導電性 SPMプローブ

特殊な金属コーティング処理した高伝導性ドープ・シリコンプローブを採用。電気力顕微鏡（EFM）や磁気力顕微鏡（MFM）など高度なAFMアプリケーション向けに最適なSPMプローブ。高い解像度と最高の導電性(感度と寿命)を同時に実現。

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概要
関連情報

特殊な金属コーティング処理した高伝導性ドープ・シリコンプローブを採用。電気力顕微鏡（EFM）や磁気力顕微鏡（MFM）など高度なAFMアプリケーション向けに最適なSPMプローブ。高い解像度と最高の導電性(感度と寿命)を同時に実現。

ANSCMシリーズ
DD (ドープダイヤモンドプローブ) シリーズ
MAGTシリーズ

AppNano社では、特殊な金属コーティング処理した高伝導性ドープ・シリコンプローブを採用し、電気力顕微鏡（EFM）や磁気力顕微鏡（MFM）など高度なAFMアプリケーション向けに最適なSPMプローブを提供しています。また最適な厚さと最高品質の金属コーティングを独自のプロセスと組み合わせて、チップのシャープさ(高解像度)を損なうことなく最高の導電性(感度と寿命)を実現しています。

導電性 SPMプローブ種類

金コート(GG)プローブ：優れた導電性と化学的安定性。静電気力顕微鏡/KPFMなど間欠接触/非接触EFM用途に好適
白金 – イリジウムコート(Pt-Ir)プローブ：優れた導電性と機械的安定性。接触/非接触EFM技術に最適
添加ダイヤモンドコーティングプローブ：優れた耐摩耗性と導電性。SSRM, CAFM, SCM, 静電FM, KPFMなど強接触研究に最適
コバルトクロムコート(Co-Cr)プローブ：MFMアプリケーション向け

ANSCMシリーズ

EFMアプリケーション用
反射面、チップ面両面PtIrコーティング
ANSCM-PC：コンタクトモード
ANSCM-PA：タッピングモード
ANSCM-PA5：C-AFMモード（コーティング厚め)

アプリケーション

EFM
C-AFM
KFM
ピエゾレスポンスモード
走査キャパシタンス測定
TUNA(Tunneling AFM)

●チップ
材質	PtIr
形状	ピラミッド型
高さ[µm]	14-16

プローブタイプ	ANSCM-PA5	ANSCM-PA	ANSCM-PT	ANSCM-PT
ばね定数[N/m]	34		1.6	0.3
共振周波数[kHz]	290		61	15
レバー長さ[µm]	125		225	450
レバー幅[µm]	30		27	49
レバー厚さ[µm]	4.0		2.7	2.5
チップ先端曲率半径[nm]	55	30
PtIrコーティング[nm]	50±5	25±5

DD (ドープダイヤモンドプローブ)シリーズ

ロバスト
導電性コーティング

●チップ
コーティング	100nmドープダイヤモンド
アスペクト比	1.5-3.0
高さ[µm]	14-16
チップ曲率半径[nm]	100-300

●カンチレバー
材質	Si
形状	矩形
反射面コーティング	AL 50nm

プローブタイプ	DD-ACTA	DD-FORTA	DD-SICONA	DD-ACCESS-NC-A
ばね定数[N/m]	34	1.6	0.3	93
共振周波数[kHz]	290	61	15	320
レバー長さ[µm]	125	225	450	150
レバー幅[µm]	30	27	49	54
レバー厚さ[µm]	4.0	2.7	2.5	5.5

MAGTシリーズ

MFMアプリケーション用
反射面、チップ面磁性膜コーティング
MAGT：中程度の磁気モーメント
MAGT-LM：低度の磁気モーメント
MAGT-HM：高度の磁気モーメント

アプリケーション

EFM
C-AFM
KFM
ピエゾレスポンスモード
走査キャパシタンス測定
TUNA(Tunneling AFM)

●チップ
コーティング	下記±5nm
形状	ピラミッド型
高さ[µm]	14-16

●カンチレバー
ばね定数[N/m]	1.6
共振周波数[kHz]	61
レバー長さ[µm]	225
レバー幅[µm]	27
レバー厚さ[µm]	2.7
材料	Si
形状	矩形
反射面コーティング	Cr-Co
チップ面コーティング	Cr-Co

プローブタイプ	MAGT	MAGT-LM	MAGT-HM
チップ先端曲率半径[nm]	40	25	75
Cr-Coコーティング膜厚[nm]	50	15	150