導電性 SPMプローブ

特殊な金属コーティング処理した高伝導性ドープ・シリコンプローブを採用。電気力顕微鏡(EFM)や磁気力顕微鏡(MFM)など高度なAFMアプリケーション向けに最適なSPMプローブ。高い解像度と最高の導電性(感度と寿命)を同時に実現。
特殊な金属コーティング処理した高伝導性ドープ・シリコンプローブを採用。電気力顕微鏡(EFM)や磁気力顕微鏡(MFM)など高度なAFMアプリケーション向けに最適なSPMプローブ。高い解像度と最高の導電性(感度と寿命)を同時に実現。
AppNano社では、特殊な金属コーティング処理した高伝導性ドープ・シリコンプローブを採用し、電気力顕微鏡(EFM)や磁気力顕微鏡(MFM)など高度なAFMアプリケーション向けに最適なSPMプローブを提供しています。また最適な厚さと最高品質の金属コーティングを独自のプロセスと組み合わせて、チップのシャープさ(高解像度)を損なうことなく最高の導電性(感度と寿命)を実現しています。
導電性 SPMプローブ種類
- 金コート(GG)プローブ:優れた導電性と化学的安定性。静電気力顕微鏡/KPFMなど間欠接触/非接触EFM用途に好適
- 白金 – イリジウムコート(Pt-Ir)プローブ:優れた導電性と機械的安定性。接触/非接触EFM技術に最適
- 添加ダイヤモンドコーティングプローブ:優れた耐摩耗性と導電性。SSRM, CAFM, SCM, 静電FM, KPFMなど強接触研究に最適
- コバルトクロムコート(Co-Cr)プローブ:MFMアプリケーション向け
ANSCMシリーズ
- EFMアプリケーション用
- 反射面、チップ面両面PtIrコーティング
- ANSCM-PC:コンタクトモード
- ANSCM-PA:タッピングモード
- ANSCM-PA5:C-AFMモード(コーティング厚め)
アプリケーション
- EFM
- C-AFM
- KFM
- ピエゾレスポンスモード
- 走査キャパシタンス測定
- TUNA(Tunneling AFM)
●チップ | |
---|---|
材質 | PtIr |
形状 | ピラミッド型 |
高さ[µm] | 14-16 |
プローブタイプ | ANSCM-PA5 | ANSCM-PA | ANSCM-PT | ANSCM-PT |
---|---|---|---|---|
ばね定数[N/m] | 34 | 1.6 | 0.3 | |
共振周波数[kHz] | 290 | 61 | 15 | |
レバー長さ[µm] | 125 | 225 | 450 | |
レバー幅[µm] | 30 | 27 | 49 | |
レバー厚さ[µm] | 4.0 | 2.7 | 2.5 | |
チップ先端曲率半径[nm] | 55 | 30 | ||
PtIrコーティング[nm] | 50±5 | 25±5 |
DD (ドープダイヤモンドプローブ)シリーズ
- ロバスト
- 導電性コーティング
●チップ | |
---|---|
コーティング | 100nmドープダイヤモンド |
アスペクト比 | 1.5-3.0 |
高さ[µm] | 14-16 |
チップ曲率半径[nm] | 100-300 |
●カンチレバー | |
---|---|
材質 | Si |
形状 | 矩形 |
反射面コーティング | AL 50nm |
プローブタイプ | DD-ACTA | DD-FORTA | DD-SICONA | DD-ACCESS-NC-A |
---|---|---|---|---|
ばね定数[N/m] | 34 | 1.6 | 0.3 | 93 |
共振周波数[kHz] | 290 | 61 | 15 | 320 |
レバー長さ[µm] | 125 | 225 | 450 | 150 |
レバー幅[µm] | 30 | 27 | 49 | 54 |
レバー厚さ[µm] | 4.0 | 2.7 | 2.5 | 5.5 |
MAGTシリーズ
- MFMアプリケーション用
- 反射面、チップ面磁性膜コーティング
- MAGT:中程度の磁気モーメント
- MAGT-LM:低度の磁気モーメント
- MAGT-HM:高度の磁気モーメント
アプリケーション
- EFM
- C-AFM
- KFM
- ピエゾレスポンスモード
- 走査キャパシタンス測定
- TUNA(Tunneling AFM)
●チップ | |
---|---|
コーティング | 下記±5nm |
形状 | ピラミッド型 |
高さ[µm] | 14-16 |
●カンチレバー | |
---|---|
ばね定数[N/m] | 1.6 |
共振周波数[kHz] | 61 |
レバー長さ[µm] | 225 |
レバー幅[µm] | 27 |
レバー厚さ[µm] | 2.7 |
材料 | Si |
形状 | 矩形 |
反射面コーティング | Cr-Co |
チップ面コーティング | Cr-Co |
プローブタイプ | MAGT | MAGT-LM | MAGT-HM |
---|---|---|---|
チップ先端曲率半径[nm] | 40 | 25 | 75 |
Cr-Coコーティング膜厚[nm] | 50 | 15 | 150 |
✕