コンパクトなモジュールで優れた性能を実現。装置内への組込み専用モデル

• 低い温度ドリフト、高い安定性
• 優れた直線性
• 高い分解能
• 多彩なプローブバリエーション
• 金属の材質や成分の影響を受けない
• 真空や非磁性などさまざま測定環境に対応

MicroSense LLC独自の技術により開発された静電容量型変位センサです。被測定物に接触することなく変位を高精度に測定し、被測定物に一切損傷や負荷を与えることなく、各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出などが可能です。優れた直線性と温度特性を特長とし、ナノメートルレベルの高い測定分解能を実現しています。
半導体検査、製造装置内での組込み用モジュールとして設計されたマイクロセンスMiniは、位置決めや姿勢制御など高い精度で長期間安定した性能が必要とされる用途に適しています。