導電性 SPMプローブ

AppNano

特殊な金属コーティング処理した高伝導性ドープ・シリコンプローブを採用。電気力顕微鏡(EFM)や磁気力顕微鏡(MFM)など高度なAFMアプリケーション向けに最適なSPMプローブ。高い解像度と最高の導電性(感度と寿命)を同時に実現。

特殊な金属コーティング処理した高伝導性ドープ・シリコンプローブを採用。電気力顕微鏡(EFM)や磁気力顕微鏡(MFM)など高度なAFMアプリケーション向けに最適なSPMプローブ。高い解像度と最高の導電性(感度と寿命)を同時に実現。

 

 

AppNano社では、特殊な金属コーティング処理した高伝導性ドープ・シリコンプローブを採用し、電気力顕微鏡(EFM)や磁気力顕微鏡(MFM)など高度なAFMアプリケーション向けに最適なSPMプローブを提供しています。また最適な厚さと最高品質の金属コーティングを独自のプロセスと組み合わせて、チップのシャープさ(高解像度)を損なうことなく最高の導電性(感度と寿命)を実現しています。

 

導電性 SPMプローブ種類

  • 金コート(GG)プローブ:優れた導電性と化学的安定性。静電気力顕微鏡/KPFMなど間欠接触/非接触EFM用途に好適
  • 白金 – イリジウムコート(Pt-Ir)プローブ:優れた導電性と機械的安定性。接触/非接触EFM技術に最適
  • 添加ダイヤモンドコーティングプローブ:優れた耐摩耗性と導電性。SSRM, CAFM, SCM, 静電FM, KPFMなど強接触研究に最適
  • コバルトクロムコート(Co-Cr)プローブ:MFMアプリケーション向け

 

ANSCMシリーズ

ANSCMシリーズ

  • EFMアプリケーション用
  • 反射面、チップ面両面PtIrコーティング
  • ANSCM-PC:コンタクトモード
  • ANSCM-PA:タッピングモード
  • ANSCM-PA5:C-AFMモード(コーティング厚め)


アプリケーション

  • EFM
  • C-AFM
  • KFM
  • ピエゾレスポンスモード
  • 走査キャパシタンス測定
  • TUNA(Tunneling AFM)
●チップ
材質 PtIr
形状 ピラミッド型
高さ[µm] 14-16
プローブタイプ ANSCM-PA5 ANSCM-PA ANSCM-PT ANSCM-PT
ばね定数[N/m] 34 1.6 0.3
共振周波数[kHz] 290 61 15
レバー長さ[µm] 125 225 450
レバー幅[µm] 30 27 49
レバー厚さ[µm] 4.0 2.7 2.5
チップ先端曲率半径[nm] 55 30
PtIrコーティング[nm] 50±5 25±5

DD (ドープダイヤモンドプローブ)シリーズ

DD (ドープダイヤモンドプローブ)シリーズ

  • ロバスト
  • 導電性コーティング


●チップ
コーティング 100nmドープダイヤモンド
アスペクト比 1.5-3.0
高さ[µm] 14-16
チップ曲率半径[nm] 100-300
●カンチレバー
材質 Si
形状 矩形
反射面コーティング AL 50nm
プローブタイプ DD-ACTA DD-FORTA DD-SICONA DD-ACCESS-NC-A
ばね定数[N/m] 34 1.6 0.3 93
共振周波数[kHz] 290 61 15 320
レバー長さ[µm] 125 225 450 150
レバー幅[µm] 30 27 49 54
レバー厚さ[µm] 4.0 2.7 2.5 5.5

MAGTシリーズ

MAGTシリーズ

  • MFMアプリケーション用
  • 反射面、チップ面磁性膜コーティング
  • MAGT:中程度の磁気モーメント
  • MAGT-LM:低度の磁気モーメント
  • MAGT-HM:高度の磁気モーメント


アプリケーション

  • EFM
  • C-AFM
  • KFM
  • ピエゾレスポンスモード
  • 走査キャパシタンス測定
  • TUNA(Tunneling AFM)
●チップ
コーティング 下記±5nm
形状 ピラミッド型
高さ[µm] 14-16
●カンチレバー
ばね定数[N/m] 1.6
共振周波数[kHz] 61
レバー長さ[µm] 225
レバー幅[µm] 27
レバー厚さ[µm] 2.7
材料 Si
形状 矩形
反射面コーティング Cr-Co
チップ面コーティング Cr-Co
プローブタイプ MAGT MAGT-LM MAGT-HM
チップ先端曲率半径[nm] 40 25 75
Cr-Coコーティング膜厚[nm] 50 15 150

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