SPMシリコンプローブ

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最高品質の低抵抗(0.01〜0.025Ω-cm) n型アンチモンドープ単結晶シリコン製。実績の高いシリコン技術と新しい微細加工プロセスにより、シャープなチップを具備した高品質モノリシックプローブを実現。ほとんどの市販AFM装置と互換。

最高品質の低抵抗(0.01〜0.025Ω-cm) n型アンチモンドープ単結晶シリコン製。実績の高いシリコン技術と新しい微細加工プロセスにより、シャープなチップを具備した高品質モノリシックプローブを実現。ほとんどの市販AFM装置と互換。

タッピングモード・プローブ

力変調プローブ

コンタクトモード・プローブ

タッピングモード・プローブ – ACLシリーズ

タッピングモード・プローブ - ACLシリーズ

  • タッピング/非接触モード向け
  • 厚く幅広のカンチレバー
  • 複数のカンチレバーをチップを選択可能


●チップ
材質 Si
形状 ピラミッド型
高さ[µm] 14-16
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 58 36 90
共振周波数[kHz] 190 160 225
レバー長さ[µm] 225 215 235
レバー幅[µm] 40 35 45
レバー厚さ[µm] 7.8 7.3 8.3
プローブタイプ ACL ACLA ACLG ACLGG
反射面コーティング なし AL 50nm Ti/Au 10nm/50nm
説明 チップ面コーティング
チップROC 6nm(Guaranteed <10nm) 30nm
プローブタイプ ACL-SS ACLA-SS ACL-TL ACLA-TL
反射面コーティング なし AL 50nm なし AL 50nm
説明 スーパーシャープ チップレスプローブ
チップROC 1-2nm チップなし

タッピングモード・プローブ – ACSTシリーズ

タッピングモード・プローブ - ACSTシリーズ

  • ソフトタッピング/非接触モード向け
  • 軟領域&中領域 共振周波数 カンチレバー
  • 複数のカンチレバーをチップを選択可能


●チップ
材質 Si
形状 ピラミッド型
高さ[µm] 14-16
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 7.8 3.0 17.9
共振周波数[kHz] 150 100 208
レバー長さ[µm] 150 140 160
レバー幅[µm] 28 23 33
レバー厚さ[µm] 3 2.5 3.5
プローブタイプ ACST ACSTA ACSTG ACSTGG
反射面コーティング なし AL 50nm Ti/Au 10nm/50nm
説明 チップ面コーティング
チップROC 6nm(Guaranteed <10nm) 30nm
プローブタイプ ACST-SS ACSTA-SS ACST-TL ACSTA-TL
反射面コーティング なし AL 50nm なし AL 50nm
説明 スーパーシャープ チップレスプローブ
チップROC 1-2nm チップなし

タッピングモード・プローブ – ACTシリーズ

タッピングモード・プローブ - ACTシリーズ

  • 短く硬いカンチレバー。高共振周波数で硬度の高いサンプルに対するタッピング/非接触モードでの高速スキャンに好適
  • 複数のカンチレバーをチップを選択可能


●チップ
材質 Si
形状 ピラミッド型
高さ[µm] 14-16
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 34 15 73
共振周波数[kHz] 300 210 400
レバー長さ[µm] 125 115 135
レバー幅[µm] 30 25 35
レバー厚さ[µm] 4.0 3.5 4.5
プローブタイプ ACT ACTA ACTG ACTGG
反射面コーティング なし AL 50nm Ti/Au 10nm/50nm
説明 チップ面コーティング
チップROC 6nm(Guaranteed <10nm) 30nm
プローブタイプ ACT-SS ACTA-SS ACT-TL ACTA-TL
反射面コーティング なし AL 50nm なし AL 50nm
説明 スーパーシャープ チップレスプローブ
チップROC 1-2nm チップなし

力変調プローブ – FORTシリーズ

力変調プローブ - FORTシリーズ

  • 中程度のばね定数および周波数のカンチレバーで力変調モードに最適化
  • 異なる顕微鏡用途に複数のカンチレバーをチップを選択可能


●チップ
材質 Si
形状 ピラミッド型
高さ[µm] 14-16
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 1.6 0.6 3.7
共振周波数[kHz] 61 43 82
レバー長さ[µm] 225 215 235
レバー幅[µm] 27 22 32
レバー厚さ[µm] 2.7 2.2 3.2
プローブタイプ FORT FORTA FORTG FORTGG
反射面コーティング なし AL 50nm Ti/Au 10nm/50nm
説明 チップ面コーティング
チップROC 6nm(Guaranteed <10nm) 30nm
プローブタイプ FORT-SS FORTA-SS FORT-TL FORTA-TL
反射面コーティング なし AL 50nm なし AL 50nm
説明 スーパーシャープ チップレスプローブ
チップROC 1-2nm チップなし

接触モードプローブ – SHOCONシリーズ

接触モードプローブ - SHOCONシリーズ

  • 柔らかく短い(高感度)のカンチレバー
  • 空気中&液体媒体中のイメージング向けに複数のカンチレバーをチップを選択可能


●チップ
材質 Si
形状 ピラミッド型
高さ[µm] 14-16
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 0.14 0.01 0.6
共振周波数[kHz] 21 8 38
レバー長さ[µm] 225 215 235
レバー幅[µm] 46 41 51
レバー厚さ[µm] 1.0 0.5 1.5
プローブタイプ SHOCON SHOCONA SHOCONG SHOCONGG
反射面コーティング なし AL 50nm Ti/Au 10nm/50nm
説明 チップ面コーティング
チップROC 6nm(Guaranteed <10nm) 30nm
プローブタイプ SHOCON-SS SHOCONA-SS SHOCON-TL SHOCONA-TL
反射面コーティング なし AL 50nm なし AL 50nm
説明 スーパーシャープ チップレスプローブ
チップROC 1-2nm チップなし

接触モードプローブ – SICONシリーズ

接触モードプローブ - SICONシリーズ

  • 長く柔らかいカンチレバー
  • 高いレーザクリアランス、低いばね定数
  • 複数のカンチレバーをチップを選択可能


●チップ
材質 Si
形状 ピラミッド型
高さ[µm] 14-16
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 0.29 0.13 0.6
共振周波数[kHz] 15 11 19
レバー長さ[µm] 450 440 460
レバー幅[µm] 49 44 54
レバー厚さ[µm] 2.5 2.0 3.0
プローブタイプ SICON SICONA SICONG SICONGG
反射面コーティング なし AL 50nm Ti/Au 10nm/50nm
説明 チップ面コーティング
チップROC 6nm(Guaranteed <10nm) 30nm
プローブタイプ SICON-SS SICONA-SS SICON-TL SICONA-TL
反射面コーティング なし AL 50nm なし AL 50nm
説明 スーパーシャープ チップレスプローブ
チップROC 1-2nm チップなし
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