個による測定に適切。

コンバータ 延長ケーブル プローブ

 

仕様 性能
温度測定範囲 -95 °C to 450 °C
測定精度 ±0.5 °C
サンプリング周波数 30 Hz
測定分解能 0.01 °C
出力更新インターバル 100 ms
使用温度 -20 °C to +60 °C
コンバータ アナログ出力 4-20 mA
デジタル出力 RS-232 RS-485
電源電圧 12 to 24 VDC
コンプライアンス Electrical safety: CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1-04,
UL Std. No. 61010-1, IEC 61010-1-2001, IEC 62471:2006;
Photobiological safety: IEC 61326:2013, FCC Title 47 CFR Part 15,ICES- 003 Issue 6;
Manufacturing process: ISO 9001:2015
マルチチャネルコンバータ

複数のプローブによる測定に適切。1つのコンバーターに、最大5個のプローブ接続可能。

コンバータ 延長ケーブル プローブ

 

仕様 性能
チャネル数 4
温度測定範囲 -95 °C to 450 °C
測定精度 ±0.5 °C
サンプリング周波数 30 Hz
測定分解能 0.01 °C
出力更新インターバル 50 ms
使用温度 -20 °C to +60 °C
アナログ出力 4-20 mA and 0-10 VDC
アナログ出力分解能 16-bit
デジタル出力 USB, EtherCAT, RS-485
電源電圧 12 to 24 VDC
コンプライアンス Manufacturing process: ISO 9001:2015

Electrical safety: CAN/CSA-C22 No. 61010-1-04*,
UL Std. No. 61010- 1*, IEC 61010-1-2001*,
iec 62471:2006*;
Photobiological safety: IEC 62471:2006*;
Electro-magnetic compliance: IEC 61326: 2013*,
FCC Title 47 CFR Part 15*, ICES-003 Issue 6
PENDING*

Photon Controlのコンバータは幅広い環境温度において、極めて長期安定した性能を示します。

位置と変位センサ

位置と変位の光学センサを独自に設計、開発、製造しています。ウェハ / チャック エッジと中心の位置を 25 μm までの精度で測定可能です。

ウェハポジショニングの再現性、レベリング、及びプロセスチャンバー内でのウェハ配置が、歩留り改善に貢献します。

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