コンパクト&高出力微細加工用ピコ秒レーザー“PicoBlade 2”

LUMENTUM (旧Time-Bandwidth Products)

従来モデルをさらにコンパクトに。あらゆる素材に対して高精度・高信頼性の加工を実現。1064, 532, 355 nm。最大 200μJ, 50W。最大繰返し周波数 8MHz。パルス幅 10ps。

従来モデルをさらにコンパクトに。あらゆる素材に対して高精度・高信頼性の加工を実現。

  • コンパクトな産業向けデザイン
  • 大量生産対応
  • 取外し可能アンビリカルケーブル
  • システム統合が容易
  • 高い生産性
    • 広い繰返し周波数範囲:シングルショットから標準8MHz
    • A/Dパワー変調機能
    • FlexBurstTM モード
    • プロセスシャッタ&セーフティーシャッタ

 

PicoBladeを改良したPicoBlade 2は、さらに小型のパッケージでありながら、同等の柔軟性を有して、省スペースなシステム統合をサポートします。PicoBladeシステムは、レーザーヘッド、電子コントローラ、クローズドループ水冷チラーで構成されます。光学部品は温度安定化ハーメチックシールド・ハウジ
ングに取り付けられており、レーザーの堅牢さと優れた長時間安定性を保証します。

レーザーヘッドは、Lumentum社独自の摩耗無し 半導体過飽和吸収ミラー(SESAM®)技術を用いた、超高安定性パッシブ・モードロック・
シードオシレータを内蔵しています。SESAMはPicoblade用に、長時間劣化を避けるよう設計・最適化されています。本レーザーはマスタオシレータ・パワーアンプ(MOPA)デザインをベースとしており、背面反射がありません。レーザーヘッドと電子コントローラは、両端とも着脱可能なアンビリカルケーブルで接続します。また本レーザーは
広い繰返し周波数を、精密に調整できます。繰返し周波数は、ボタンを押すか、コンピュータからコマンドを送信することで即時変更でき、その際空間ビーム特性の変動はごくわずかに抑えられます。

基本周波数1064nmのほか、グリーン(532nm)及びUV(355nm)モデルがあり、いずれも同じパッケージサイズです。適切な非線形変換モジュールデザインを元に、他に類を見ない高い信頼性を獲得しています。デフォルトでは、変換効率は200kHzで最大エネルギーが得られるよう最適化していますが、変換効率ピーク
は他の繰返し周波数でもご指定可能です。このオプションは特に、MHzレンジでの高速スキャニングで重要です。

  • ガラスの切断・溶接・スクライビング
  • サファイアの切断・スクライビング
  • ディスプレイ製造
  • 高速&精密金属加工
  • 選択的薄膜アブレーション
  • 半導体ダイシング
  • 超硬素材加工(ダイアモンド、サファイア、カーバイド、セラミック、CVD)
波長 1064nm, 532nm, 355nm
出力パワー 代表値は下のグラフをご参照ください。
繰返し周波数 Single shot to 8 MHz
パルスエネルギー安定性 (>1 kHz) <0.75% rms for 1064 nm
<1% rms for 532/355 nm
パルス幅 @1064 nm 10 ps
空間モード TEM00, M2<1.3
ポインティング安定性, 定温下 +/-2°C <50 μrad/ °C
ウォームアップ時間, コールドスタート <40 分
電圧 (単相) 100 – 240 V AC
周波数 50 – 60 Hz
入力電力 (レーザーコントローラ&チラー) 2400 VA (単相)
偏光 >100:1 直線横偏光
寸法&重量 レーザヘッド: 989 x 276 x 177.6 mm, <75 kg
コントローラ (19インチラック): 399 x 483 x 133 mm, 14 kg
チラー (19インチラック): 640 x 483 x 267 mm, 42 kg

上:パワーvs.繰返し周波数。下:パルスエネルギーvs.繰返し周波数(いずれも左から、高出力、中出力、低出力)

 

 

オプション

  • 低出力/中出力モデル
  • アンビリカルケーブル長さご指定
  • AccuTrigTM トリガー機能
  • MrgaBurstTM 高エネルギー・バースト
  • SYNC 高速ラインスキャナ用