MicroSense Mini 静電容量変位センサ

MicroSense

コンパクトなモジュールで優れた性能を実現
装置内への組込み専用モデル

コンパクトなモジュールで優れた性能を実現。装置内への組込み専用モデル
  • 低い温度ドリフト、高い安定性
  • 優れた直線性
  • 高い分解能
  • 多彩なプローブバリエーション
  • 金属の材質や成分の影響を受けない
  • 真空や非磁性などさまざま測定環境に対応

MicroSense LLC独自の技術により開発された静電容量型変位センサです。被測定物に接触することなく変位を高精度に測定し、被測定物に一切損傷や負荷を与えることなく、各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出などが可能です。優れた直線性と温度特性を特長とし、ナノメートルレベルの高い測定分解能を実現しています。
半導体検査、製造装置内での組込み用モジュールとして設計されたマイクロセンスMiniは、位置決めや姿勢制御など高い精度で長期間安定した性能が必要とされる用途に適しています。

  • 検査製造装置内でのモーションコントロール
測定フルスケール ±25μm~500μm
出力電圧 測定フルスケール当たり±10VDC
出力分解能 ※1 最高0.002%FS以下 ※3
出力直線性 ※2 最高0.02%FS以下 ※3
出力安定性 25nm/℃ ※4
応答周波数(@-3dB) 標準:3kHz
使用温度範囲 0~50℃
使用湿度範囲 85%RH以下(結露なきこと)
供給電源 ±15VDC 150mA ※6
本体寸法 90mm(W)×90mm(D)×29mm(H)
ACアダプタ ※5 75mm(W)×120mm(D)×60mm(H)
本体重量 0.18kg(ACアダプタ 0.8Kg ※5

※1 変位計が検出可能な最小変位量を示す。
※2 基準直線から実測校正曲線までの最大値を示す。
※3 測定フルスケール、センササイズにより異なる。
※4 センサ面から測定対象面までの距離が一定である事。
※5 オプション
※6 絶縁型リニア電源を推奨

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