NanoTest Vantage 多機能ナノインデンター

Micro Materials

押圧試験、硬度試験、ヤング率評価等、薄膜の機械的特性を高分解能で評価。850℃までの高温に対応

押圧試験、硬度試験、ヤング率評価等、薄膜の機械的特性を高分解能で評価。850℃までの高温に対応

本装置は研究用途向けの製品です。

  • 多彩な測定手法
  • 様々な環境制御
    • 温度範囲:-20~850℃
    • 液中測定
    • 湿度制御セル
    • ガスパージチャンバー
  • 極めて低い熱ドリフト:0.004nm/sec
  • 広い荷重範囲:低荷重ヘッド(10 µN – 500 mN)、高荷重ヘッド(<300 mN – 30N)
  • 付属ソフトウェアによる自動測定

Micro Materials社のNanoTestシリーズは、薄膜やツールの機械特性が高精度にナノからマイクロまで評価できる押し込み試験装置ナノインデンターです。押圧試験により硬さ、ヤング率、接着度、粘弾性といった薄膜の機械的特性を低温から高温まで、かつ、高分解能で評価できます。温度ドリフトが業界一小さく高精度高分解能が特徴です。

ISO 14577 Part1-4まで全てに準拠。(ISO14577はインデンテーションの方法、校正法、コーティングテスト方法等を特定)。校正キットのサンプルはNPL (国立物理研究所) トレーサブルNPLです。

モジュールシステム

納品済みのシステムに、モジュールを追加し機能を追加することができます。つまり、新たなニーズや研究分野の変化に応じてシステムを進化させることができます。

自動測定

ソフトウェアのスケジューリング機能により、あらかじめ測定したいパラメータや対象物を設定して、装置を24時間365日稼働させることができます。

多機能測定

NanoTest Vantageシステムは、1台でナノメカニカルおよびナノトライボロジーテストを広い範囲でカバーするユーザーフレンドリーな多機能装置です。
下記のある多彩な測定手法により材料の機械的特性を余すことなく明らかにします。

  • ナノインデンテーション (準静的、動的)
  • 高速深さプロファイリング
  • マイクロインデンテーション
  • ナノインパクト&ファティーグ
  • ナノスクラッチ&ウェア
  • ナノフレッティング

チタン合金のインデント試験と温度特性をみる



エンジン部品のDLCコーティングの温度特性



耐熱コーティング膜の温度と硬度試験



医療用ステンレスのインデント試験


環境制御

材料の特性は、その使用される環境特性に応じて大きく変化します。 NanoTest Vantageは、次の条件の下で材料を評価し、性質に合わせて材料を最適化することを可能にする唯一の装置です。

  • 高温(~850℃)インデンテーション、スクラッチおよびインパクト
  • 低温(-20℃~)インデンテーションとスクラッチ
  • 液中測定セル
  • 酸素防止/ガスパージチャンバー
  • 湿度レベル制御セル

2D & 3D イメージング

NanoTest Vantageには、サンプル上の特定の構造や位置をターゲットにするために、いくつかのイメージングオプションが用意されています。これらのオプションは、インデント/スクラッチ/インパクト後の表面形状を確認するのにも役立ちます。

  • 標準搭載:
    光学顕微鏡(4つの対物レンズ)、サイドビュー光学系
  • 追加オプション
    高温対応対物レンズ、接触式3D形状測定(SPM)、AFM

光学顕微鏡イメージ(鋳鉄のインデンテーション試験、フェライト/パーライト部分を避けて試験)



サイドビュー光学系


触針式3D形状測定(SPM)イメージ


AFMイメージ


     

  • ツールのコーティング評価
  • DLC蒸着膜、TiN薄膜、TAC膜
  • 燃料電池の高温試験と常温試験
  • 液中試験・高湿度試験
  • 医療用具、生体インプラント品の品質試験
  • 半導体MEMEデバイス、フィルム、プラスチック、ポリマー、ベアリング

アプリケーションノート

ナノインデンター:ナノインパクト試験(ナノスケール衝撃試験)
ナノインデンター:高温試験ナノインデンター:1000℃でのナノ機械特性試験

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