DUV反射屈折複合型対物レンズ“μCAT Pantherシリーズ”

Corning Tropel

反射と屈折を組み合わせたDUV用小型レンズ
高NA・長作動距離・高透過率などの高い性能を実現

反射と屈折を組み合わせたDUV用小型レンズ
高NA・長作動距離・高透過率などの高い性能を実現
  • 高開口数
  • 長作動距離
  • 広波長帯域幅
  • 高透過率
  • 長寿命
  • 特注対応

Corning Tropel のμCATは、作動距離の長い、DUV領域用の反射屈折型対物レンズです。全反射型のシュバルツシルト(Schwarzschild)レンズに比べ、高い開口数・長い作動距離などの高い性能を低価格で実現しています。さらにブロードなランプ光源をカバーする十分な波長域をもちます。

 

μCATに用いられている材料は全て、アウトガスが非常に少なく、また接着面が一切ありません。さらにレンズ内部は高純度の窒素パージで密封されていますので、レンズの汚染がなく、高い透過率を長期間にわたって維持できます。

μCATとシュバルツシルトレンズの比較

レンズ中心部における光の遮蔽量は、中間周波数の変調伝達関数(MTF)、ひいては象のコントラストに直接的に影響を及ぼします。

 

μCATには、「フローティング」セカンドミラーが用いられています。他の対物レンズにあるようなミラーを支える機械的な支柱がなく、レンズ内を通る光を妨げません。μCATは、遮蔽量を低減することで、中間周波数MTFを改善し、、一般的な全反射型対物レンズに見られるような余計な回折効果も低減しています。レンズ中心部における光の遮蔽量(オブスキュレーション)は、シュバルツシルト型が35%以上なのに対して、μCAT は約15%です。

μCATは、フォトマスクやウエハの検査・加工などのOEMで広く利用されています。

 

  • マイクロリソグラフィー
  • 部分コヒーレント照明下での検査
  • レチクルやウエハの画像検査
  • 干渉
  • 高性能画像
モデル名 Panther 193 Panther 213 Panther 248
NA 0.745 0.75 0.75
波長 193.3 nm 213.0 nm 248.4 nm,
バンド幅 1 nm – FWHM 1 nm – FWHM 6 nm – FWHM
作動距離 8 mm 8 mm 8 mm

※ご希望に応じた特注レンズの製造も承ります。お問い合わせください。

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