HART 高アスペクト比チップ SPMプローブ

AppNano

高アスペクト比チップ SPMプローブ。スパイク高さ 1, 2, 4, 6µm。0°, 傾き角度補正 3°, 12°。

高アスペクト比チップ SPMプローブ。スパイク高さ 1, 2, 4, 6µm。0°, 傾き角度補正 3°, 12°。

●チップ
材質 高ドープ単結晶シリコン (0.01-0.025Ω)
FIBミル加工
高さ[μm] 14-16
チップ曲率半径 <30nm
アスペクト比 5-10
●スパイク
スパイク長さ[µm] スパイク幅[µm]
1 100
2 100
4 200
6 400
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 40 25 75
共振周波数[kHz] 300 200 400
レバー長さ[µm] 125 115 135
レバー幅[µm] 35 30 40
レバー厚さ[µm] 4.5 4 5
プローブタイプ HART0 HARTA0 HART3 HART3A HART12 HARTA12
チルト補正 0° (チルトなし) 0° (チルトなし) 12° 12°
スパイク長さ 1, 2 1, 2 1, 2 1, 2 2, 4, 6 2, 4, 6
反射面コーティング なし AL 50mm なし AL 50mm なし AL 50mm

TOPに戻る