三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 “ERA-600シリーズ”

世界で唯一、4本のSED検出器による高コントラスト観察画像とナノレベル立体形状の取得が可能。高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、表面形状のパラメータ算出も一台で完結。精密工学会技術賞を受賞しました。

概要
主な仕様
関連情報

表面形状パラメータの取得

三次元鳥瞰図・等高線図・JIS規格、ISO規格の表面性状パラメータの取得が可能です。SEM画面、三次元測定データ等を、Windows対応のファイルサーバーソフトウエアとリンクさせる事により、効率的にデータ管理できます。
（左図：三次元鳥瞰図、右図：等高線図）※クリックで拡大します


三次元鳥瞰図		等高線図

世界で唯一、4本の二次電子検出器搭載による立体感画像の取得を実現

独自の二次電子信号処理技術により縦方向、横方向ともに分解能が高く、微細な表面形状を確実に捕らえます。通常のSEM像では、凹凸感が曖昧ですが、独自の凹凸二次電子像により確実に凹凸の判断が可能です。また、組成コントラストを強調した二次電子像など、試料から様々な情報を取得できます。さらに、EDS、EBSD、CLなどのオプションも搭載可能です。下の画像は同一視野における見え方の違いです。


組成強調二次電子像倍率 × 150		凹凸強調二次電子像倍率 × 150

3D元素マッピング EDSオプション装着


組成強調二次電子像倍率 × 2,000		凹凸強調二次電子像倍率 × 2,000


同一視野のEDS元素マッピング像赤:Ca、青:S、緑:Al		3D元素マッピング像赤:Ca、青:S、緑:Al

特長

高精度・高分解能
高い操作性：使いやすい日本語メニュー・マウス操作でのオペレーション
試料へのダメージが低い
大型サンプルをそのままセッティング
4本の二次電子検出器搭載による立体感画像
低メンテナンス
オプション搭載可能

ERA-600シリーズは、使い易い日本語メニューで、マウス操作でのオペレーションが可能です。オート機能の搭載による簡単な操作に加えて、積分ユニットの採用により、リアルタイムで鮮明な静止画像が得られ、明るい部屋の中での観察、測定が可能です。また、試料表面を電子プローブで高速スキャン・測定をするため、試料表面を傷つける事はありません。照射電流量も10pA以下と極めて小さいため、ビームダメージに弱いサンプルの測定も可能です。独自の長寿命電子源（ショットキー型）を搭載することにより、低メンテナンスを実現しました。

モデル	ERA-600FE	ERA-600
電子銃	ZrO / W 熱電界放射型	タングステンヘアーピン
加速電圧	0.3 kV – 30 kV	0.3 kV – 35 kV
横方向分解能	1.2 nm : 30 kV 5 nm : 1 kV	3.5 nm : 35 kV
倍率	x 20 – 600,000倍	x 10 – 300,000倍
試料寸法	Φ 150 x t 15 mm (最大径) Φ 50 x t 30 mm (最大厚)
試料駆動	X, Y, Z, R, T 5軸モータ駆動
二次電子検出器	4本 (a, b, c, d)
高さ方向分解能	1 nm
測定方向	X方向, Y方向
測定データ数	三次元測定データ最大1,728万点, 1ライン測定データ最大32,767点
表面性状パラメータ算出	鳥瞰図, 等高線, 山数, 面積率, 粒度, 表面積 JIS規格パラメータ (JIS B 0601-2001に準拠)
オプション	操作パネル, ジョイスティック, BSE検出器, EDS, WDS, EBSD, 予備排気室 (4インチ型) ナビゲーションカメラ, 各種試料ホルダー, Degital Surf社Mountainsmapソフトウェア

ENT-ERA(SEM､EBSD)測定座標共通化ホルダーシステム

ERAシリーズと超微小押込み硬さ試験機ENT-NEXUS、ENTシリーズとの共通試料ホルダーです。どちらも試料表面の観察、分析、物性評価に用いる装置です。連携させることにより、装置単体での性能を大きく拡張した解析結果を得られます。試料の取り外し、再固定の手間を省き、装置間の試料移動がスムーズに行えます。ERAシリーズ、ENT-NEXUS、ENTシリーズ装置間でのステージ座標変換が容易、同一視野、同一測定場所の選定が極短時間およびピンポイントで行えます。