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三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 “ERA-600シリーズ”
表面形状パラメータの取得
三次元鳥瞰図・等高線図・JIS規格、ISO規格の表面性状パラメータの取得が可能です。SEM画面、三次元測定データ等を、Windows対応のファイルサーバーソフトウエアとリンクさせる事により、効率的にデータ管理できます。
(左図:三次元鳥瞰図、右図:等高線図)※クリックで拡大します
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三次元鳥瞰図 | 等高線図 |
世界で唯一、4本の二次電子検出器搭載による立体感画像の取得を実現

独自の二次電子信号処理技術により縦方向、横方向ともに分解能が高く、微細な表面形状を確実に捕らえます。通常のSEM像では、凹凸感が曖昧ですが、独自の凹凸二次電子像により確実に凹凸の判断が可能です。また、組成コントラストを強調した二次電子像など、試料から様々な情報を取得できます。さらに、EDS、EBSD、CLなどのオプションも搭載可能です。下の画像は同一視野における見え方の違いです。
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組成強調二次電子像 倍率 × 150 | 凹凸強調二次電子像 倍率 × 150 |
3D元素マッピング EDSオプション装着
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組成強調二次電子像 倍率 × 2,000 | 凹凸強調二次電子像 倍率 × 2,000 |
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同一視野のEDS元素マッピング像 赤:Ca、青:S、緑:Al |
3D元素マッピング像 赤:Ca、青:S、緑:Al |
特長
- 高精度・高分解能
- 高い操作性:使いやすい日本語メニュー・マウス操作でのオペレーション
- 試料へのダメージが低い
- 大型サンプルをそのままセッティング
- 4本の二次電子検出器搭載による立体感画像
- 低メンテナンス
- オプション搭載可能
ERA-600シリーズは、使い易い日本語メニューで、マウス操作でのオペレーションが可能です。オート機能の搭載による簡単な操作に加えて、積分ユニットの採用により、リアルタイムで鮮明な静止画像が得られ、明るい部屋の中での観察、測定が可能です。また、試料表面を電子プローブで高速スキャン・測定をするため、試料表面を傷つける事はありません。照射電流量も10pA以下と極めて小さいため、ビームダメージに弱いサンプルの測定も可能です。独自の長寿命電子源(ショットキー型)を搭載することにより、低メンテナンスを実現しました。
モデル | ERA-600FE | ERA-600 |
---|---|---|
電子銃 | ZrO / W 熱電界放射型 | タングステンヘアーピン |
加速電圧 | 0.3 kV – 30 kV | 0.3 kV – 35 kV |
横方向分解能 | 1.2 nm : 30 kV 5 nm : 1 kV |
3.5 nm : 35 kV |
倍率 | x 20 – 600,000倍 | x 10 – 300,000倍 |
試料寸法 | Φ 150 x t 15 mm (最大径) Φ 50 x t 30 mm (最大厚) |
|
試料駆動 | X, Y, Z, R, T 5軸モータ駆動 | |
二次電子検出器 | 4本 (a, b, c, d) | |
高さ方向分解能 | 1 nm | |
測定方向 | X方向, Y方向 | |
測定データ数 | 三次元測定データ最大1,728万点, 1ライン測定データ最大32,767点 | |
表面性状パラメータ算出 | 鳥瞰図, 等高線, 山数, 面積率, 粒度, 表面積 JIS規格パラメータ (JIS B 0601-2001に準拠) |
|
オプション | 操作パネル, ジョイスティック, BSE検出器, EDS, WDS, EBSD, 予備排気室 (4インチ型) ナビゲーションカメラ, 各種試料ホルダー, Degital Surf社Mountainsmapソフトウェア |
ENT-ERA(SEM、EBSD)測定座標共通化ホルダーシステム

ERAシリーズと超微小押込み硬さ試験機ENT-NEXUS、ENTシリーズとの共通試料ホルダーです。どちらも試料表面の観察、分析、物性評価に用いる装置です。連携させることにより、装置単体での性能を大きく拡張した解析結果を得られます。試料の取り外し、再固定の手間を省き、装置間の試料移動がスムーズに行えます。ERAシリーズ、ENT-NEXUS、ENTシリーズ装置間でのステージ座標変換が容易、同一視野、同一測定場所の選定が極短時間およびピンポイントで行えます。
拡張パネル+ジョイスティック 装着例
EDS+EBSD オプション装着例
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EDS+EBSD (EDAX) | EDS+EBSD (EDAX) |
ERA-600、ERA-600FEによる精密切削工具の刃先評価例
電子線を用いた表面形状評価技術 出典:「表面技術」誌 第57巻8号 p18~22
ERA-8900・8900FEの原理
※ERA-8900、ERA-8900FEは、それぞれERA-600、ERA-600FEの先代モデルです。
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