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製品情報
厚膜ポジティブ/ネガティブ・トーン・フォトレジスト
400nm近傍の波長に感度を有する厚膜フォトレジスト。マスクレス・リソグラフィのアプリケーションを拡げます
破片粒子低減 レーザー切断装置 LMTS IR duo
破片粒子の少ないレーザー切断を実現。リチウムイオン電池の電極加工に好適。
PMD/PDL/SOPエミュレーション装置
偏光モード分散（PMD）、偏光依存損失（PDL）、SOP（偏光状態）の計測・評価に
蛍光分光計（コンパクト卓上タイプ・完全自動化計測システム・データ分析ソフトウェア）
日常業務用、教育用のコンパクトな卓上分光計から、数ピコ秒単位で測定可能な高性能の分光計まで多彩な蛍光分光計をラインナップ。サンプルは液体（キュベット）、固体、ウェファーに対応。 ソフトウェアでデータフィッティング、減衰分析に対応。
最大 90J OEM向け ナノ秒/ピコ秒レーザー
OEM向けレーザー。繰り返し周波数 10Hz, パルス幅 ~ 300 ps, 高エネルギー出力：50J @ 755nm、90J @ 1064nm。
動的画像式 粒度・形状分布測定装置 QICPIC
パルスレーザーによる高速撮像によって多数の粒子を測定するため、個々の粒子を測定しながらも、統計的に信頼性の高い解析が可能です。全ての粒子画像が生データとして保存されるため、形状も定量的に解析できます。乾式・湿式を問わず多様な試料に対応します。（測定範囲 0.55～34000µm）
フォーカスチューナブルレンズ（焦点可変レンズ）EL, ELMシリーズ
電動チューナブルレンズ、手動チューナブルレンズ、ELM（電気式レンズモジュール）の3つの製品ランナップ。高速応答、堅牢性、高信頼性を備えレーザー加工から研究分野、3Dプリント等まで幅広いアプリケーションでご使用いただけます。
チューナブル・光音響イメージング光源“PHOCUSシリーズ”
690～950 nm, 1200～2600 nm。繰返し10 or 20Hz (Phocus HR Mini のみ100Hz)。パルス幅5～9 ns。リングキャビティOPOベース 波長可変レーザー
高出力10mJ – 500 mJ デュアルパルスレーザー
Vliteシリーズは、デュアルパルス Qスイッチタイプのナノ秒レーザーです。高出力 10mJ – 500 mJ @ 532 nm, 高い繰り返し周波数 0.2 – 15 kHzで、PIVアプリケーションに最適です。
PIV 非コヒーレント・マルチ・パルス・レーザー“FireFly300W”
境界層や壁面流、噴霧の可視化 / PIVに適した非コヒーレント光特性のレーザーです。鏡面やメタルの反射が低く、金属面などの照明に最適です。最大50 kHzの繰り返しが出来るパルス発振により、ハイスピードカメラの撮影コマ数に関係なく一定の明るさで撮影が可能です。
ファイバカップル・テラヘルツ分光検査装置“T-SPECTRALYZER F”
非破壊・非接触検査ができるプラグ＆プレイのテラヘルツ・スペクトロメータ。周波数範囲 0.1～2.5 THz、最大ダイナミックレンジ 54 dB
AOディフレクタ（音響光学ディフレクタ）
レーザービームスキャン（ランダム位置、ラインスキャン、連続スポットディフレクション）に最適なRF周波数制御ディフレクタ。高効率。スキャンレート 最高 250 kHz
Soft ResiScope（ソフトレジスコープ）
ソフトレジスコープを使用すると、壊れやすい導電性サンプルの抵抗と電流を測定できます。 ソフトレジスコープモードでチップに適用される特定の垂直方向の動きは、接触時の電気的測定を最適化し、チップとサンプルを保持します。 市場で入手可能な他の振動技術とは異なり、ソフト抵抗器はサイクル中一定の力で電流/抵抗を測定します。 電気的測定は、AFM接触モードで行われた測定と同等ですが、より壊れやすいサンプルを測定が可能です。
レーザー加工ヘッド カスタマイズ対応可能 “OPTICEL”
レーザー加工の幅広い要求に柔軟に対応、カスタマイズ性、信頼性、品質に優れたレーザー加工ヘッドです。
1342 nm 671 nm 447 nm LD励起固体 Qスイッチ レーザー“IDOLシリーズ”
1342 nm 671 nm 447 nmでのQスイッチレーザー。平均出力1.5~4W。レーザー微細加工、シリコン加工、ステルスダイシング、ディスプレイ修理などにご利用いただけるレーザーです。
AFMプローブ SiN 窒化シリコンプローブ
シリコンナイトライドカンチレバー・チップのガラスホルダーチップの両側に2つ配置。用途としてソフトコンタクトモードで使われます。
デポラライザ “DEP”
レーザー出力を無偏光化するデポラライザです。外部からの電源供給が不要なパッシブデバイスです。標準仕様ではコヒレンス長10mの光源まで使用可能です。数kmのコヒレンス長を持つレーザーのためにカスタムすることも可能です。
ピエゾ駆動ステージ
LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ。X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転。可動距離 最高1500μm
レーザーダイオードモジュール“LDM-XT laserシリーズ”
375～830nm の多彩な波長ラインナップと高品質ビーム。ファイバ出力または空間ビーム出力。最大出力300mW（空間）。スペクトル幅 <3nm (0.1pmまで可)
レーザーアブレーション装置
高速＆高精度分析。目的に最適なレーザーアブレーションを最高の性能で提供。
ピエゾ駆動光学マウント
種々のコンポーネントやアプリケーションに柔軟に対応できる製品を多数ラインナップ
1342nm LD励起固体レーザー “IXDICEシリーズ”
独自の1342nmの繰返し率固体ダイオード励起Qスイッチレーザー。365日24時間稼働の産業用途に適した製品です。米国CDRH規制への準拠
AFMコントローラー “Galaxy Dual”
24 bit AFMコントローラー。サポートの終了した Agilent Technology 製 AFM に対応します。シンプルに既存のコントローラーとの置き換えが可能。既存のAFMヘッドへプラグインの上、専用ソフトウェア使用して同様のAFM動作が行えます。
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 “ERA-600シリーズ”
世界で唯一、4本のSED検出器による高コントラスト観察画像とナノレベル立体形状の取得が可能。高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、表面形状のパラメータ算出も一台で完結。精密工学会技術賞を受賞しました。
